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EXS 건식 스크류 진공 펌프

열악한 산업 작업에 대한 황삭 속도와 최저 성능 개선

EXS 건식 스크류 펌프

EXS 건식 스크류 진공 펌프

EXS는 GXS 펌프에 사용된 것과 동일한 기술을 바탕으로 단순성과 견고성에 중점을 둔 패키지로 시장을 선도하는 기술의 이점을 제공하도록 설계되었습니다. EXS는 성능 향상, 간단한 제어 철학 및 낮은 유지보수 비용으로 수년 동안 안정적인 성능을 제공할 것입니다. EXS 시리즈 건식 스크류 진공 펌프는 EXS160~750과 부스터 조합에서 사용할 수 있습니다.

EXS 160, EXS 450/4200

견고한 설계 특징

세련된 판금 보호 케이스와 수동 가스 밸러스트 제어 기능이 있는 신뢰성 있는 새로운 가스 시스템.

간단한 전기 전략

내장형, 기성품 인버터로 연결 및 통신이 간편. 보호 센서가 장착되고, 안정성 및 안전을 위한 전기 설계.

낮은 전력 및 유틸리티 소비

EXS는 낮은 전력 및 유틸리티 사용으로 탄소 배출량이 적습니다. 오염되거나 더러워진 폐기 석유가 배출되지 않아 환경 친화적입니다.

황삭 속도와 최저 성능의 향상

보다 빠른 처리 및 펌프 다운 시간으로 생산성 향상. 건식 스크류 진공 펌프의 경우 최대 1 x 10-2 미만 및 펌프와 부스터 조합의 경우 1 x 10-3 미만의 낮은 최종 압력.

긴 수명의 비접촉식 씰

긴 수명의 비접촉식 씰과 일체형 오일 차단 래버린스 씰은 매우 효과적인 밀봉을 제공합니다.

고급 핵심 기술

작업의 호환성을 위해 증기압이 낮은 고급 베어링 및 특수 용도 오일을 사용합니다. 

상세한 데이터 인사이트 및 손쉬운 제어

I/O, 필드버스 통신, IoT를 포함한 다양한 연결 솔루션을 통해 펌프에 대한 실시간 상세 인사이트와 액세스를 얻을 수 있습니다.

EXS 펌프는 다음과 같은 다양한 산업의 응용 분야에 적합합니다.

리튬 이온 배터리 

  • 전해질 건조 
  • 전해질 충전 
  • 형성

금속공학

  • 진공 경납땜
  • E-빔 용접
  • 연질화
  • 저압 질화
  • 저압 탄소 처리
  • 탄소 증기 주입
  • 소결
  • 금속 사출 성형
  • 정밀 인베스트먼트 주조
  • 진공 아크 정제
  • 강철 탈기

플라즈마 처리

  • 플라즈마 용접
  • 플라즈마 질화

진공 챔버 배출

  • 공간 시뮬레이션 챔버
  • 가스 회수/순환
  • 잠금 챔버 로딩

태양광

  • 실리콘 크리스탈 풀링 
  • PV 접합

코팅

  • 롤 웹 코팅
  • 하드 코팅(CVD/DLC)
  •  표면 활성화
  • 플라즈마 스프레이
  • 유리 코팅
사양 단위 EXS160 EXS160/1750 EXS250 EXS250/2600
일반 최종 진공 mbar(Torr) 1x10-2(8x10-3) <1x10-3(<8x10-4) 1x10-2(8x10-3) <1x10-3(<8x10-4)
최고 펌핑 속도 m3/hr(cfm) 160(94) 1200(706) 250(147) 1900(1118)
최대 로터 속도 회전/분 6600 DP: 6600
MB: 6120
6600 DP: 6600
MB: 6120
흡입구/배출구   ISO63/NW40 ISO100/NW40 ISO63/NW40 ISO160/NW40
전기식 전기 공급 V 380-460V 3Ph
50/60Hz
200-230V 3Ph
50/60Hz
380-460V 3Ph
50/60Hz
200-230V 3Ph
50/60Hz
380-460V 3Ph
50/60Hz
200-230V 3Ph
50/60Hz
380-460V 3Ph
50/60Hz
200-230V 3Ph
50/60Hz
최대 전력 kW(hp) 3.8(5.1) 5.1(6.8) 4.0(5.4) 5.3(7.1)
최대 출력 kW(hp) 5.0(6.7) 7.4(9.9) 9.0(12.1) 9.7(13.0)
냉각 연결 인치 ⅜" BSP 수
냉각 흐름(항상 켜짐) L/min
(gal/min)
4.0(1.1) 7.0(1.9) 4.0(1.1) 7.0(1.9)
최소 차압 bar 1
최대 공급 압력 barg(psig) 6.9(100)
온도 °C(°F) 5-40(41-104)
퍼징 연결 인치 ½" BSP 수
압력 barg(psig) 2.5-6.9(36-100)
샤프트 씰 흐름(항상 켜짐) L/min
(gal/min)
12(3.17)
가스 밸러스트 흐름(수동 조정) L/min
(gal/min)
0-50(0-13.2)
운전 주변 온도 범위 °C(°F) 5-40(41-104)
소음 레벨(소음기 포함) dB(A) <64
최대 배출 배압 bara(psig) 1.2(17.4)
윤활 오일   PFPE Drynert 25/6
  오일량 L(gal) 0.7(0.2) 1.4(0.4) 0.7(0.2) 1.4(0.4)
사양 단위 EXS450 EXS450/2600 EXS450/4200 EXS750 EXS750/2600 EXS750/4200
일반 최종 진공 mbar(Torr) 1x10-2(8x10-3) <1x10-3(<8x10-4) <1x10-3(<8x10-4 1x10-2(8x10-3) <1x10-3(<8x10-4) <1x10-3(<8x10-4)
최고 펌핑 속도 m3/hr(cfm) 450(265) 2200(1295) 3026(1781) 740(435) 2300(1354) 3450(2032)
최대 로터 속도 회전/분 6600 DP: 6600
MB: 6120
DP: 6600
MB: 6120
6600 DP: 6600
MB: 6120
DP: 6600
MB: 6120
흡입구/배출구   ISO100/NW50 ISO160/ISO63 ISO160/ISO63 ISO100/NW50 ISO160/ISO63 ISO160/ISO63 
전기식 전기 공급 V 380-460V 3Ph
50/60Hz
200-230V 3Ph
50/60Hz
380-460V 3Ph
50/60Hz
200-230V 3Ph
50/60Hz
380-460V 3Ph
50/60Hz
200-230V 3Ph
50/60Hz
380-460 3Ph 50/60Hz 380-460 3Ph 50/60Hz 380-460 3Ph 50/60Hz 
최대 전력 kW(hp) 7.2(9.6) 8.8(11.8) 9.4(12.6) 10.5(14) 11.1(14.9)  12(16)
최대 출력 kW(hp) 17.3(23.2) 16(21.5)  18.5(24.8) 22(30) 24(32.2) 24(32.2)
냉각 연결 인치 ⅜" BSP 수
냉각 흐름(항상 켜짐) L/min
(gal/min)
10(2.6) 12(3.2) 12(3.2) 12(3.2) 15(4) 15(4)
최소 차압 bar 1
최대 공급 압력 barg(psig) 6.9(100)
온도 °C(°F) 5-40(41-104)
퍼징 연결 인치 ½" BSP 수
압력 barg(psig) 2.5-6.9(36-100)
샤프트 씰 흐름(항상 켜짐) L/min
(gal/min)
12(3.17)
가스 밸러스트 흐름(수동 조정) L/min
(gal/min)
0-130(0-34.3)
운전 주변 온도 범위 °C(°F) 5-40(41-104)
소음 레벨(소음기 포함) dB(A) <64 <70
최대 배출 배압 bara(psig) 1.2(17.4)
윤활 오일   PFPE Drynert 25/6
오일량 L(gal) 1.8(0.5) 2.5(0.7) 3.6(1.0) 2.4(0.6) 3.1(0.8)  4.2(1.1)
EXS Dry Screw Vacuum Pump - Brochure

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복도에서 웃으며 서 있는 Edwards 직원들
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