EXS 건식 스크류 진공 펌프

열악한 산업 작업에 대한 황삭 속도와 최저 성능 개선

EXS 건식 스크류 진공 펌프 및 조합

EXS는 GXS 펌프에 사용된 것과 동일한 기술을 바탕으로 단순성과 견고성에 중점을 둔 패키지로 시장을 선도하는 기술의 이점을 제공하도록 설계되었습니다. EXS는 성능 향상, 간단한 제어 철학 및 낮은 유지보수 비용으로 수년 동안 안정적인 성능을 제공할 것입니다. EXS 시리즈 건식 스크류 진공 펌프는 EXS450, EXS750 및 EXS750/4200 모델에서 사용할 수 있습니다.

EXS 건식 스크류 진공 펌프 조합 EXS 450, 750, 750/4200 이미지

견고한 설계 특징

세련된 판금 보호 케이스와 수동 가스 밸러스트 제어 기능이 있는 신뢰성 있는 새로운 가스 시스템.

간단한 전기 전략

내장형, 기성품 인버터로 연결 및 통신이 간편. 보호 센서가 장착되고, 안정성 및 안전을 위한 전기 설계.

낮은 전력 및 유틸리티 소비

EXS는 낮은 전력 및 유틸리티 사용으로 탄소 배출량이 적습니다. 오염되거나 더러워진 폐기 석유가 배출되지 않아 환경 친화적입니다.

황삭 속도와 최저 성능의 향상

보다 빠른 처리 및 펌프 다운 시간으로 생산성 향상. 건식 스크류 진공 펌프의 경우 최대 1 x 10^-2 미만 및 펌프와 부스터 조합의 경우 1 x 10^-3 미만의 낮은 최종 압력.

긴 수명의 비접촉식 씰

긴 수명의 비접촉식 씰과 일체형 오일 차단 래버린스 씰은 매우 효과적인 밀봉을 제공합니다.

고급 핵심 기술

작업의 호환성을 위해 증기압이 낮은 고급 베어링 및 특수 용도 오일을 사용합니다.

응용 분야
기술 사양
다운로드

EXS 펌프는 다음과 같은 다양한 산업의 응용 분야에 적합합니다.

금속공학

진공 경납땜
E-빔 용접
연질화
저압 질화
저압 탄소 처리
탄소 증기 주입
소결
금속 사출 성형
정밀 인베스트먼트 주조
진공 아크 정제
강철 탈기

플라즈마 처리

플라즈마 용접
플라즈마 질화

진공 챔버 배출

공간 시뮬레이션 챔버
가스 회수/순환
잠금 챔버 로딩

LED 제조

태양광

실리콘 크리스탈 풀링
PV 접합

코팅

롤 웹 코팅
하드 코팅(CVD/DLC)
표면 활성화
플라즈마 스프레이
유리 코팅

사양		단위	값
			EXS450	EXS750	EXS750/4200
일반	최종 진공	Mbar(Torr)	<1 x10^-2(<8x10^-3)		<1 x10^-3(<8x10^-4)
	Peak Pumping Speed	m³/hr(cfm)	450(265)	740(435)	3450(2032)
	기본 전력	Kw(hp)	6(8)	10.5(14)	12(16)
	최대 출력	Kw(hp)	11(15)	22(30)	24(32)
	최고 로터 속도	회전/분	6600		DP-6600 MB-6120
	흡입구/배출구 플랜지		ISO100/NW50		ISO160/NW50
	치수(mm)	L x W x Hmm(인치)	1265 x 567 x 642	1650 x 567 x 642	1650 x 567 x 996
	치수(mm)	L x W x Hmm(인치)	(49.8 x 22.3 x 25.3)	(65 x 22.3 x 25.3)	(65 x 22.3 x 39.2)
냉각	연결		G3/8'' 암 나사산
	냉각 흐름(항상 켜짐)	l/min(gal/min)	10(2.6)	12(3.2)	15(4)
	최대 공급 압력	barg(psig)	6.9(100)
	온도	°C(°F)	5~40(41~104)
퍼징	연결		G1/2" female threads
	Pressure	barg(psig)	2.5 - 6.9(36 - 100)
	샤프트 씰 흐름(항상 켜짐)	L/min	12(3.1)
	가스 밸러스트 흐름(수동 조정)	L/min	1 - 130(0.2 - 34.3)
운전	주변 온도 범위	°C(°F)	5~40(41~104)
	소음도(소음기 포함)	dB(A)	<64	<70
	최대 배출 배압	bar.a(psig)	1.2(2.9)