Alcance níveis de vácuo mais baixos rapidamente
Os Cryochillers Edwards Polycold® MaxCool são sistemas de refrigeração criogénica em circuito fechado que capturam eficazmente o vapor de água, que constitui entre 65% a 95% do gás residual em sistemas de alto vácuo.
Estes criocondensadores podem ser usados para capturar vapor de água e outras substâncias condensáveis, congelando-as numa superfície fria, como uma criocoil ou uma barreira em chevron. Os Criocondensadores MaxCool também são usados para arrefecer e aquecer objetos, como as pinças eletrostáticas utilizadas no processamento de pastilhas semicondutoras. Os diferentes modelos da nossa gama fornecem 2.000, 2.500 ou 4.000 watts de refrigeração.
Bombagem de Vapor de Água
O vapor de água é tipicamente o contaminante mais reativo presente em sistemas de alto vácuo. Com os nossos MaxCool Cryochillers, pode esperar um aumento na produção do seu sistema existente entre 20% e 100% e melhorar a qualidade da deposição.
A Vantagem MaxCool
- Tempo de bombagem para alto vácuo reduzido em até 75%
- Aumento do rendimento do produto de 20% a 100%
- Pressão parcial de vapor de água mais baixa durante o processamento para maior qualidade do filme, melhor adesão e deposição mais reprodutível
- Retorno rápido do investimento ao eliminar o custo recorrente do azoto líquido
- Minimize o custo de propriedade com gestão de energia
- Arrefecimento e aquecimento de alta capacidade para uma ampla variedade de processos
Quando adicionados ao seu sistema de vácuo, os MaxCool Cryochillers podem reduzir drasticamente os tempos de bombeamento e aumentar a produção do produto. O MaxCool remove o vapor de água em poucos minutos desde o arranque e pode descongelar em menos de quatro minutos, proporcionando uma verdadeira capacidade de ciclo rápido.
Utilizando misturas de refrigerante Polycold® patenteadas, os nossos MaxCool Cryochillers funcionam com base no princípio da captura de Meissner. O vapor de água é capturado por condensação numa superfície arrefecida criogenicamente, chamada bobina de Meissner. A bobina de Meissner (criobobina) está montada diretamente na câmara de vácuo, pelo que a condutância não é limitada por portas, colectores, válvulas ou defletores. A criobobina é fácil de instalar e pode ser adaptada para se ajustar a qualquer sistema. Não necessita de uma válvula de alto vácuo.
Os MaxCool Cryochillers são a atualização mais rentável que pode adicionar a qualquer sistema com bomba de difusão, turbobomba ou bomba criogénica de hélio.
Os MaxCool Cryochillers cumprem os regulamentos europeus sobre refrigerantes para aplicações (EC 1005/2009), o Protocolo de Montreal e o programa SNAP da EPA dos EUA.
Benefícios
- Opção de gestão de energia para minimizar o custo de propriedade
- Controlo de temperatura
- Carga de refrigerante verde patenteada, globalmente compatível, não tóxica e não inflamável
- Baseado na refrigeração por gás misto inovadora, comprovada e fiável da Polycold®
- Conforme com a Diretiva Europeia de Equipamentos sob Pressão (PED) e a Diretiva de Máquinas (MD)
- TUV Rheinland listado de acordo com as normas de segurança NRTL/CANADÁ
- Fabricante certificado ISO 9001:2008
Especificações dos modelos MaxCool
|
MaxCool 1500 |
MaxCool 2200 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Capacidade Máxima de Refrigeração |
1.500 W |
2.200 W |
2.500 W |
4.000 W |
Temperatura na Capacidade Máxima de Refrigeração |
-118 °C |
-105 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Temperatura mais baixa |
-141 °C |
-149 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Pressão Operacional Máxima (25% da velocidade máxima de bombagem) |
1E-9 torr |
8E-10 torr |
7E-10 torr |
5E-8 torr |
Área Típica da Armadilha de Frio |
0,5 m² |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Velocidade Máxima de Bombeamento de Vapor de Água a partir da Área Típica da Armadilha Fria |
74.500 l/s |
163.900 l/s |
208.600 l/s |
327.800 l/s |
Área Máxima Conservadora da Armadilha de Frio* |
1,5 m2 |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Consumo Elétrico (Modo de Espera) |
4,5 kW |
4,5 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Consumo Elétrico (Potência Típica, Modo Frio, Baixa Carga) |
5,0 kW |
5,0 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Consumo Elétrico (Modo Frio, Carga Máxima) |
7,8 kW |
8,6 kW |
11 kW |
14,0 kW |
Caudal de água de arrefecimento para 13 °C |
6,8 l/min |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Caudal de água de arrefecimento para 18 °C |
9,1 l/min |
9,1 l/min | 18,2 l/min |
18,2 l/min |
Caudal de água de arrefecimento para 24 °C |
13,6 l/min |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Caudal de água de arrefecimento para 29 °C |
27,6 l/min |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Compatível com PED Europeu |
Sim |
Sim |
Sim |
Sim |
Refrigerantes Não Tóxicos |
Sim |
Sim |
Sim |
Sim |
Refrigerantes não inflamáveis |
Sim |
Sim |
Sim |
Sim |
- Polycold Edwards MaxCool Cryochillers Datasheet v02 914.7 kB, PDF
- Polycold Edwards MaxCool 2200 Datasheet v02 747 kB, PDF
- Polycold Edwards Maxcool 2500L Datasheet v02 735 kB, PDF
- Polycold Edwards MaxCool 4000H datasheet v02 801.2 kB, PDF