達到全新境界的低溫泵浦效能
CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F 低溫泵浦維持愛德華提供市面上最可靠、效能最佳之植入式低溫泵浦的傳統。
On-Board® IS 320F XVS 低溫泵浦的設計旨在提供最高的氫氣抽氣效能，以改善製程產出和流量，為今日的離子佈植應用挑戰提供完美的解答。整合於低溫泵浦的智慧型系統控制可確保更完備的製程品質、真空一致性和運轉時間，同時提供即時系統資訊以最佳化陣列溫度控制。透過自動適應持續變化的熱能 / 氣體負載條件，系統的真空品質也因而提升。
特性和優點
- 穩定的真空效能
- 強化的真空效能
- 系統相容性
穩定的真空效能
- 降低再生之間的 H2 抽氣速度變化
- 降低因光阻污染對 H2 抽氣速度造成的影響
- 最佳化的穩定陣列溫度
強化的真空效能
- 高 H2 抽氣速度 - 15,500 L/S
- 高 H2 容量 – 40 STD-L
系統相容性
- On-Board IS 低溫泵浦系統
- IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVS 壓縮機
- 降低再生之間的 H2 抽氣速度變化
- 降低因光阻污染對 H2 抽氣速度造成的影響
- 最佳化的穩定陣列溫度
- 高 H2 抽氣速度 - 15,500 L/S
- 高 H2 容量 – 40 STD-L
- On-Board IS 低溫泵浦系統
- IS-1000、IS-2000V、IS-1800 XVS 壓縮機
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