直接壓力測量計
監控壓力時的精確度及可靠性
探索欲在各種應用環境獲得準確讀數時,直接壓力測量計所扮演的關鍵角色。請務必根據您的需求選擇合適的測量計。
探索我們先進的隔膜與電容式真空計,如何強化系統效能與可靠性。
直接壓力測量計:無論氣體成分為何,都能獲得準確的壓力讀數。
從工業製程到科學研究等各種應用環境裡,這些儀表都是不可或缺。我們在選擇時重視以高靈敏度馳名的隔膜真空計。在這些真空計中,隔膜暴露於真空環境中時,會根據氣體壓力導致不同氣體量偏轉,然後依偏轉以取得非常精確的壓力讀數。
因此,您必須具體瞭解應用需求、環境條件和壓力範圍,才能選擇正確的真空計。
ASG2 隔膜真空計
主動式應變真空計 (ASG2) 使用先進的隔膜技術,提供不受氣體影響的精確壓力測量。
這款真空計採用堅固防腐蝕的設計,經得起嚴苛環境的考驗,能在 2000 mbar 至 1 mbar 的壓力範圍內,提供可靠的效能。
ASG2 這款多功能真空計可作為獨立傳導器使用,也可搭配我們其中一種控制器系列產品使用,協助與不同類型的感應器搭配使用,以建立全面的真空儀錶解決方案。
配備內建驅動式電子裝置,簡化系統設計並節省空間。
ASG2 具備高準確度和穩定性,非常適合用於監控慢速泵浦系統,為各種真空儀錶需求提供可靠的解決方案。
Barocel 電容式真空計
Barocel®7000 系列專門針對現代複雜的製造環境所設計,可提供精確的溫度補償壓力測量。這些真空計配置先進數位電子裝置,可強化其效能,且提供簡單易用的功能,例如一鍵歸零功能和可調式設定點。防腐蝕陶瓷傳感器能確保極佳的零穩定性,且耐用性絕佳,能承受數百萬次壓力循環與大氣壓力的突然改變。
我們的電容式真空計具備堅固耐用的機械設計,可強化電磁相容性,確保長期穩定性和優異溫度補償。此系列產品具備卓越的啟動後快速穩定功能,能從大氣壓力尖峰迅速復原。
對於容易發生冷凝的應用環境,Barocel® 真空計的加熱版本提供額外防護,能在各種溫度條件下,持續提供清楚準確的測量結果。
Barocel 的優勢
- 全量程範圍,從 100 mTorr 到 1000 Torr。
- 啟動後快速穩定。
- 從大氣壓力迅速復原。
- 抗腐蝕陶瓷傳感器,耐用可靠。
- 經過強化的長期訊號穩定性。
- 溫度補償。
- 先進的傳感器防護,防止污染。
- 一鍵歸零功能,簡化操作。
- 與各種電力供應設備相容。
Barocel® 7000 系列在電容式真空計技術的精確度與可靠度方面樹立了全新標準,確保能準確且有效率地測量您的程序。
一般應用
- 用於蝕刻、CVD、PVD、ALD 的半導體製造設備
- 資料儲存與顯示製造設備
- 工業用真空設備
- 一般高精準度壓力測量
您是否需要本地顯示與系統控制?
若您需要這些真空計具備本地顯示,我們提供 TIC 控制器的特殊機型,可搭配所有 Barocel 真空計及標準主動式真空計使用。
此機型隨時能連接共 6 個真空計 (視加熱/未加熱而定,最多 3 個 Barocel 真空計),您只要使用單一控制器,即可涵蓋系統的多重區域。