Schnelles Erreichen höherer Vakuumwerte
Die Kryokühler Edwards Polycold® MaxCool sind kryogene Kühlsysteme mit geschlossenem Prozess, die Wasserdampf effektiv einfangen. Dieser macht 65 % bis 95 % des Restgases in Hochvakuumsystemen aus.
Diese Kryokühler können verwendet werden, um Wasserdampf und andere kondensierbare Substanzen aufzufangen, indem sie auf einer kalten Oberfläche wie einer Kryospirale oder einem Chevron-Baffle gefrieren. MaxCool-Kryokühler werden auch zum Kühlen und Erwärmen von Objekten wie z. B. elektrostatischen Chucks für die Halbleiterwaferproduktion eingesetzt. Die verschiedenen Modelle unserer Serie liefern 2.000, 2.500 bzw. 4.000 Watt Kühlung.
Pumpen von Wasserdampf
Wasserdampf ist in der Regel die reaktivste vorhandene Verunreinigung in Hochvakuumsystemen. Mit unseren MaxCool-Kryokühlern können Sie den Produktdurchsatz in Ihrem bestehenden System um 20 % bis 100 % steigern und die Qualität der Abscheidung verbessern.
Die Vorteile von MaxCool
- Hochvakuum-Abpumpzeiten um bis zu 75 % kürzer
- Erhöhter Produktdurchsatz von 20 % bis 100 %
- Geringerer Wasserdampfpartialdruck während der Verarbeitung für höhere Folienqualität, bessere Haftung und reproduzierbarere Abscheidung
- Schnelle Investionsrendite, da keine wiederkehrenden Kosten für Flüssigstickstoff mehr anfallen
- Minimierung der Betriebskosten durch Energiemanagement
- Hochleistungskühlung und -heizung für eine Vielzahl von Prozessen
Wenn Sie Ihr Vakuumsystem um den Kryokühler MaxCool erweitern, kann er die Abpumpzeiten drastisch reduzieren und den Produktdurchsatz erhöhen. Der MaxCool pumpt Wasserdampf innerhalb von Minuten nach dem „Start“ und kann in weniger als vier Minuten auftauen, was echte Schnellzyklusfähigkeit bedeutet.
Mit den patentierten Polycold®-Kältemittelgemischen arbeitet der MaxCool nach dem Prinzip der Meissner-Falle. Wasserdampf wird durch Kondensation auf einer kryogen gekühlten Oberfläche, der sogenannten Meissner-Spule, aufgefangen. Die Meissner (Kryospule) wird direkt in der Vakuumkammer montiert, sodass der Leitwert nicht durch Anschlüsse, Sammelrohre, Ventile und Leitbleche begrenzt wird. Die Kryospulen sind einfach zu installieren und können an jedes System angepasst werden, ohne dass ein Hochvakuumventil erforderlich ist.
MaxCool-Kryokühler sind die kostengünstigste Nachrüstung, die Sie jedem System mit Diffusionspumpen, Turbo- oder Helium-Kryopumpen hinzufügen können.
MaxCool-Kryokühler sind konform mit der europäischen Kältemittelanwendung (laut Verordnung EG Nr. 1005/2009), dem Montreal-Protokoll und dem US EPA SNAP.
Vorteile
- Option für Energiemanagement zur Minimierung der Betriebskosten
- Temperaturregelung
- Die patentierte umweltfreundliche Kältemittelfüllung entspricht den weltweit gültigen Standards, ist ungiftig und nicht zündfähig
- Sie basiert auf der bewährten, innovativen und zuverlässigen Mischgaskühlung von Polycold®
- Entspricht EU PED und MD
- Von TÜV Rheinland nach NRTL/CANADA Sicherheitsstandards gelistet
- Nach ISO 9001:2008 zertifizierter Hersteller
Technische Daten der MaxCool-Modelle
|
MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Maximale Kühlleistung |
2.000 W |
2.500 W |
4.000 W |
Temperatur bei maximaler Kühlleistung |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Kälteste Temperatur |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Endbetriebsdruck (25 % der maximalen Pumpleistung) |
3E-9 Torr |
8E-10 Torr |
5E-8 Torr |
Typische Kühlfallenfläche |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Maximale Wasserdampf-Pumpleistung aus typischer Kühlfallenfläche |
163.900 l/s |
208.600 l/s |
327.800 l/s |
Konservative maximale Kühlfallenfläche* |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Stromverbrauch (Standby-Modus) |
5,5 kW |
11,4 kW |
12,0 kW |
Stromverbrauch (Kühlmodus, typische Last) |
6,2 kW |
13,9 kW |
12,4 kW |
Stromverbrauch (Kühlmodus, max. Last) |
8,8 kW |
19,2 kW |
19,2 kW |
Kühlwasserdurchfluss bei 13 °C |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Kühlwasserdurchfluss bei 18 °C |
9,1 l/min |
18,2 l/min |
18,2 l/min |
Kühlwasserdurchfluss bei 24 °C |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Kühlwasserdurchfluss bei 29 °C |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Entspricht EU PED |
Ja |
Ja |
Ja |
Ungiftige Kältemittel |
Ja |
Ja |
Ja |
Nicht zündfähige Kältemittel |
Ja |
Ja |
Ja |
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2000 535.8 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2500L 542.4 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 4000H 544.5 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet MaxCool Cryochillers 772.3 kB, PDF
