Alcance níveis de vácuo mais baixos rapidamente
Os crio-refrigeradores Edwards Polycold® MaxCool são sistemas de refrigeração criogénica de circuito fechado que captam eficazmente o vapor de água, que compreende 65% a 95% do gás residual em sistemas de alto vácuo.
Estes crio-refrigeradores podem ser utilizados para capturar vapor de água e outras substâncias condensáveis, congelando-os numa superfície fria, como uma crio-bobina ou um defletor em V. Os refrigeradores criogénicos MaxCool também são utilizados para arrefecer e aquecer objetos, tais como mandriles eletrostáticos utilizados no processamento de wafers de semicondutores. Os diferentes modelos da nossa gama fornecem 2000, 2500 ou 4000 watts de refrigeração.
Bombeamento de vapor de água
O vapor de água é tipicamente o contaminante mais reativo presente em sistemas de alto vácuo. Com os nossos refrigeradores criogénicos MaxCool, pode esperar um aumento do rendimento do produto no seu sistema existente de 20% a 100% e melhorar a qualidade da deposição.
A vantagem do MaxCool
- Tempo de bombeamento de alto vácuo reduzido em até 75%
- Aumento do rendimento do produto de 20% a 100%
- Baixa pressão parcial do vapor de água durante o processamento para uma maior qualidade da película, melhor aderência e deposição mais reproduzível
- Rápido retorno do investimento ao eliminar o custo recorrente do azoto líquido
- Minimize o custo de propriedade com a gestão de energia
- Refrigeração e aquecimento de elevada capacidade para uma grande variedade de processos
Quando adicionados ao seu sistema de vácuo, os refrigeradores criogénicos MaxCool podem reduzir drasticamente os tempos de bombeamento e aumentar o rendimento do produto. O MaxCool bombeia vapor de água em minutos após o arranque e pode descongelar em menos de quatro minutos, proporcionando uma verdadeira capacidade de ciclo rápido.
Utilizando misturas de refrigerantes Polycold® patenteadas, os nossos refrigeradores criogénicos MaxCool funcionam segundo o princípio de captura Meissner. O vapor de água é capturado por condensação numa superfície criogénicamente arrefecida, chamada bobina Meissner. A Meissner (bobina criogénica) é montada diretamente na câmara de vácuo para que a condutância não seja limitada por portas, coletores, válvulas e defletores. A crio-bobina é fácil de instalar e pode ser adaptada a qualquer sistema. Não necessita de uma válvula de alto vácuo.
Os refrigeradores criogénicos MaxCool são a atualização mais económica que pode adicionar a qualquer sistema de bombagem por difusão, turbobombeamento ou criobombeamento de hélio.
Os crio-refrigeradores MaxCool estão em conformidade com os Refrigerantes de Aplicação Europeus (CE 1005/2009), o Protocolo de Montreal e o US EPA SNAP.
Benefícios
- Opção de gestão de energia para minimizar o custo de propriedade
- Controlo de temperatura
- A carga de refrigerante Green patenteada está em conformidade global, é não tóxica e não inflamável
- Com base na refrigeração de mistura de gás comprovada, inovadora e fiável da Polycold®
- Em conformidade com PED e MD da UE
- Listado pela TUV Rheinland nas Normas de Segurança NRTL/CANADÁ
- Fabricante com certificação ISO 9001:2008
- Especificações dos modelos MaxCool
- Transferências
|
MaxCool 1500 |
MaxCool 2200 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Capacidade de refrigeração máxima |
1.500 W |
2.200 W |
2.500 W |
4.000 W |
Temperatura à capacidade de refrigeração máxima |
-118 °C |
-105 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Temperatura mais baixa |
-141 °C |
-149 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Pressão máxima de funcionamento (25% da velocidade máxima de bombeamento) |
1E-9 torr |
8E-10 torr |
7E-10 torr |
5E-8 torr |
Área típica de captura a frio |
0,5 m2 |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Velocidade máxima de bombeamento de vapor de água a partir de uma área típica de recolha de frio |
74.500 l/s |
163.900 l/s |
208.600 l/s |
327.800 l/s |
Área máxima de captura de frio conservadora* |
1,5 m2 |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Consumo de energia (modo de espera) |
4,5 kW |
4,5 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Consumo elétrico (potência típica, modo de arrefecimento, carga baixa) |
5,0 kW |
5,0 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Consumo elétrico (modo de arrefecimento, carga máxima) |
7,8 kW |
8,6 kW |
11 kW |
14,0 kW |
Caudal da água de arrefecimento para 13 °C |
6,8 l/min |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Caudal da água de arrefecimento para 18 °C |
9,1 l/min |
9,1 l/min | 18,2 l/min |
18,2 l/min |
Caudal de água de arrefecimento para 24 °C |
13,6 l/min |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Caudal da água de arrefecimento para 29 °C |
27,6 l/min |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Em conformidade com a PED europeia |
Sim |
Sim |
Sim |
Sim |
Refrigerantes não tóxicos |
Sim |
Sim |
Sim |
Sim |
Refrigerantes não inflamáveis |
Sim |
Sim |
Sim |
Sim |
