EXS 건식 스크류 진공 펌프
열악한 산업 작업에 대한 황삭 속도와 최저 성능 개선
EXS 건식 스크류 진공 펌프
EXS는 GXS 펌프에 사용된 것과 동일한 기술을 바탕으로 단순성과 견고성에 중점을 둔 패키지로 시장을 선도하는 기술의 이점을 제공하도록 설계되었습니다. EXS는 성능 향상, 간단한 제어 철학 및 낮은 유지보수 비용으로 수년 동안 안정적인 성능을 제공할 것입니다. EXS 시리즈 건식 스크류 진공 펌프는 EXS160~750과 부스터 조합에서 사용할 수 있습니다.
견고한 설계 특징
세련된 판금 보호 케이스와 수동 가스 밸러스트 제어 기능이 있는 신뢰성 있는 새로운 가스 시스템.
간단한 전기 전략
내장형, 기성품 인버터로 연결 및 통신이 간편. 보호 센서가 장착되고, 안정성 및 안전을 위한 전기 설계.
낮은 전력 및 유틸리티 소비
EXS는 낮은 전력 및 유틸리티 사용으로 탄소 배출량이 적습니다. 오염되거나 더러워진 폐기 석유가 배출되지 않아 환경 친화적입니다.
황삭 속도와 최저 성능의 향상
보다 빠른 처리 및 펌프 다운 시간으로 생산성 향상. 건식 스크류 진공 펌프의 경우 최대 1 x 10-2 미만 및 펌프와 부스터 조합의 경우 1 x 10-3 미만의 낮은 최종 압력.
긴 수명의 비접촉식 씰
긴 수명의 비접촉식 씰과 일체형 오일 차단 래버린스 씰은 매우 효과적인 밀봉을 제공합니다.
고급 핵심 기술
작업의 호환성을 위해 증기압이 낮은 고급 베어링 및 특수 용도 오일을 사용합니다.
상세한 데이터 인사이트 및 손쉬운 제어
I/O, 필드버스 통신, IoT를 포함한 다양한 연결 솔루션을 통해 펌프에 대한 실시간 상세 인사이트와 액세스를 얻을 수 있습니다.
- 응용 분야
- 기술 사양
- 다운로드
EXS 펌프는 다음과 같은 다양한 산업의 응용 분야에 적합합니다.
리튬 이온 배터리
- 전해질 건조
- 전해질 충전
- 형성
금속공학
- 진공 경납땜
- E-빔 용접
- 연질화
- 저압 질화
- 저압 탄소 처리
- 탄소 증기 주입
- 소결
- 금속 사출 성형
- 정밀 인베스트먼트 주조
- 진공 아크 정제
- 강철 탈기
플라즈마 처리
- 플라즈마 용접
- 플라즈마 질화
진공 챔버 배출
- 공간 시뮬레이션 챔버
- 가스 회수/순환
- 잠금 챔버 로딩
태양광
- 실리콘 크리스탈 풀링
- PV 접합
코팅
- 롤 웹 코팅
- 하드 코팅(CVD/DLC)
- 표면 활성화
- 플라즈마 스프레이
- 유리 코팅
사양 | 단위 | EXS160 | EXS160/1750 | EXS250 | EXS250/2600 | |
일반 | 최종 진공 | mbar(Torr) | 1x10-2(8x10-3) | <1x10-3(<8x10-4) | 1x10-2(8x10-3) | <1x10-3(<8x10-4) |
최고 펌핑 속도 | m3/hr(cfm) | 160(94) | 1200(706) | 250(147) | 1900(1118) | |
최대 로터 속도 | 회전/분 | 6600 | DP: 6600 MB: 6120 |
6600 | DP: 6600 MB: 6120 |
|
흡입구/배출구 | ISO63/NW40 | ISO100/NW40 | ISO63/NW40 | ISO160/NW40 | ||
전기식 | 전기 공급 | V | 380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
최대 전력 | kW(hp) | 3.8(5.1) | 5.1(6.8) | 4.0(5.4) | 5.3(7.1) | |
최대 출력 | kW(hp) | 5.0(6.7) | 7.4(9.9) | 9.0(12.1) | 9.7(13.0) | |
냉각 | 연결 | 인치 | ⅜" BSP 수 | |||
냉각 흐름(항상 켜짐) | L/min (gal/min) |
4.0(1.1) | 7.0(1.9) | 4.0(1.1) | 7.0(1.9) | |
최소 차압 | bar | 1 | ||||
최대 공급 압력 | barg(psig) | 6.9(100) | ||||
온도 | °C(°F) | 5-40(41-104) | ||||
퍼징 | 연결 | 인치 | ½" BSP 수 | |||
압력 | barg(psig) | 2.5-6.9(36-100) | ||||
샤프트 씰 흐름(항상 켜짐) | L/min (gal/min) |
12(3.17) | ||||
가스 밸러스트 흐름(수동 조정) | L/min (gal/min) |
0-50(0-13.2) | ||||
운전 | 주변 온도 범위 | °C(°F) | 5-40(41-104) | |||
소음 레벨(소음기 포함) | dB(A) | <64 | ||||
최대 배출 배압 | bara(psig) | 1.2(17.4) | ||||
윤활 | 오일 | PFPE Drynert 25/6 | ||||
오일량 | L(gal) | 0.7(0.2) | 1.4(0.4) | 0.7(0.2) | 1.4(0.4) |
사양 | 단위 | EXS450 | EXS450/2600 | EXS450/4200 | EXS750 | EXS750/2600 | EXS750/4200 | |
일반 | 최종 진공 | mbar(Torr) | 1x10-2(8x10-3) | <1x10-3(<8x10-4) | <1x10-3(<8x10-4) | 1x10-2(8x10-3) | <1x10-3(<8x10-4) | <1x10-3(<8x10-4) |
최고 펌핑 속도 | m3/hr(cfm) | 450(265) | 2200(1295) | 3026(1781) | 740(435) | 2300(1354) | 3450(2032) | |
최대 로터 속도 | 회전/분 | 6600 | DP: 6600 MB: 6120 |
DP: 6600 MB: 6120 |
6600 | DP: 6600 MB: 6120 |
DP: 6600 MB: 6120 |
|
흡입구/배출구 | ISO100/NW50 | ISO160/ISO63 | ISO160/ISO63 | ISO100/NW50 | ISO160/ISO63 | ISO160/ISO63 | ||
전기식 | 전기 공급 | V | 380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz |
380-460 3Ph 50/60Hz | 380-460 3Ph 50/60Hz | 380-460 3Ph 50/60Hz |
최대 전력 | kW(hp) | 7.2(9.6) | 8.8(11.8) | 9.4(12.6) | 10.5(14) | 11.1(14.9) | 12(16) | |
최대 출력 | kW(hp) | 17.3(23.2) | 16(21.5) | 18.5(24.8) | 22(30) | 24(32.2) | 24(32.2) | |
냉각 | 연결 | 인치 | ⅜" BSP 수 | |||||
냉각 흐름(항상 켜짐) | L/min (gal/min) |
10(2.6) | 12(3.2) | 12(3.2) | 12(3.2) | 15(4) | 15(4) | |
최소 차압 | bar | 1 | ||||||
최대 공급 압력 | barg(psig) | 6.9(100) | ||||||
온도 | °C(°F) | 5-40(41-104) | ||||||
퍼징 | 연결 | 인치 | ½" BSP 수 | |||||
압력 | barg(psig) | 2.5-6.9(36-100) | ||||||
샤프트 씰 흐름(항상 켜짐) | L/min (gal/min) |
12(3.17) | ||||||
가스 밸러스트 흐름(수동 조정) | L/min (gal/min) |
0-130(0-34.3) | ||||||
운전 | 주변 온도 범위 | °C(°F) | 5-40(41-104) | |||||
소음 레벨(소음기 포함) | dB(A) | <64 | <70 | |||||
최대 배출 배압 | bara(psig) | 1.2(17.4) | ||||||
윤활 | 오일 | PFPE Drynert 25/6 | ||||||
오일량 | L(gal) | 1.8(0.5) | 2.5(0.7) | 3.6(1.0) | 2.4(0.6) | 3.1(0.8) | 4.2(1.1) |