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chiller criogenico MaxCool

Rapido raggiungimento dei livelli di vuoto più bassi

I chiller criogenici MaxCool Polycold® di Edwards sono sistemi di refrigerazione criogenica a struttura chiusa che catturano efficacemente il vapore acqueo, che comprende dal 65% al 95% del gas residuo nei sistemi ad alto vuoto.

Questi chiller criogenici possono essere utilizzati per catturare il vapore acqueo e altre sostanze condensabili congelandoli su una superficie fredda, ad esempio una spirale criogenica o un deflettore. I chiller MaxCool vengono utilizzati anche per raffreddare e riscaldare oggetti come i mandrini elettrostatici utilizzati nella lavorazione di wafer semiconduttori. I diversi modelli della nostra gamma offrono 2.000, 2.500 o 4.000 watt di raffreddamento.

Pompaggio del vapore acqueo

Il vapore acqueo è in genere il contaminante più reattivo presente nei sistemi ad alto vuoto. Con i nostri chiller criogenici MaxCool è possibile aspettarsi un aumento della produttività del sistema esistente dal 20% al 100% e una migliore qualità dei depositi.

Vantaggi di MaxCool

  • Tempi di evacuazione dell'alto vuoto ridotti fino al 75%
  • Aumento della produttività dal 20% al 100%
  • Minore pressione parziale del vapore acqueo durante la lavorazione per una maggiore qualità, una migliore adesione e una deposizione maggiormente riproducibile del film
  • Rapido ritorno sull'investimento grazie all'eliminazione dei costi ricorrenti per l'acquisto dell'azoto liquido
  • Riduzione al minimo dei costi di proprietà grazie al sistema di gestione dell'energia
  • Raffreddamento e riscaldamento ad alta capacità per un'ampia varietà di processi

Se aggiunti al sistema per vuoto, i chiller criogenici MaxCool possono ridurre drasticamente i tempi di pompaggio e aumentare la resa dei prodotti. I MaxCool pompano vapore acqueo entro pochi minuti dall'avvio e possono sbrinare in meno di quattro minuti, garantendo un ciclo estremamente rapido. 

Utilizzando miscele di refrigerante Polycold® brevettate, i nostri chiller criogenici MaxCool si basano sul principio dell'intrappolamento Meissner. Il vapore acqueo viene catturato per condensa su una superficie raffreddata criogenicamente, chiamata bobina Meissner. La bobina Meissner è montata direttamente nella camera a vuoto in modo che la conduttanza non sia limitata da porte, collettori, valvole e deflettori. La bobina criogenica è facile da installare e può essere adattata a qualsiasi sistema. Non richiede una valvola per alto vuoto.

Chiller criogenici MaxCool

I chiller criogenici MaxCool costituiscono l'upgrade più economico che è possibile aggiungere a qualsiasi sistema con pompa a diffusione, pompa turbo o criogenica all'elio.

I chiller criogenici MaxCool sono conformi ai refrigeranti per applicazioni europee (CE 1005/2009) al Protocollo di Montreal e a EPA SNAP statunitense.

Vantaggi

  • Opzione per la gestione dell'alimentazione per ridurre al minimo i costi di proprietà
  • Controllo della temperatura
  • Il carico di refrigerante ecologico brevettato è conforme a livello globale non tossico e non infiammabile
  • Basato sul collaudato, innovativo e affidabile raffreddamento a gas misto Polycold®
  • Conforme alle norme UE PED ed MD
  • Certificato TUV Rheinland secondo gli standard di sicurezza NRTL/CANADA
  • Produttore certificato ISO 9001:2008

Specifiche dei modelli MaxCool

 

MaxCool 2000

MaxCool 2500L

MaxCool 4000H

Capacità di raffreddamento massima

2.000 W

2.500 W

4.000 W

Temperatura alla capacità di raffreddamento massima

-111 °C

-120 °C

-98 °C

Temperatura più bassa

-142 °C

-145 °C

-133 °C

Pressione di esercizio finale (25% della velocità di pompaggio massima)

3E-9 torr

8E-10 torr

5E-8 torr

Area trappola fredda tipica

1,1 m2

1,4 m2

2,2 m2

Massima velocità di pompaggio del vapore acqueo dalla tipica area trappola fredda

163.900 l/s

208.600 l/s

327.800 l/s

Area trappola fredda massima conservativa*

1,5 m2

2,0 m2

2,8 m2

Consumo elettrico (modalità standby)

5,5 kW

11,4 kW

12,0 kW

Consumo elettrico (modalità raffreddamento, carico tipico)

6,2 kW

13,9 kW

12,4 kW

Consumo elettrico (modalità raffreddamento, carico massimo)

8,8 kW

19,2 kW

19,2 kW

Flusso dell'acqua di raffreddamento per 13 °C

6,8 l/min

15,1 l/min

15,1 l/min

Flusso dell'acqua di raffreddamento per 18 °C

9,1 l/min

18,2 l/min

18,2 l/min

Flusso dell'acqua di raffreddamento per 24 °C

13,6 l/min

27,3 l/min

27,3 l/min

Flusso dell'acqua di raffreddamento per 29 °C

27,6 l/min

54,1 l/min

54,1 l/min

Conformità PED europea

Refrigeranti atossici

Refrigeranti non infiammabili

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