Uppnå lägre vakuumnivåer snabbt
Edwards Polycold® MaxCool kryokylare är kryogeniska kylsystem med slutet kretslopp som effektivt fångar upp vattenånga, som utgör 65-95 % av restgasen i högvakuumsystem.
Dessa kryokylare kan användas för att fånga upp vattenånga och andra kondenserbara ämnen genom att frysa dem på en kall yta som en kryospole eller chevron-baffel. MaxCool kryokylare används också för att kyla och värma föremål som elektrostatiska chuckar som används vid bearbetning av halvledarplattor. De olika modellerna i vårt sortiment ger kylning på 2 000, 2 500 eller 4 000 watt.
Vattenångpumpning
Vattenånga är vanligtvis den mest reaktiva föroreningen i högvakuumsystem. Med våra MaxCool-kryokylare kan du förvänta dig en ökning av produktgenomströmningen i ditt befintliga system med 20 % till 100 % och förbättra deponeringskvaliteten.
MaxCool-fördelen
- Upp till 75 % kortare nedpumpningstid med högt vakuum
- Ökad produktgenomströmning från 20 % till 100 %
- Lägre partiellt vattenångtryck under bearbetning för högre filmkvalitet, bättre vidhäftning och mer reproducerbar deponering
- Snabb avkastning på investeringen genom att eliminera den återkommande kostnaden för flytande kväve
- Minimera ägandekostnaden med strömhantering
- Högkapacitetskylning och uppvärmning för en mängd olika processer
När MaxCool kryokylare läggs till i ditt vakuumsystem kan de dramatiskt minska nedpumpningstiderna och öka produktgenomströmningen. MaxCool pumpar vattenånga inom några minuter från start och kan tina på mindre än fyra minuter, vilket ger verkligt snabba cykelegenskaper.
Med hjälp av patenterade Polycold®-köldmedieblandningar arbetar våra MaxCool-kryokylare enligt Meissner-principen. Vattenånga fångas upp av kondensation på en kryogeniskt kyld yta, en så kallad Meissner-spole. Meissnerspolen (kryospolen) är monterad direkt i vakuumkammaren så att konduktansen inte begränsas av portar, grenrör, ventiler och bafflar. Cryoslingan är enkel att installera och kan anpassas för att passa alla system. Den behöver ingen högvakuumventil.
MaxCool kryokylare är den mest kostnadseffektiva uppgraderingen som du kan lägga till i alla diffusionspumpade, turbopumpade eller heliumkryopumpade system.
MaxCool kryokylare uppfyller kraven för europeiska köldmedier (EG 1005/2009), Montrealprotokollet och US EPA SNAP.
Fördelar
- Möjlighet till strömhantering för att minimera ägandekostnaden
- Temperaturreglering
- Patenterad grön köldmediefyllning som överensstämmer globalt, är giftfri och obrännbar
- Baserat på Polycold®:s beprövade, innovativa och tillförlitliga gasblandningskylning
- Överensstämmer med EU PED och MD
- TUV Rheinland listad enligt NRTL/CANADA säkerhetsstandarder
- ISO 9001:2008-certifierad tillverkare
Specifikationer för MaxCool-modeller
|
MaxCool 1500 |
MaxCool 2200 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Maximal kylkapacitet |
1 500 W |
2 200 W |
2 500 W |
4 000 W |
Temperatur vid maximal kylkapacitet |
-118 °C |
-105 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Lägsta temperatur |
-141 °C |
-149 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Slutligt arbetstryck (25 % av max. pumphastighet) |
1E-9 torr |
8E-10 torr |
7E-10 torr |
5E-8 torr |
Typiskt kallfälleområde |
0,5 m2 |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Maximal pumphastighet för vattenånga från ett typiskt kallfällasområde |
74 500 l/s |
163 900 l/s |
208 600 l/s |
327 800 l/s |
Konservativt maximalt köldfälleområde* |
1,5 m2 |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Strömförbrukning (standbyläge) |
4,5 kW |
4,5 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Strömförbrukning (typisk effekt, kylläge, låg belastning) |
5,0 kW |
5,0 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Strömförbrukning (kylläge, maxbelastning) |
7,8 kW |
8,6 kW |
11 kW |
14 kW |
Kylvattenflöde för 13 °C |
6,8 l/min |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Kylvattenflöde för 18 °C |
9,1 l/min |
9,1 l/min | 18,2 l/min |
18,2 l/min |
Kylvattenflöde för 24 °C |
13,6 l/min |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Kylvattenflöde för 29 °C |
27,6 l/min |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Överensstämmer med europeisk PED |
Ja |
Ja |
Ja |
Ja |
Giftfria köldmedier |
Ja |
Ja |
Ja |
Ja |
Icke brandfarliga köldmedier |
Ja |
Ja |
Ja |
Ja |
- Polycold Edwards MaxCool Cryochillers Datasheet v02 914.7 kB, PDF
- Polycold Edwards MaxCool 2200 Datasheet v02 747 kB, PDF
- Polycold Edwards Maxcool 2500L Datasheet v02 735 kB, PDF
- Polycold Edwards MaxCool 4000H datasheet v02 801.2 kB, PDF