Szybkie osiąganie niższych poziomów próżni
Chłodnice kriogeniczne Edwards Polycold® MaxCool to zamknięte układy chłodnicze kriogeniczne, które skutecznie wychwytują parę wodną, która zawiera od 65% do 95% gazu resztkowego w systemach wysokopróżniowych.
Te kriochillery mogą być używane do wychwytywania pary wodnej i innych substancji skraplających się poprzez zamrażanie ich na zimnej powierzchni, takiej jak wężownica kriologiczna lub przegroda w kształcie chevrona. Kriochłodnice MaxCool są również używane do chłodzenia i ogrzewania obiektów, takich jak uchwyty elektrostatyczne stosowane w obróbce płytek półprzewodnikowych. Różne modele z naszej oferty zapewniają chłodzenie o mocy 2000, 2500 lub 4000 watów.
Pompowanie pary wodnej
Para wodna jest zazwyczaj najbardziej reaktywnym zanieczyszczeniem występującym w systemach wysokopróżniowych. Dzięki naszym chłodnicom kriogenicznym MaxCool można spodziewać się wzrostu wydajności produkcyjnej produktu w istniejącym systemie o 20% do 100% i poprawy jakości osadzania.
Zalety MaxCool
- Czas odpompowywania przy wysokiej próżni skrócony nawet o 75%
- Zwiększenie wydajności produkcyjnej o 20% do 100%
- Niższe ciśnienie cząstkowe pary wodnej podczas obróbki zapewnia wyższą jakość powłoki, lepszą przyczepność i bardziej powtarzalne osadzanie
- Szybki zwrot z inwestycji dzięki wyeliminowaniu powtarzających się kosztów płynnego azotu
- Minimalizacja kosztów posiadania dzięki zarządzaniu energią
- Wysoka wydajność chłodzenia i ogrzewania dla szerokiej gamy procesów
Po dodaniu do systemu próżniowego kriochłodnice MaxCool mogą znacznie skrócić czas odpompowywania i zwiększyć wydajność produkcyjną produktu. Urządzenie MaxCool pompuje parę wodną w ciągu kilku minut od uruchomienia i może odmrażać w czasie krótszym niż cztery minuty, zapewniając prawdziwie szybki cykl.
Wykorzystując opatentowane mieszaniny czynników chłodniczych Polycold®, nasze kriochłodnice MaxCool działają na zasadzie wychwytywania Meissnera. Para wodna jest wychwytywana przez kondensację na powierzchni chłodzonej kriogenicznie, zwanej cewką Meissnera. Cewka kriogeniczna Meissnera jest zamontowana bezpośrednio w komorze próżniowej, dzięki czemu przewodność nie jest ograniczona przez porty, kolektory, zawory i przegrody. Kryospiralę można łatwo zainstalować i dostosować do każdego systemu. Nie wymaga zaworu wysokopróżniowego.
Chłodnice kriogeniczne MaxCool to najbardziej ekonomiczna modernizacja, którą można dodać do każdego systemu z pompą dyfuzyjną, turbopompą lub kriopompą helu.
Agregaty chłodnicze MaxCool są zgodne z europejskimi przepisami dotyczącymi czynników chłodniczych (WE 1005/2009), protokołem montrealskim i amerykańską umową EPA SNAP.
Korzyści
- Opcja zarządzania zasilaniem w celu zminimalizowania kosztów posiadania
- Regulacja temperatury
- Opatentowany zielony czynnik chłodniczy jest zgodny z globalnymi normami, nietoksyczny i niepalny
- W oparciu o sprawdzone, innowacyjne i niezawodne chłodzenie mieszanin gazowych Polycold®
- Zgodność z dyrektywą UE PED i MD
- TUV Rheinland na liście norm bezpieczeństwa NRTL/CANADA
- Producent z certyfikatem ISO 9001:2008
Dane techniczne modeli MaxCool
|
MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Maksymalna wydajność chłodzenia |
2,000 W |
2,500 W |
4,000 W |
Temperatura przy maksymalnej wydajności chłodzenia |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Najniższa temperatura |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Maksymalne ciśnienie robocze (25% maksymalnej prędkości pompowania) |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
Typowy obszar pułapki zimnej |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Maksymalna prędkość pompowania pary wodnej z typowego obszaru pułapki zimnej |
163,900 l/s |
208 600 l/s |
327 800 l/s |
Zachowawczy maksymalny obszar pułapki zimnej* |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Pobór mocy (tryb gotowości) |
5,5 kW |
11,4 kW |
12,0 kW |
Zużycie energii elektrycznej (tryb chłodzenia, typowe obciążenie) |
6,2 kW |
13,9 kW |
12,4 kW |
Pobór prądu (tryb chłodzenia, maks. obciążenie) |
8,8 kW |
19,2 kW |
19,2 kW |
Przepływ wody chłodzącej dla 13°C |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Przepływ wody chłodzącej dla 18°C |
9,1 l/min |
18,2 l/min |
18,2 l/min |
Przepływ wody chłodzącej dla 24°C |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Przepływ wody chłodzącej dla 29°C |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Zgodność z europejską dyrektywą PED |
Tak |
Tak |
Tak |
Nietoksyczne czynniki chłodnicze |
Tak |
Tak |
Tak |
Niepalne czynniki chłodnicze |
Tak |
Tak |
Tak |
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2000 535.8 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2500L 542.4 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 4000H 544.5 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet MaxCool Cryochillers 772.3 kB, PDF
