Alcance níveis de vácuo mais baixos rapidamente
Os MaxCool Cryochillers da Edwards Polycold® são sistemas de refrigeração criogênica de circuito fechado que capturam efetivamente o vapor de água, que compreende de 65% a 95% do gás residual em sistemas de alto vácuo.
Esses refrigeradores criogênicos podem ser usados para capturar vapor de água e outras substâncias condensáveis congelando-os em uma superfície fria, como uma bobina criogênica ou defletor tipo chevron. Os MaxCool Cryochillers também são usados para resfriar e aquecer objetos, como mandris eletrostáticos usados no processamento de pastilhas de semicondutores. Os diferentes modelos da nossa linha proporcionam 4.000, 2.500 ou 2.000 watts de arrefecimento.
Bombeamento de vapor de água
O vapor de água é geralmente o contaminante mais reativo presente em sistemas de alto vácuo. Com nossos MaxCool Cryochillers, você pode esperar um aumento de rendimento do produto em seu sistema existente de 20% a 100% e melhorar a qualidade da deposição.
A vantagem MaxCool
- Redução de até 75% no tempo de bombeamento de alto vácuo
- Aumento do rendimento do produto de 20% a 100%
- Menor pressão parcial do vapor de água durante o processamento para maior qualidade do filme, melhor adesão e deposição mais reprodutível
- Rápido retorno do investimento eliminando o custo recorrente de nitrogênio líquido
- Minimize o custo de propriedade com gerenciamento de energia
- Resfriamento e aquecimento de alta capacidade para uma ampla variedade de processos
Quando adicionados ao seu sistema de vácuo, os MaxCool Cryochillers podem reduzir drasticamente os tempos de bombeamento e aumentar o rendimento do produto. O MaxCool bombeará vapor de água em poucos minutos após a partida e poderá descongelar em menos de quatro minutos, proporcionando uma verdadeira capacidade de ciclo rápido. Ele também tem uma opção chamada resfriamento rápido a frio, que elimina o período de espera após o descongelamento, permitindo que o sistema execute mais ciclos de produção por turno.Usando misturas de refrigerante Polycold® patenteadas, nossos MaxCool Cryochillers trabalham no princípio da retenção Meissner. O vapor de água é capturado pela condensação em uma superfície resfriada criogenicamente, chamada de bobina Meissner. O Meissner (bobina criogênica) é montado diretamente na câmara de vácuo, de modo que a condutância não é limitada por portas, coletores, válvulas e defletores. A bobina criogênica é fácil de instalar e pode ser adaptada para qualquer sistema. Não precisa de uma válvula de alto vácuo.
Os MaxCool Cryochillers são a atualização mais econômica que você pode adicionar a qualquer sistema com bomba de difusão, turbo ou criogênica de hélio.
Os MaxCool Cryochillers estão em conformidade com os Refrigerantes de Aplicação Europeia (EC 1005/2009), o Protocolo de Montreal e o EPA SNAP dos EUA.
Benefícios
- Maior produtividade com a opção de resfriamento rápido a frio
- Opção de gerenciamento de energia para minimizar o custo de propriedade
- Controle da temperatura
- A carga de refrigerante ecológico patenteada é globalmente compatível, não tóxica e não inflamável
- Baseada na comprovada e inovadora refrigeração a gás misto, confiável e comprovada da Polycold®
- Compatível com PED e MD da UE
- TUV Rheinland listado para os padrões de segurança da NRTL/CANADÁ
- Fabricante com certificação ISO 9001:2008
Especificações dos modelos MaxCool
|
MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Capacidade máxima de resfriamento |
2.000 W |
2.500 W |
4.000 W |
Temperatura na capacidade máxima de resfriamento |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Temperatura mais fria |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Pressão operacional máxima (25% da velocidade máxima de bombeamento) |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
Área típica de armadilha a frio (cold trap) |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Velocidade máxima de bombeamento de vapor de água da área típica de armadilha a frio (cold trap) |
163.900 l/s |
208.600 l/s |
327.800 l/s |
Área de armadilha a frio (cold trap) máxima conservadora* |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Consumo elétrico (Modo de espera) |
5,5 kW |
11,4 kW |
12,0 kW |
Consumo elétrico (Modo frio, carga típica) |
6,2 kW |
13,9 kW |
12,4 kW |
Consumo elétrico (Modo frio, carga máxima) |
8,8 kW |
19,2 kW |
19,2 kW |
Fluxo de água de resfriamento para 13 °C |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Fluxo de água de resfriamento para 18 °C |
9,1 l/min |
18,2 l/min |
18,2 l/min |
Fluxo de água de resfriamento para 24 °C |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Fluxo de água de resfriamento para 29 °C |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Compatível com PED europeu |
Sim |
Sim |
Sim |
Refrigerantes não tóxicos |
Sim |
Sim |
Sim |
Refrigerantes não inflamáveis |
Sim |
Sim |
Sim |
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2000 535.8 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2500L 542.4 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 4000H 544.5 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet MaxCool Cryochillers 772.3 kB, PDF
