ความเร็วโดยไม่ลดทอน: ทำให้การแปรรูปชั้นอะตอมรุ่นต่อไปเป็นไปได้ - เรื่องราวของลูกค้า

เพื่อให้เป็นไปได้นี้ แท่นชั่งจำเป็นต้องมีมากกว่าการออกแบบกระบวนการขั้นสูง ซึ่งจำเป็นต้องใช้โซลูชันสุญญากาศที่สามารถล้างก๊าซในกระบวนการออกจากห้องได้อย่างรวดเร็ว ในขณะที่รักษาสภาวะแรงดันต่ำที่เสถียรซึ่งจำเป็นสำหรับการประมวลผลพลาสมาที่ทำซ้ำได้

นี่คือจุดที่ความเชี่ยวชาญของ Edwards ในสภาพแวดล้อมสุญญากาศเซมิคอนดักเตอร์กลายเป็นสิ่งสำคัญ Edwards ทำงานร่วมกับ Plasway-Technologies เพื่อช่วยสร้างเงื่อนไขที่จำเป็นในการสนับสนุนวัตถุประสงค์ด้านประสิทธิภาพของแพลตฟอร์ม โดยนำความรู้เกี่ยวกับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์มาใช้หลายทศวรรษควบคู่กับความเชี่ยวชาญด้านเทคโนโลยีสุญญากาศของบริษัท

หัวใจสำคัญของโซลูชันคือ ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล STP-iXA3306CV ของ Edwards ซึ่งได้รับการคัดเลือกเพื่อช่วยให้ได้แรงดันในการทำงานต่ำและการกำจัดก๊าซจากห้องอบอย่างรวดเร็ว โดยเฉพาะในระหว่างเฟสการล้าง

ใน PEALD และ ALE ทุกรอบจะต้องแยกออกจากรอบถัดไปอย่างสะอาด ก๊าซตกค้างในห้องอบอาจลดการเลือกกระบวนการ เพิ่มความเสี่ยงต่อการปนเปื้อน และลดความสามารถในการทำซ้ำ ดังนั้น ความเร็วในการปั๊มสูงจึงกลายเป็นตัวกระตุ้นกระบวนการ ไม่ใช่แค่ข้อกำหนดเฉพาะของสุญญากาศ 

ผลลัพธ์แสดงให้เห็นถึงสิ่งที่สามารถทำได้เมื่อนำความเชี่ยวชาญด้านกระบวนการและเทคโนโลยีสุญญากาศมารวมกันเพื่อแก้ไขความท้าทายในการผลิต

ภายในแพลตฟอร์ม FALP แรงดันในห้องอบจะเปลี่ยนจากค่าสูงสุดของการยิงก๊าซเข้าไปเป็นแรงดันในการทำงานของพลาสมาในเวลาประมาณ 100 มิลลิวินาที ซึ่งรองรับการแลกเปลี่ยนก๊าซที่รวดเร็วที่จำเป็นสำหรับ PEALD และ ALE ความเร็วสูง

นอกจากนี้ P lasway-Technologies ยังรายงานว่าหลังจากการทดลองอย่างต่อเนื่องสี่ปีในสภาพแวดล้อม PEALD ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์ของ Edwards ยังคงทำงานได้อย่างเต็มที่

สำหรับผู้ผลิต ผลลัพธ์เหล่านี้แปลเป็นประโยชน์ที่จับต้องได้:

• การเปลี่ยนแปลงกระบวนการที่รวดเร็วขึ้น
• ความสามารถในการผลิตที่เพิ่มขึ้น
• สภาวะกระบวนการที่เสถียรและทำซ้ำได้
• ความน่าเชื่อถือที่ผ่านการพิสูจน์แล้วในการใช้งานที่มีความต้องการสูง
• ความมั่นใจมากขึ้นในการปรับขยายสเกลกระบวนการขั้นสูง

เนื่องจากความกว้างของสายเซมิคอนดักเตอร์มีขนาดเล็กลงและโครงสร้างอุปกรณ์มีความซับซ้อนมากขึ้น ผู้ผลิตจึงต้องการการควบคุมการสะสมของวัสดุและการกัดกร่อนในระดับอะตอมที่แม่นยำมากขึ้น

การทำงานระหว่าง Plasway-Technologies และ Edwards สะท้อนถึงการเปลี่ยนแปลงที่กว้างขึ้นที่เกิดขึ้นในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ในขณะที่กระบวนการชั้นอะตอมขั้นสูงเปลี่ยนจากสภาพแวดล้อมการพัฒนาไปสู่การนำไปใช้ในการผลิตที่กว้างขึ้น ความสนใจก็หันไปที่สภาพแวดล้อมของกระบวนการเองมากขึ้นเรื่อยๆ

ความก้าวหน้าต่อไปใน PEALD และ ALE จะไม่ได้ขับเคลื่อนด้วยเทคโนโลยีที่ล้ำสมัยเพียงอย่างเดียว ซึ่งจะมาจากการผสานรวมความเชี่ยวชาญด้านกระบวนการ การออกแบบระบบ และเทคโนโลยีที่ช่วยให้สามารถปลดล็อกการผลิตที่รวดเร็วขึ้น มีประสิทธิภาพมากขึ้น และเชื่อถือได้มากขึ้น

ในสภาพแวดล้อมนั้น สุญญากาศไม่ใช่เพียงแค่สิ่งอำนวยความสะดวกสนับสนุนอีกต่อไป ซึ่งเป็นปัจจัยที่มีความสำคัญมากขึ้นเรื่อยๆ ต่อความสามารถของกระบวนการ ช่วยให้ผู้ผลิตสามารถเชื่อมโยงช่องว่างระหว่างความแม่นยำในระดับอะตอมกับความสามารถในการผลิตในระดับอุตสาหกรรม 

อนาคตของการแปรรูปชั้นอะตอมจะขึ้นอยู่กับการบรรลุความแม่นยำในระดับอะตอมเท่านั้น แต่ยังขึ้นอยู่กับการส่งมอบความแม่นยำดังกล่าวด้วยความเร็วที่ความต้องการในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่

สุญญากาศมีบทบาทอย่างไรใน PEALD และ ALE 
เทคโนโลยีสุญญากาศช่วยรักษาสภาวะแรงดันต่ำที่จำเป็นสำหรับการแปรรูปพลาสมา และกำจัดก๊าซในกระบวนการได้อย่างรวดเร็วระหว่างขั้นตอนกระบวนการ การกำจัดก๊าซอย่างมีประสิทธิภาพยังช่วยรักษาความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการและลดความเสี่ยงของก๊าซตกค้างที่ส่งผลกระทบต่อรอบถัดไป

เหตุใดการกำจัดก๊าซอย่างรวดเร็วจึงมีความสำคัญในการแปรรูปชั้นอะตอม 
PEALD และ ALE กำหนดให้ก๊าซในกระบวนการต้องถูกนำเข้า กระจาย และกำจัดอย่างมีประสิทธิภาพก่อนที่จะเริ่มขั้นตอนกระบวนการถัดไป การเปลี่ยนแปลงที่รวดเร็วขึ้นสามารถรองรับปริมาณงานที่สูงขึ้น ในขณะที่การกำจัดก๊าซที่ไม่สมบูรณ์อาจส่งผลต่อความสามารถในการทำซ้ำและคุณภาพของกระบวนการ

ปั๊มสุญญากาศรุ่นใดที่ใช้ในแพลตฟอร์ม FALP 
แพลตฟอร์ม FALP ใช้ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์ STP-iXA3306CV ของ Edwards ซึ่งถูกเลือกเพื่อให้ได้แรงดันในการทำงานต่ำและการกำจัดก๊าซจากห้องอย่างรวดเร็ว โดยเฉพาะอย่างยิ่งในระหว่างเฟสการล้าง

การเปลี่ยนแปลงแรงดันในแท่นชั่ง FALP รวดเร็วเพียงใด 
ความดันในห้องอบเปลี่ยนจากค่าสูงสุดของการยิงก๊าซเข้าไปเป็นความดันในการทำงานของพลาสมาในเวลาประมาณ 100 มิลลิวินาที รองรับการแลกเปลี่ยนก๊าซอย่างรวดเร็วที่จำเป็นสำหรับ PEALD และ ALE ความเร็วสูง