Érjen el új szintet a krioszivattyú teljesítményében
A CTI-Cryogenics On-Board® IS 320F XVS krioszivattyú az Edwards hagyományát követi a piacon elérhető legmegbízhatóbb és legjobb teljesítményű beültethető krioszivattyúk szállításában.
Az On-Board® IS 320F XVS krioszivattyút úgy tervezték, hogy a legmagasabb szintű hidrogénszivattyúzási teljesítményt nyújtsa a folyamathozam és az átbocsátási képesség javítása érdekében, tökéletes választ adva a mai ionimplantátum-alkalmazások kihívásaira.
A krioszivattyúba integrált intelligens rendszervezérlés jobb folyamatminőséget, vákuumkonzisztenciát és üzemidőt biztosít, miközben valós idejű rendszerinformációkat biztosít a tömbhőmérsékletek optimális szabályozásához. A vákuumminőséget a változó hő-/gázterhelési körülményekhez történő automatikus alkalmazkodás javítja.
- Stabil vákuumteljesítmény
- Jobb vákuumteljesítmény
- Kompatibilitás
- Csökkentett H2 szivattyúzási sebesség változás a regenerációk között
- Csökkentett hatás a H2 szivattyúzási sebességre a fotorezisztens szennyeződés miatt
- Optimalizált stabil tömbhőmérsékletek
- Magas H2-szivattyúzási sebesség - 15 500 l/s
- Nagy H2-kapacitás - 40 STD-L
- Fedélzeti IS cryopumpa rendszerek
- IS -1000, IS -2000V, IS -1800 XVS kompresszorok
