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Messgeräte für die direkte Druckmessung

Edwards Barocel® 7025 Kapazitive Messröhren

Präzision und Zuverlässigkeit bei der Drucküberwachung

Entdecken Sie die wichtige Rolle von Messgeräten für die direkte Druckmessung beim Erzielen genauer Messwerte für verschiedene Anwendungen. Die Auswahl des richtigen Messgeräts für Ihre Anforderungen ist wichtig.

Erfahren Sie, wie unsere fortschrittlichen Membran- und kapazitiven Messröhren die Leistung und Zuverlässigkeit Ihres Systems verbessern können.

Geräte für die direkte Druckmessung: präzise Druckmessungen unabhängig von der Gaszusammensetzung.

Diese Messgeräte sind für verschiedene Anwendungen, von industriellen Prozessen bis hin zur wissenschaftlichen Forschung, unverzichtbar. Unsere Auswahl ist auf Membranmessgeräte ausgerichtet, die für ihre hohe Empfindlichkeit bekannt sind. Bei diesen Messgeräten wird die Membran, die der Vakuumumgebung ausgesetzt ist, je nach Gasdruck um eine andere Menge abgelenkt, wobei diese Auslenkung verwendet wird, um sehr genaue Druckmesswerte zu erhalten.

Das Verständnis der spezifischen Anwendungsanforderungen, Umgebungsbedingungen und Druckbereiche ist für die Auswahl des geeigneten Messgeräts von entscheidender Bedeutung.

ASG2-Membranmessgeräte

Der aktive Dehnungsmesser (ASG2) verwendet eine fortschrittliche Membrantechnologie für präzise, gasunabhängige Druckmessungen.

Mit seiner robusten, korrosionsbeständigen Bauweise ist dieses Messgerät für anspruchsvolle Umgebungen ausgelegt und bietet eine zuverlässige Leistung über einen Druckbereich von 2.000 mbar bis 1 mbar.

Der ASG2 ist auf Vielseitigkeit ausgelegt und kann als eigenständiger Sensor verwendet werden. Alternativ kann er mit einem unserer Controller verwendet werden und ermöglicht die Kombination mit verschiedenen anderen Sensortypen, um eine umfassende Vakuuminstrumentenlösung zu schaffen.

Dank der integrierten Antriebselektronik bietet er ein einfaches Systemdesign und spart Platz.

Mit hoher Genauigkeit und Stabilität ist der ASG2 ideal für die Überwachung von Systemen mit langsamem Pumpvorgang und bietet eine zuverlässige Lösung für verschiedene Anforderungen an Vakuumgeräte.

Aktiver ASG2-Dehnungsmesser von Edwards

Aktiver ASG2-Dehnungsmesser

Kapazitive Messröhren von Barocel

Die Barocel® 7000-Baureihe wurde für die Komplexität moderner Fertigungsumgebungen entwickelt und bietet eine präzise, temperaturkompensierte Druckmessung. Diese Messgeräte sind mit fortschrittlicher digitaler Elektronik ausgestattet, die die Leistung verbessert und benutzerfreundliche Funktionen bietet, wie z. B. Nullstellung per Knopfdruck und einstellbare Sollwerte. Der korrosionsbeständige Keramiksensor sorgt für eine außergewöhnliche Nullpunktstabilität und ist auf Langlebigkeit ausgelegt, um Millionen von Druckzyklen und plötzlichen Wechseln zu atmosphärischem Druck standzuhalten.

Unsere kapazitiven Messgeräte verfügen über robuste mechanische Bauweisen, die die elektromagnetische Verträglichkeit verbessern und somit langfristige Stabilität und einen hervorragenden Temperaturausgleich gewährleisten. Die Baureihe zeichnet sich durch eine schnelle Stabilisierung nach dem Einschalten und eine schnelle Wiederherstellung bei atmosphärischen Druckspitzen aus.

Für Anwendungen, die empfindlich gegenüber Kondensation sind, bieten unsere beheizten Barocel®-Messröhren zusätzlichen Schutz und gewährleisten klare und präzise Messwerte unter wechselnden Temperaturbedingungen.

Edwards Barocel® 7025 Kapazitive Messröhren – rechter Winkel

Barocel® 7025 Kapazitive Messröhren

Die Vorteile von Barocel

  • Messbereich von 100 mTorr bis 1.000 Torr.
  • Schnelle Stabilisierung nach dem Einschalten.
  • Schnelle Wiederherstellung bei atmosphärischem Druck.
  • Korrosionsbeständiger Keramiksensor für langfristige Zuverlässigkeit.
  • Verbesserte langfristige Signalstabilität.
  • Temperaturausgleich.
  • Fortschrittlicher Sensorschutz gegen Verunreinigung.
  • Vereinfachter Betrieb einer Nullstellung auf Knopfdruck.
  • Kompatibel mit einer Vielzahl von Stromversorgungen.

Die Barocel® Serie 7000 setzt neue Maßstäbe in Bezug auf Präzision und Zuverlässigkeit bei der Technologie kapazitiver Messgeräte und stellt sicher, dass Ihre Prozesse genau und effizient gemessen werden.

Typische Anwendungen

  • Geräte zur Halbleiterfertigung im Bereich CVD, Ätzen, PVD
  • Datenspeicherung und Anzeige von Produktionsanlagen
  • Industrielle Vakuumgeräte
  • Allgemeine hochpräzise Druckmessungen

Benötigen Sie eine lokale Anzeige und Steuerung Ihres Systems?

Wenn Sie eine lokale Anzeige für diese Messröhren benötigen, können wir Ihnen eine spezielle Variante unseres TIC-Controllers anbieten, die neben unseren aktiven Standard-Messröhren auch mit allen Barocel-Messröhren kompatibel ist.

Durch die Möglichkeit, insgesamt sechs Messröhren gleichzeitig anzuschließen (maximal drei Barocel-Messröhren, je nachdem, ob beheizt oder unbeheizt), können Sie mehrere Bereiche Ihres Systems mit einem einzigen Controller abdecken.

Kurzer Überblick über die Messgeräte:

Trainee Wirtschaftsingenieur Industrial
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