Your browser is not supported

您正使用我們不再支援的瀏覽器。如要繼續瀏覽我們的網站,請選擇以下任一支援的瀏覽器。

愛德華 CTI-Cryogenics 320F XVS 低溫泵浦上方橫幅

On-Board® IS 320F XVS Cryopump

今日高需求離子佈植應用的解決方案

達到全新境界的低溫泵浦效能

直立式愛德華 CTI-Cryogenics On-Board IS 320F XVS 低溫泵浦

On-Board® IS 320F XVS 低溫泵浦的設計旨在提供最高的氫氣抽氣效能,以改善製程產出和流量,為今日的離子佈植應用挑戰提供完美的解答。整合於低溫泵浦的智慧型系統控制可確保更完備的製程品質、真空一致性和運轉時間,同時提供即時系統資訊以最佳化陣列溫度控制。透過自動適應持續變化的熱能 / 氣體負載條件,系統的真空品質也因而提升。

   

特性和優點

  • 降低再生之間的 H2 抽氣速度變化
  • 降低因光阻污染對 H2 抽氣速度造成的影響
  • 最佳化的穩定陣列溫度

  • 高 H2 抽氣速度 - 15,500 L/S
  • 高 H2 容量 – 40 STD-L

  • On-Board IS 低溫泵浦系統
  • IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVS 壓縮機

聯絡我們並深入瞭解

按一下這裡

Loading...