Alcance niveles de vacío más bajos rápidamente
Los refrigeradores criogénicos MaxCool de Edwards Polycold® son sistemas de refrigeración criogénica de circuito cerrado que capturan eficazmente el vapor de agua, que comprende entre el 65 % y el 95 % del gas residual en los sistemas de alto vacío.
Estos refrigeradores criogénicos se pueden utilizar para capturar el vapor de agua y otras sustancias condensables, congelándolas en una superficie fría, como una criobobina o un deflector tipo chevrón. Los refrigeradores criogénicos MaxCool también se utilizan para enfriar y calentar objetos tales como abrazaderas electroestáticas que se utilizan en el procesamiento de obleas semiconductoras. Los diferentes modelos de nuestra gama proporcionan 2000, 2500 o 4000 W de enfriamiento.
Bombeo de vapor de agua
El vapor de agua es, por lo general, el contaminante más reactivo presente en los sistemas de alto vacío. Con nuestros refrigeradores criogénicos MaxCool, obtendrá un aumento en el rendimiento de su sistema existente de un 20 % a un 100 %, y mejorará la calidad de la deposición.
Las ventajas de MaxCool
- El tiempo de bombeo hasta lograr el alto vacío disminuye hasta en un 75 %
- Aumento del rendimiento del producto de un 20 % a un 100 %
- Menor presión parcial de vapor de agua durante el procesamiento para una mejor calidad de la película, mejor adhesión y deposición más reproducible
- Rápido retorno de la inversión mediante la eliminación del costo recurrente del nitrógeno líquido
- Minimiza el costo de propiedad con la administración de energía
- Alta capacidad de refrigeración y calentamiento para una amplia variedad de procesos
Cuando se agregan al sistema de vacío, los refrigeradores criogénicos MaxCool pueden reducir drásticamente los tiempos de bombeo y aumentar el rendimiento del producto. MaxCool bombeará vapor de agua en minutos desde el inicio y puede descongelarse en menos de cuatro minutos, lo que proporciona una verdadera capacidad de ciclo rápido.
Con mezclas de refrigerante Polycold® patentadas, los refrigeradores criogénicos MaxCool funcionan sobre el principio de captura Meissner. Se captura el vapor de agua por condensación en una superficie enfriada criogénicamente, denominada bobina Meissner. Se monta la Meissner (bobina criogénica) directamente en la cámara de vacío, por lo que la conductancia no está limitada por puertos, colectores, válvulas y deflectores. La bobina criogénica es fácil de instalar y se puede adaptar para ajustarse en cualquier sistema. No necesita una válvula de alto vacío.
Los refrigeradores criogénicos MaxCool son la actualización más rentable que puede agregar a cualquier sistema de bombeo con difusor, de turbobombeo o de bombeo criogénico con helio.
Los refrigeradores criogénicos MaxCool cumplen con las normas europeas de refrigerantes para aplicaciones (EC 1005/2009), el protocolo de Montreal y el programa SNAP de la EPA en los EE. UU.
Ventajas
- Opción de administración de energía para minimizar el costo de propiedad
- Control de la temperatura
- La carga de refrigerante no contaminante patentado cumple con las normas mundiales, no es tóxica y no es inflamable
- Está basada en la refrigeración de una mezcla de gases comprobada, innovadora y confiable de Polycold®
- Cumple con los requisitos de MD y la PED de la Unión Europea
- Certificación TUV Rheinland según las normas de seguridad NRTL/CANADÁ
- Fabricante certificado ISO 9001-2008
Especificaciones de los modelos MaxCool
|
MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Capacidad máxima de enfriamiento |
2000 W |
2500 W |
4000 W |
Temperatura a la capacidad máxima de enfriamiento |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Temperatura más fría |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Presión de operación máxima (25 % de la velocidad de bombeo máxima) |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
Área típica de trampa fría |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Velocidad máxima de bombeo de vapor de agua a partir del área típica de trampa fría |
163 900 l/s |
208 600 l/s |
327 800 l/s |
Área máxima de trampa fría conservadora* |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Consumo eléctrico (modo de espera) |
5,5 kW |
11,4 kW |
12,0 kW |
Consumo eléctrico (modo de enfriamiento, carga típica) |
6,2 kW |
13,9 kW |
12,4 kW |
Consumo eléctrico (modo de enfriamiento, carga máxima) |
8,8 kW |
19,2 kW |
19,2 kW |
Flujo de agua de refrigeración a 13 °C |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Flujo de agua de refrigeración a 18 °C |
9,1 l/min |
18,2 l/min |
18,2 l/min |
Flujo de agua de refrigeración a 24 °C |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Flujo de agua de refrigeración a 29 °C |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Cumple con los estándares PED europeos |
Sí |
Sí |
Sí |
Refrigerantes no tóxicos |
Sí |
Sí |
Sí |
Refrigerantes no inflamables |
Sí |
Sí |
Sí |
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2000 535.8 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2500L 542.4 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 4000H 544.5 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet MaxCool Cryochillers 772.3 kB, PDF
