Xem bạn đã mù ở đâu trước đây
Máy phân tích khí quy trình Edwards - Kiểm soát quy trình theo thời gian thực cho các ứng dụng bán dẫn
iTrap® là máy đo quang phổ biến đổi Fourier nhỏ gọn, có độ nhạy cao. Đây là một công cụ lý tưởng để phân tích quy trình và kiểm soát quy trình trong dây chuyền. Nó có thể được sử dụng trong môi trường R&D và sản xuất. iTrap hỗ trợ bạn một cách đáng tin cậy trong việc phát hiện những dấu vết nhỏ nhất của các sản phẩm phụ của phản ứng hoặc nhiễm bẩn, giúp bạn điều tra hiệu quả vệ sinh và phân tích tình trạng buồng. Quang phổ khối lượng được đo gần như theo thời gian thực và bạn có thể theo dõi lượng phân tử rất nhỏ trong buồng xử lý. iTrap là một công cụ mạnh mẽ trong tay của nhà nghiên cứu hoặc kỹ sư phát triển quy trình và cũng có thể được sử dụng như một cảm biến thông minh được tích hợp và kiểm soát bởi các thiết bị công cụ quy trình khác.
Lợi ích
Edwards iTrap thuyết phục thông qua:
- Tốc độ | Có thể đo thời gian thực, toàn bộ phổ trong < 0,5 giây
- Độ nhạy | Đo nồng độ vết nhỏ
- Nhỏ gọn | Có thể tích hợp với buồng xử lý. Giao diện phần mềm tiêu chuẩn sẵn sàng cho các hóa chất bên ngoài.
- Độ bền chống ăn mòn | Bề mặt trơ, Không có máy dò. Chịu được H2, Cl, F và các hóa chất mạnh khác