直接圧力測定ゲージ
圧力監視の精度と信頼性
さまざまな用途で正確な測定値を得る上で、直接圧力測定ゲージが果たす重要な役割をご確認ください。お客様のニーズに合った適切なゲージを選択することが重要です。
当社の高度なダイヤフラムおよびキャパシタンスマノメータゲージがお客様のシステムの性能と信頼性をどのように向上させるかをご覧ください。
直接圧力測定ゲージ:ガス組成にかかわらず正確な圧力測定値が得られます。
これらのゲージは、産業プロセスから科学研究まで、さまざまな用途で不可欠です。当社の製品ラインアップは、高感度で知られているダイヤフラムゲージに重点を置いています。このゲージでは、真空環境にさらされたダイヤフラムはガス圧に応じてたわむ量が異なります。このたわみを使用して非常に正確な圧力測定値が得られます。
適切なゲージを選択するには、特定の用途要件、環境条件、圧力範囲を理解することが不可欠です。
ASG2ダイヤフラムゲージ
アクティブストレインゲージ(ASG2)は、高度なダイヤフラム技術を利用して、ガスに依存しない正確な圧力測定を行います。
このゲージは、堅牢で耐腐食性に優れた設計のため、過酷な環境にも耐え、2000 mbar~1 mbarの圧力範囲で信頼性の高い性能を発揮します。
汎用性を重視して設計されたASG2は、スタンドアロンの変換機として動作することも、当社のコントローラーシリーズの1つと併用することもでき、他のさまざまなセンサータイプとの組み合わせを容易にして、包括的な真空機器ソリューションを実現します。
内蔵ドライブエレクトロニクスにより、システム設計を簡素化し、スペースを節約します。
高精度と安定性を備えたASG2は、低速排気システムの監視に最適で、さまざまな真空機器のニーズに対応する信頼性の高いソリューションを提供します。
Barocelキャパシタンスマノメータゲージ
現代の製造環境の複雑さを考慮して設計されたBarocel® 7000シリーズは、正確な温度補償圧力測定を提供します。このゲージには、性能を向上させ、ワンプッシュボタンゼロ機能や調整可能な設定値などの使いやすい機能を提供する高度なデジタル電子機器が搭載されています。耐腐食性セラミックセンサーは、優れたゼロ安定性を保証し、数百万回の圧力サイクルや急激な大気圧への変化に耐える耐久性を追求して設計されています。
当社のキャパシタンスマノメータは、電磁両立性を高める堅牢な機械設計で製造されており、長期的安定性と優れた温度補償を実現します。このシリーズは、電源投入後の迅速な安定化と大気圧の急激な変化からの迅速な回復に優れています。
結露の影響を受けやすい用途には、当社のBarocel®マノメーターの加熱バージョンが追加の保護を提供し、さまざまな温度条件下で明確かつ正確な測定を維持します。
Barocelの利点
- 100 mTorr~1000 Torrまでのフルスケールレンジ
- 電源投入後の迅速な安定化
- 大気圧からの迅速な回復
- 長期間の信頼性を確保する耐腐食性セラミックセンサー
- 長期的な信号安定性を強化
- 温度補償
- 汚染に対する高度なセンサーシールド
- ワンプッシュボタンゼロ機能で簡単操作
- さまざまな電源に対応
Barocel® 7000シリーズは、キャパシタンスマノメータ技術の精度と信頼性の新たな基準を確立し、プロセスを正確かつ効率的に測定します。
一般的な用途
- エッチング、CVD、PVD、ALD用半導体製造装置
- データの保管および製造装置のディスプレイ
- 産業用真空装置
- 一般的な高精度圧力測定
システムのローカル表示と制御が必要ですか?
ゲージのローカルディスプレイが必要な場合は、TICコントローラーの特別モデルをご用意しています。このコントローラーは、すべてのBarocelゲージと標準のアクティブゲージを同時に動作させることができます。
一度に合計6個のゲージを接続できる機能(加熱/非加熱に応じて最大3個のBarocelゲージが接続可能)により、システムの複数のエリアを1台のコントローラーでカバーできます。