직접 압력 측정 게이지
압력 모니터링의 정밀도 및 신뢰성
다양한 응용 분야에서 정확한 판독을 달성하는 데 있어 직접 압력 측정 게이지의 중요한 역할을 확인해 보십시오. 필요에 맞는 올바른 게이지를 선택하는 것이 중요합니다.
당사의 첨단 다이어프램 및 정전 용량 압력계 게이지가 시스템의 성능과 신뢰성을 어떻게 향상시킬 수 있는지 알아보십시오.
직접 압력 측정 게이지: 가스 조성에 관계없이 정확한 압력 판독값을 얻을 수 있습니다.
이 게이지는 산업 공정에서 과학 연구에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 필수적입니다. 당사는 감도가 높은 것으로 알려진 다이어프램 게이지에 초점을 맞췄습니다. 이러한 게이지에서 진공 환경에 노출된 다이어프램은 기체 압력에 따라 다른 양으로 변형되며, 이 모델은 매우 정확한 압력 판독값을 얻기 위해 사용됩니다.
특정 응용 분야 요구 사항, 환경 조건 및 압력 범위를 이해하는 것은 적절한 게이지를 선택하는 데 필수적입니다.
ASG2 다이어프램 게이지
활성 스트레인 게이지(ASG2)는 고급 다이어프램 기술을 사용하여 가스 독립적인 정밀한 압력 측정을 제공합니다.
견고한 내부식성 설계로 제작된 이 게이지는 혹독한 환경에서도 견딜 수 있도록 제작되었으며 2000mbar에서 1mbar까지의 다양한 압력에서 안정적인 성능을 제공합니다.
다목적성을 위해 설계된 ASG2는 독립형 트랜스듀서로 작동할 수 있으며, 당사의 컨트롤러 제품군 중 하나와 함께 사용할 수 있어 다양한 다른 센서 유형과의 조합을 통해 포괄적인 진공 기기 솔루션을 만들 수 있습니다.
구동 전자 장치가 내장되어 있어 시스템 설계를 단순화하고 공간을 절약합니다.
높은 정확도와 안정성을 갖춘 ASG2는 저속 펌핑 시스템 모니터링에 이상적이며 다양한 진공 기기 요구에 맞는 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.
Barocel 정전 용량 압력계 게이지
현대 제조 환경의 복잡성을 고려하여 설계된 Barocel® 7000 시리즈는 정밀한 온도 보상 압력 측정을 제공합니다. 이 게이지에는 성능을 향상시키고 원푸시 버튼 영점 기능 및 조정 가능한 설정점과 같은 사용자 친화적인 기능을 제공하는 첨단 디지털 전자 장치가 장착되어 있습니다. 내부식성 세라믹 센서는 탁월한 제로 안정성을 보장하며 내구성을 위해 설계되어 수백만 회의 압력 사이클과 대기압으로의 갑작스러운 이동을 견딜 수 있습니다.
정전 용량 압력계는 전자기 호환성을 향상시키는 견고한 기계적 설계로 제작되어 장기적인 안정성과 뛰어난 온도 보정을 보장합니다. 이 시리즈는 전력 공급 후 신속한 안정화 및 대기압 스파이크로부터의 신속한 회복 기능이 뛰어납니다.
응축에 취약한 응용 분야를 위해 Barocel® 압력계의 가열 버전은 다양한 온도 조건에서 명확하고 정확한 측정을 유지하면서 추가적인 보호 기능을 제공합니다.
Barocel의 장점
- 100mTorr ~ 1000Torr의 전체 스케일 범위
- 전원을 켠 후 빠른 안정화
- 대기압으로부터 빠르게 회복
- 장기적인 신뢰성을 위한 내부식성 세라믹 센서
- 장기적인 신호 안정성 향상
- 온도 보상
- 오염을 방지하는 고급 센서 차폐
- 단일 버튼 제로 기능으로 작동 단순화
- 다양한 전원 공급 장치와 호환
Barocel® 7000 시리즈는 정전 용량 압력계 기술의 정밀도 및 신뢰성의 새로운 표준을 제시하여 공정을 정확하고 효율적으로 측정할 수 있도록 합니다.
일반적인 응용 분야
- 에칭, CVD, PVD, ALD용 반도체 제조 장비
- 데이터 저장 및 디스플레이 제조 장비
- 산업용 진공 장비
- 일반적인 고정확도 압력 측정
로컬 시스템 디스플레이 및 제어가 필요합니까?
이러한 게이지에 대한 로컬 디스플레이가 필요한 경우, 표준 활성 게이지와 함께 모든 Barocel 게이지에서 작동할 수 있는 TIC 컨트롤러의 특수한 모델을 제공합니다.
한 번에 총 6개의 게이지(가열식/비가열식에 따라 최대 3개의 Barocel 게이지)를 연결할 수 있으므로 단일 제어기로 시스템의 여러 영역을 처리할 수 있습니다.