สําหรับข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับการติดตั้งและการใช้งานอินเทอร์เฟซ โปรดดูคู่มือการใช้งานที่ให้มาพร้อมกับผลิตภัณฑ์
ระบบ Subfab บําบัด |
รายละเอียดการเปลี่ยนแปลง |
|
| ชื่อไฟล์ ESI | D37903640A.XML | การแก้ปัญหา |
| เฟิร์มแวร์ที่เข้ากันได้ | D37903600A | |
| โปรไฟล์อุปกรณ์ทั่วไป | ETG5003-1 | |
| หมายเลขรุ่นฟังก์ชัน CDP | 2 | |
| โปรไฟล์อุปกรณ์เฉพาะ | ETG5003-2000 | |
| หมายเลขการสร้างฟังก์ชัน SDP | 2 | |
| ข้อมูล ณ วันที่ | 6 กุมภาพันธ์ 2019 | |
- Abatement Subfab System 12 kB, ZIP