より低い真空レベルを迅速に実現
Edwards Polycold® MaxCoolクライオチラーは、閉ループ式極低温冷凍システムです。高真空システム内の残留ガスの65～95％を占める水蒸気を効率的に捕捉します。
これらのクライオチラーは、クライオコイルやシェブロンバッフルなどの低温表面に凍結させることで、水蒸気やその他の凝縮性物質を捕捉できます。また、半導体ウェーハ処理で使用される静電チャックなどの冷却・加熱用途にも使用されます。製品ラインアップには、2,000W・2,500W・4,000Wの冷却能力モデルをご用意しています。
水蒸気排気
水蒸気は、高真空システム内に存在する汚染物質の中で最も反応性が高いものの一つです。MaxCoolクライオチラーを使用することで、既存システムの生産スループットを20～100％向上させることができ、さらに成膜品質を改善できます。
MaxCoolの優位性
- 高真空到達までの排気時間を最大75％短縮
- 生産スループットを20～100％向上
- プロセス中の水蒸気分圧を低減し、より高品質な薄膜形成、優れた密着性、再現性の高い成膜を実現
- 液体窒素の継続使用コストを排除し、迅速な投資回収を実現
- 電力管理機能により保有コストを最小化
- 幅広いプロセスに対応する高能力な冷却・加熱性能
真空システムにMaxCoolクライオチラーを追加することで、排気時間を大幅に短縮し、生産スループットを向上できます。MaxCoolは起動後数分以内に水蒸気の排気を開始し、4分未満で除霜できるため、高速サイクル運転を実現します。
特許取得済みのPolycold®混合冷媒を使用したMaxCoolクライオチラーは、マイスナー捕集（Meissner trapping）の原理で動作します。水蒸気は、マイスナーコイルと呼ばれる極低温冷却表面上で凝縮し捕捉されます。このマイスナーコイル（クライオコイル）は真空チャンバー内に直接設置されるため、ポート、マニホールド、バルブ、バッフルによるコンダクタンス制限を受けません。また、クライオコイルは取り付けが容易であらゆるシステムに適用可能であり、高真空バルブも必要ありません。
MaxCoolクライオチラーは、拡散ポンプ、ターボ分子ポンプ、ヘリウムクライオポンプを使用したあらゆるシステムに追加できる、最も費用対効果の高いアップグレードソリューションです。
MaxCoolクライオチラーは、欧州の冷媒規制（EC 1005/2009）、モントリオール議定書、および米国EPA SNAPに適合しています。
特長・メリット
- 電力管理オプションにより保有コストを最小化
- 温度制御機能
- 特許取得済みの環境配慮型冷媒を採用しています。無毒性・不燃性であり、世界各国の規制に準拠しています。
- 実績あるPolycold®の革新的かつ信頼性の高い混合ガス冷凍技術を採用
- EU PEDおよび機械指令(MD)に適合
- TUV Rheinland認定によるNRTL/CANADA安全規格認証取得
- ISO 9001:2008認証取得メーカー
MaxCool各モデル仕様
|
MaxCool 1500 |
MaxCool 2200 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
最大冷却能力 |
1,500 W |
2,200 W |
2,500 W |
4,000 W |
最大冷却能力時温度 |
-118 °C |
-105 °C |
-120℃ |
-98℃ |
最低到達温度 |
-141 °C |
-149 °C |
-145℃ |
-133℃ |
到達運転圧力（最大排気速度の25％時） |
1E-9 torr |
8E-10 Torr |
7E-10 torr |
5E-8 Torr |
標準コールドトラップ面積 |
0.5 m2 |
1.1 m2 |
1.4 m2 |
2.2 m2 |
標準コールドトラップ面積からの最大水蒸気排気速度 |
74,500 l/s |
163,900 l/s |
208,600 l/s |
327,800 l/s |
推奨最大コールドトラップ面積* |
1.5 m2 |
1.5 m2 |
2.0 m2 |
2.8 m2 |
消費電力（待機モード） |
4.5 kW |
4.5 kW |
8.0 kW |
8.0 kW |
消費電力（通常冷却運転・低負荷） |
5.0 kW |
5.0 kW |
8.0 kW |
8.0 kW |
電力消費（最大負荷冷却運転） |
7.8 kW |
8.6 kW |
11 kW |
14.0 kW |
冷却水流量（13℃） |
6.8 l/min |
6.8 l/min |
15.1 l/min |
15.1 l/min |
冷却水流量（18℃） |
9.1 l/min |
9.1 l/min | 18.2 l/min |
18.2 l/min |
冷却水流量（24℃） |
13.6 l/min |
13.6 l/min |
27.3 l/min |
27.3 l/min |
冷却水流量（29℃） |
27.6 l/min |
27.6 l/min |
54.1 l/min |
54.1 l/min |
欧州圧力機器指令（PED）準拠 |
あり |
あり |
あり |
あり |
無毒性冷媒 |
あり |
あり |
あり |
あり |
不燃性冷媒 |
あり |
あり |
あり |
あり |
- Polycold Edwards MaxCool Cryochillers Datasheet v02 914.7 kB, PDF
- Polycold Edwards MaxCool 2200 Datasheet v02 747 kB, PDF
- Polycold Edwards Maxcool 2500L Datasheet v02 735 kB, PDF
- Polycold Edwards MaxCool 4000H datasheet v02 801.2 kB, PDF
