快速達到更低的真空水準
愛德華 Polycold® MaxCool 低溫製冷器是閉迴路低溫製冷系統，能夠有效捕獲在高真空系統中構成 65% 至 95% 殘留氣體的水蒸汽。
這些低溫製冷器可將水蒸汽和其他可凝物質冷凍至如低溫盤管或 V 形擋板的冰冷表面，來捕獲水蒸汽。MaxCool 低溫製冷器也用於冷卻與加熱用於半導體晶圓處理的物體，例如靜電吸盤。我們系列中不同的機型提供 2,000、2,500 或 4,000 瓦的冷卻效用。
水蒸汽抽氣
水蒸汽一般是高真空系統中存在的最具反應性的汙染物。您可透過我們的 MaxCool 低溫製冷器，讓現有系統中的產品吞吐量提高 20% 到 100%，並改善沉積品質。
MaxCool 優勢
- 高真空抽氣時間最多降低 75%
- 產品吞吐量提高 20% 至 100%
- 降低處理期間的水蒸汽分壓，因此薄膜品質更高、附著力更佳且更能重現沉積作用
- 透過免除液態氮的續生成本，快速獲得投資回報
- 透過電力管理將持有成本最小化
- 適用於各式各樣製程的高容量冷卻和加熱
MaxCool 低溫製冷器加裝至您的真空系統時，能夠大幅降低抽氣時間並提高產品產能。MaxCool 將在啟動的數分鐘內抽吸水蒸汽，並在不到 4 分鐘內除霜，因而提供真正的快速循環功能。本產品也備有快速冷卻 (Rapid Cool to Cool) 選項，可消除除霜後的等候期間，因此您的系統每個工班能夠執行更多生產循環。我們的 MaxCool 低溫製冷器採用獲得專利的 Polycold® 冷媒混合物，以麥士納 (Meissner) 捕獲原理運作。透過低溫冷卻表面 (稱為麥士納盤管) 上的冷凝作用捕獲水蒸汽。麥士納裝置 (低溫盤管) 直接安裝於真空腔體中，因此傳導不會受限於汽門口、歧管、閥門和擋板。低溫盤管安裝簡易，經過調整可以安裝於任何系統。無需使用高真空閥。
MaxCool 低溫製冷器是您可加裝至任何擴散泵、渦輪泵或氦氣低溫泵系統的最經濟實惠升級。
MaxCool 低溫製冷器符合歐洲應用冷媒 (EC 1005/2009)、蒙特羅議定書和美國 EPA SNAP 標準。
優點
- 透過快速冷卻選項提高生產力
- 將持有成本最小化的電力管理選項
- 溫度控制
- 獲得專利的綠色冷媒充填符合全球標準，無毒、不可燃
- 以 Polycold® 經過實證、創新、可靠的混合氣體製冷為基礎
- 符合歐盟 PED 與 MD
- 德國萊茵認證至 NRTL/加拿大安全標準
- ISO 9001:2008 認證製造商
MaxCool 機型規格
|
MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
最大冷卻能力 |
2,000 W |
2,500 W |
4,000 W |
最大冷卻能力的溫度 |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
最低溫度 |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
最終操作壓力 (25% 最大抽氣速度) |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
典型冷阱區域 |
1.1 m2 |
1.4 m2 |
2.2 m2 |
來自典型冷阱區域的最大水蒸汽抽氣速度 |
163,900 l/s |
208,600 l/s |
327,800 l/s |
保守的最大水分冷凍捕捉器* |
1.5 m2 |
2.0 m2 |
2.8 m2 |
耗電量 (待機模式) |
5.5 kW |
11.4 kW |
12.0 kW |
耗電量 (冷卻模式，典型負載) |
6.2 kW |
13.9 kW |
12.4 kW |
耗電量 (冷卻模式，最大負載) |
8.8 kW |
19.2 kW |
19.2 kW |
13 °C 的冷卻水流量 |
6.8 l/min |
15.1 l/min |
15.1 l/min |
18 °C 的冷卻水流量 |
9.1 l/min |
18.2 l/min |
18.2 l/min |
24 °C 的冷卻水流量 |
13.6 l/min |
27.3 l/min |
27.3 l/min |
29 °C 的冷卻水流量 |
27.6 l/min |
54.1 l/min |
54.1 l/min |
符合歐洲 PED |
是 |
是 |
是 |
無毒冷媒 |
是 |
是 |
是 |
不可燃冷媒 |
是 |
是 |
是 |
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2000 535.8 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2500L 542.4 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 4000H 544.5 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet MaxCool Cryochillers 772.3 kB, PDF
