Snel lagere vacuümniveaus bereiken
Edwards Polycold® MaxCool cryochillers zijn gesloten cryogene koelsystemen die effectief waterdamp opvangen, die 65% tot 95% van het restgas in hoogvacuümsystemen uitmaakt.
Deze cryochillers kunnen worden gebruikt om waterdamp en andere condenseerbare stoffen op te vangen door ze op een koud oppervlak zoals een cryospoel of chevronbaffle te bevriezen. MaxCool cryochillers worden ook gebruikt om objecten te koelen en te verwarmen, zoals elektrostatische klauwplaten die worden gebruikt bij de verwerking van halfgeleiderwafers. De verschillende modellen in ons assortiment leveren 2.000, 2.500 of 4.000 watt koeling.
Verpompen van waterdamp
Waterdamp is gewoonlijk de meest reactieve verontreiniging in hoogvacuümsystemen. Met onze MaxCool cryochillers kunt u een toename van de productdoorvoer in uw bestaande systeem van 20% tot 100% verwachten en de afzettingskwaliteit verbeteren.
Het MaxCool-voordeel
- Hoogvacuüm afpomptijd tot 75% korter
- Verhoogde productdoorvoer van 20% tot 100%
- Lagere deeldruk van waterdamp tijdens de verwerking voor een hogere filmkwaliteit, betere hechting en reproduceerbare afzetting
- Snel rendement op investering door de terugkerende kosten van vloeibare stikstof te elimineren
- Minimaliseer de eigendomskosten met energiebeheer
- Hoge koel- en verwarmingscapaciteit voor een breed scala aan processen
Als MaxCool cryochillers aan uw vacuümsysteem worden toegevoegd, kunnen ze de afpomptijden drastisch verkorten en de productdoorvoer verhogen. De MaxCool pompt waterdamp binnen enkele minuten na de start en kan in minder dan vier minuten ontdooien, wat een echte snelle cyclus mogelijk maakt.
Met behulp van gepatenteerde Polycold®-koelmiddelmengsels werken onze MaxCool-cryochillers volgens het Meissner-opvangprincipe. Waterdamp wordt opgevangen door condensatie op een cryogeen gekoeld oppervlak, een Meissner-spoel genoemd. De Meissner-spoel (cryospoel) is rechtstreeks in de vacuümkamer gemonteerd, zodat de geleiding niet wordt beperkt door poorten, spruitstukken, kleppen en baffles. De cryospoel is eenvoudig te installeren en kan worden aangepast aan elk systeem. Er is geen hoogvacuümklep nodig.
MaxCool cryochillers zijn de meest kosteneffectieve upgrade die u kunt toevoegen aan elk diffusiegepompt, turbogepompt of helium-cryogepompt systeem.
MaxCool cryochillers voldoen aan de Europese normen voor koelmiddelen (EG 1005/2009), het Montreal Protocol en de Amerikaanse EPA SNAP.
Voordelen
- Optie voor stroombeheer om de eigendomskosten te minimaliseren
- Temperatuurregeling
- Gepatenteerde Green-koelmiddelvulling is wereldwijd conform, niet-toxisch en niet-ontvlambaar
- Gebaseerd op de bewezen, innovatieve en betrouwbare gemengde gaskoeling van Polycold®
- Voldoet aan EU PED en MD
- TUV Rheinland genoteerd aan NRTL/CANADA veiligheidsnormen
- ISO 9001:2008 gecertificeerde fabrikant
Specificaties MaxCool-modellen
|
MaxCool 2000 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Maximale koelcapaciteit |
2.000 W |
2.500 W |
4.000 W |
Temperatuur bij maximale koelcapaciteit |
-111 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Laagste temperatuur |
-142 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Uiteindelijke werkdruk (25% van max. pompsnelheid) |
3E-9 torr |
8E-10 torr |
5E-8 torr |
Typisch koudevalgebied |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Maximale pompsnelheid voor waterdamp uit een typische koudevalzone |
163.900 l/s |
208.600 l/s |
327.800 l/s |
Conservatief maximaal koudevalgebied* |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Stroomverbruik (stand-bymodus) |
5,5 kW |
11,4 kW |
12,0 kW |
Stroomverbruik (koelmodus, typische belasting) |
6,2 kW |
13,9 kW |
12,4 kW |
Stroomverbruik (koelmodus, max. belasting) |
8,8 kW |
19,2 kW |
19,2 kW |
Koelwaterdebiet voor 13 °C |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Koelwaterstroom voor 18 °C |
9,1 l/min |
18,2 l/min |
18,2 l/min |
Koelwaterdebiet voor 24 °C |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Koelwaterstroom voor 29 °C |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Conform Europese PED |
Ja |
Ja |
Ja |
Niet-toxische koelmiddelen |
Ja |
Ja |
Ja |
Niet-ontvlambare koelmiddelen |
Ja |
Ja |
Ja |
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2000 528.4 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 2500L 529.7 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet Maxcool 4000H 531.6 kB, PDF
- Polycold Edwards Data Sheet MaxCool Cryochillers 771.2 kB, PDF
