Ganymede nagy igénybevételű száraz vákuumszivattyú félvezető alkalmazásokhoz
Nextgen száraz vákuumszivattyúk a kemény igénybevételű félvezető gyártási folyamatokhoz, amelyek csökkentik az összköltséget, javítják az üzemidőt és támogatják a gyártóüzem fenntarthatósági céljait.
Integrált EUV litográfiai al-fab rendszer, amely vákuumot, hidrogénkezelést és -visszanyerést egyesít az hatékonyság, rendelkezésre állás és költségek javítása érdekében.
