Vacuum Solutions for Industrial Coating - Brochure
혁신적인 박막 기술을 위한 Edwards 진공 솔루션
박막 코팅 기술은 안경이나 안경테, 휴대폰, 카메라 렌즈, 메탈 봉지, 도어 노브, 장식 피규어와 같은 소비자 응용 분야, 광 에너지를 보존하는 태양 전지판 제조 및 전자 회로 제조와 같은 산업 응용 분야 등 모든 측면에서 우리 삶의 매우 중요한 부분이 되었습니다. 사용은 널리 퍼져 있으며 많은 일상적인 물건을 지원하는 기능입니다.
금속, 화합물 또는 산화물을 다양한 기판에 증착하는 새로운 공정들이 지속적으로 개발되고 있습니다. 이를 통해 플라스틱이나 세라믹 등의 표면 특성을 개선하고, 투과율, 반사율, 경도, 전기 저항, 흡수, 부식 저항, 전기적 거동 등의 물성을 조절할 수 있습니다. 예를 들어, 의료 및 환경 센서의 정확도와 감도 향상, 저방출 유리, 반사 방지 안경, 터치스크린용 지문 방지 코팅, 자동차 카메라용 보호(DLC) 코팅, 식품 포장용 확산 배리어, 방수 표면, 인공관절용 트라이볼로지 코팅, 스마트폰의 생생한 색상 및 그래픽 구현, 태양광 패널의 효율 향상 등이 그 예입니다.
박막 코팅은 어떤 방식으로 이루어지나요?
박막 침착 기술은 간단히 물리적 공정과 화학적 공정으로 나눌 수 있습니다.
물리적 증착(PVD)
이 과정에는 고체 상태의 재료를 증발시킨 후, 더 낮은 온도에서 기판에 응축시키는 단계가 포함됩니다. 이러한 공정은 일반적으로 1차 진공 펌프와 터보 분자 펌프, 극저온 펌프 또는 확산 펌프와 같은 2차 진공 펌프와 결합된 고진공 환경에서 수행됩니다. 코팅 챔버에 Polycold TM 극저온 수증기 펌핑 시스템을 추가하면 펌프 다운 시간을 줄이고 처리량을 높일 수 있습니다.
기화 방법에 따른 다양한 PVD 공정이 있습니다.
- 저항성 열원
- 전자 빔
- 전기 아크 방전
- 자석 플라즈마 스퍼터링
- 이온 빔 스퍼터링
PVD 코터는 구조 설계에 따라 세분화할 수도 있습니다.
- 배치 코터 또는 박스 코터: 제품은 각 증착 공정 후 로딩 및 언로딩됩니다.
- 롤 투 롤 코터(Roll-to-Roll-Coater)는 유연한 롤 형태의 기판을 연속적으로 코팅 공정 챔버로 공급한 후, 공정이 완료되면 별도의 롤에 다시 감아 배출하는 방식입니다.
- 인라인 코터: 높은 처리량 요건을 위한 진정한 연속 코터로서, 제품이 로딩 챔버 또는 로드 락이라고도 하는 입구 챔버에 로드되고 언로딩 챔버라고도 하는 출구 챔버를 통해 나갑니다.
화학 증기 증착 반응기
이는 원재료 또는 전구체가 기체 상태로 챔버나 반응기 내로 도입되어, 일반적으로 기재에 응축되기 전에 다른 가스와 화학적으로 반응하는 침착 기법입니다. 이러한 공정은 보통 10-3 mbar 이상의 압력에서 이루어집니다. 화학 침전 공정은 반응 활성화 방식에 따라 달라지는데, 단순한 열 반응, 저압 화학 증착(LPCVD), 또는 플라즈마 보조 화학 증착(PECVD 또는 PACVD) 등이 있습니다. 최근에는 원자층 증착(ALD)과 액상 에피택시 공정이 전자 산업 분야에서 주목받으며 발전하고 있습니다.
박막 코팅을 위한 진공 기술의 역할
진공 기술은 이러한 재료의 증기가 저압 대기 및 기판으로 방해받지 않고 불순물 없이 흐르거나 플라즈마를 위한 공정 조건을 가능하게 하기 위해 필요하기 때문에 이러한 공정에 매우 중요합니다. 따라서 이러한 공정에서 진공 대기를 생성하고 압력을 모니터링하는 것이 매우 중요합니다.
Edwards는 다양한 코팅 공정의 까다로운 요구를 충족하기 위해 일차 진공 펌핑 시스템, 이차 진공 펌프, 진공 게이지, 잔류 가스 분석기 등 광범위한 진공 솔루션을 지속적으로 개발해 오며, 수년간 박막 산업의 선두 주자로 자리매김해 왔습니다. 유리 및 태양광 코팅 공정에서 요구되는 빠른 펌핑 사이클을 효율적으로 관리하거나 ALD 및 LPE와 같은 열악한 공정 환경을 지원하는 등, 고객의 다양한 요구에 맞춰 최적화된 진공 솔루션을 제공합니다.
아래 영상을 통해 Edwards의 박막 코팅 공정용 정밀 진공 솔루션에 대해 자세히 알아보세요.
