Để biết thêm thông tin về việc lắp đặt và vận hành giao diện, vui lòng tham khảo hướng dẫn sử dụng đi kèm với sản phẩm.
Hệ thống Subfab xử lý |
Mô tả thay đổi |
|
| Tên tệp ESI | D37903640A.XML | Bản phát hành lần đầu |
| Phần sụn tương thích | D37903600A | |
| Hồ sơ thiết bị chung | ETG5003-1 | |
| Số thế hệ chức năng CDP | 2 | |
| Hồ sơ thiết bị cụ thể | ETG5003-2000 | |
| Số thế hệ chức năng SDP | 2 | |
| Ngày phát hành | Ngày 6 tháng 2 năm 2019 | |
- Abatement Subfab System 12 kB, ZIP