Alcanza niveles de vacío más bajos rápidamente
Los criocoolers Edwards Polycold® MaxCool son sistemas de refrigeración criogénica de circuito cerrado que capturan eficazmente el vapor de agua, que constituye entre el 65 % y el 95 % del gas residual en sistemas de alto vacío.
Estos criocoolers pueden utilizarse para capturar vapor de agua y otras sustancias condensables congelándolas sobre una superficie fría, como una criobobina o un deflector en forma de cheurón. Los criocoolers MaxCool también se emplean para enfriar y calentar objetos, como las pinzas electrostáticas utilizadas en el procesamiento de obleas semiconductoras. Los diferentes modelos de nuestra gama ofrecen 2.000, 2.500 o 4.000 vatios de refrigeración.
Bombeo de vapor de agua
El vapor de agua es típicamente el contaminante más reactivo presente en sistemas de alto vacío. Con nuestros MaxCool Cryochillers puede esperar un aumento en la producción de su sistema existente de entre el 20 % y el 100 %, además de mejorar la calidad de la deposición.
La Ventaja MaxCool
- Tiempo de bombeo en alto vacío reducido hasta en un 75 %
- Aumento del rendimiento del producto del 20 % al 100 %
- Presión parcial de vapor de agua más baja durante el procesamiento para una mayor calidad de película, mejor adhesión y una deposición más reproducible
- Retorno rápido de la inversión al eliminar el coste recurrente del nitrógeno líquido
- Minimice el coste de propiedad con la gestión de energía
- Refrigeración y calefacción de alta capacidad para una amplia variedad de procesos
Cuando se añade a su sistema de vacío, los MaxCool Cryochillers pueden reducir drásticamente los tiempos de bombeo y aumentar el rendimiento del producto. El MaxCool puede bombear vapor de agua en minutos desde el inicio y descongelar en menos de cuatro minutos, ofreciendo una verdadera capacidad de ciclo rápido.
Utilizando mezclas de refrigerante Polycold® patentadas, nuestros MaxCool Cryochillers funcionan bajo el principio de atrapamiento de Meissner. El vapor de agua se captura por condensación en una superficie enfriada criogénicamente, llamada bobina de Meissner. La bobina de Meissner (criobobina) está montada directamente en la cámara de vacío, por lo que la conductancia no se ve limitada por puertos, colectores, válvulas ni deflectores. La criobobina es fácil de instalar y puede adaptarse para ajustarse a cualquier sistema. No necesita una válvula de alto vacío.
Los MaxCool Cryochillers son la mejora más rentable que puede añadir a cualquier sistema con bomba de difusión, turbobomba o criobomba de helio.
Los MaxCool Cryochillers cumplen con los refrigerantes de aplicación europeos (EC 1005/2009), el Protocolo de Montreal y el programa SNAP de la EPA de EE. UU.
Ventajas
- Opción de gestión energética para minimizar el coste de propiedad
- Control de la temperatura
- La carga de refrigerante verde patentada cumple con normativas globales, es no tóxica y no inflamable
- Basado en la refrigeración de gas mixto innovadora, confiable y comprobada de Polycold®
- Cumple con la PED y la MD de la UE
- TUV Rheinland listado según las normas de seguridad NRTL/CANADÁ
- Fabricante certificado ISO 9001:2008
Especificaciones de los modelos MaxCool
|
MaxCool 1500 |
MaxCool 2200 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Capacidad máxima de refrigeración |
1,500 W |
2,200 W |
2,500 W |
4,000 W |
Temperatura a la Capacidad Máxima de Refrigeración |
-118 °C |
-105 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Temperatura más baja |
-141 °C |
-149 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Presión máxima de operación (25 % de la velocidad máxima de bombeo) |
1E-9 torr |
8E-10 torr |
7E-10 torr |
5E-8 torr |
Área típica de la trampa de frío |
0,5 m² |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Velocidad máxima de bombeo de vapor de agua desde un área típica de trampa fría |
74.500 l/s |
163.900 l/s |
208.600 l/s |
327.800 l/s |
Área máxima conservadora de la trampa de frío* |
1,5 m2 |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Consumo eléctrico (modo de espera) |
4,5 kW |
4,5 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Consumo eléctrico (Potencia típica, modo frío, carga baja) |
5,0 kW |
5,0 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Consumo eléctrico (Modo frío, carga máxima) |
7,8 kW |
8,6 kW |
11 kW |
14,0 kW |
Caudal de agua de refrigeración para 13 °C |
6,8 l/min |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Caudal de agua de refrigeración para 18 °C |
9,1 l/min |
9,1 l/min | 18,2 l/min |
18,2 l/min |
Caudal de agua de refrigeración para 24 °C |
13,6 l/min |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Caudal de agua de refrigeración para 29 °C |
27,6 l/min |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Cumple con la PED europea |
Sí |
Sí |
Sí |
Sí |
Refrigerantes no tóxicos |
Sí |
Sí |
Sí |
Sí |
Refrigerantes no inflamables |
Sí |
Sí |
Sí |
Sí |
- Polycold Edwards MaxCool Cryochillers Datasheet v02 914.7 kB, PDF
- Polycold Edwards MaxCool 2200 Datasheet v02 747 kB, PDF
- Polycold Edwards Maxcool 2500L Datasheet v02 735 kB, PDF
- Polycold Edwards MaxCool 4000H datasheet v02 801.2 kB, PDF
