Your browser is not supported

Már nem támogatjuk az Az Ön által használt böngészőt. Kérjük, használja az alábbi támogatott böngészők egyikét oldalunk meglátogatásához

Search Edwards Vacuum
Ez a weboldal mesterséges intelligenciával lett lefordítva.

Pontosság és megbízhatóság a nyomásmonitorozásban

Ismerje meg a közvetlen nyomásmérő műszerek kritikus szerepét a pontos mérési eredmények elérésében különböző alkalmazásokban. Fontos, hogy az igényeinek megfelelő mérőműszert válassza ki.

Fedezze fel, hogy fejlett membrán- és kapacitív manométereink hogyan növelhetik rendszere teljesítményét és megbízhatóságát.

Közvetlen nyomásmérő műszerek: pontos nyomásértékek elérése a gáz összetételétől függetlenül.

Ezek a mérőműszerek nélkülözhetetlenek a különböző alkalmazásokban, az ipari folyamatoktól a tudományos kutatásig. Kiválasztásunk a nagy érzékenységükről ismert membrános mérőműszerekre összpontosít. Ezekben a mérőműszerekben a vákuumkörnyezetnek kitett membrán a gáznyomástól függően különböző mértékben hajlik el, és ezt az elhajlást használják a nagyon pontos nyomásértékek eléréséhez.

A megfelelő nyomásmérő kiválasztásához elengedhetetlen a speciális alkalmazási követelmények, a környezeti feltételek és a nyomástartományok megértése.

ASG2 membránmérők

Az aktív nyúlásmérő (ASG2) fejlett membrántechnológiát alkalmaz a precíz, gázfüggetlen nyomásmérés érdekében.

Robusztus, korrózióálló kialakításának köszönhetően ez a mérőműszer ellenáll a zord környezetnek, és megbízható teljesítményt nyújt a 2000 mbar és 1 mbar közötti nyomástartományban.

A sokoldalúságra tervezett ASG2 önálló jelátalakítóként is működhet, vagy használható valamelyik vezérlőcsaládunkkal, lehetővé téve a különböző egyéb érzékelőtípusokkal való kombinálást, hogy teljes körű vákuumműszer-megoldást hozzon létre.

A beépített frekvenciaváltó-elektronikának köszönhetően leegyszerűsíti a rendszer kialakítását, és helyet takarít meg.

A nagy pontosságú és stabilitású ASG2 ideális a lassú szivattyúzású rendszerek monitorozására, megbízható megoldást kínálva a különböző vákuumműszerezési igényekhez.

Edwards ASG2 aktív nyúlásmérő

ASG2 aktív nyúlásmérő

Barocel kapacitív nyomásmérők

A modern gyártási környezetek bonyolultságára tervezett Barocel® 7000 sorozat precíz, hőmérséklet-kompenzált nyomásmérést kínál. Ezek a mérőműszerek fejlett digitális elektronikával vannak felszerelve, amely javítja a teljesítményt, és felhasználóbarát funkciókat kínál, például egy gombnyomásos nullázási funkciót és állítható alapértékeket. A korrózióálló kerámia szenzor kivételes nulla stabilitást biztosít, és tartósságra tervezték, hogy ellenálljon a nyomásciklusok millióinak és a légköri nyomásra történő hirtelen változásoknak.

Kapacitív manométereink robusztus mechanikai kialakításúak, amelyek javítják az elektromágneses kompatibilitást, hosszú távú stabilitást és kiváló hőmérséklet-kompenzációt biztosítanak. A sorozat kiválóan teljesít a bekapcsolás utáni gyors stabilizálásban és a légköri nyomáscsúcsokból történő gyors helyreállításban.

A kondenzációra érzékeny alkalmazások esetében a Barocel® nyomásmérők fűtött változatai további védelmet nyújtanak, és változó hőmérsékleti körülmények között is tiszta és pontos méréseket biztosítanak.

Edwards Barocel® 7025 kapacitív nyomásmérő - derékszögű

Barocel® 7025 kapacitív nyomásmérő

A Barocel előnyei

  • A teljes tartomány 100 mTorr és 1000 Torr között van.
  • Gyors stabilizáció bekapcsolás után.
  • Gyors helyreállítás légköri nyomásról.
  • Korrózióálló kerámia érzékelő a hosszú távú megbízhatóságért.
  • Fokozott hosszú távú jelstabilitás.
  • Hőmérséklet kompenzáció
  • Fejlett szenzorvédelem a szennyeződés ellen.
  • Egyszerűsített működtetés egygombos nullázó funkcióval.
  • Számos tápegységgel kompatibilis.

A Barocel® 7000 sorozat új mércét állít fel a kapacitív nyomásmérő technológia precizitásának és megbízhatóságának terén, biztosítva a folyamatok pontos és hatékony mérését.

Tipikus alkalmazások

  • Félvezetőgyártási berendezések maratáshoz, CVD-hez, PVD-hez, ALD-hez
  • Adattároló és kijelző gyártási berendezések
  • Ipari porszívó berendezések
  • Általános nagy pontosságú nyomásmérés

Szüksége van a rendszer helyi megjelenítésére és vezérlésére?

Ha ezekhez a mérőműszerekhez helyi kijelzőre van szüksége, TIC vezérlőnk speciális változatát kínáljuk, amely a standard aktív mérőműszereink mellett minden Barocel mérőműszerrel használható.

Egyszerre akár 6 nyomásmérő is csatlakoztatható (legfeljebb 3 Barocel nyomásmérő a fűtött/fűtetlen állapottól függően), így a rendszer több területét is lefedheti egyetlen vezérlővel.)

Mérőműszerek gyors áttekintése:

Az Edwards alkalmazottai mosolyogva állnak a folyosón
SZERVIZSZOLGÁLTATÁSOK

Tudjon meg többet szervizmegoldásainkról