EXS 건식 스크류 진공 펌프

열악한 산업 작업에 대한 황삭 속도와 최저 성능 개선

EXS 건식 스크류 진공 펌프

EXS는 GXS 펌프에 사용된 것과 동일한 기술을 바탕으로 단순성과 견고성에 중점을 둔 패키지로 시장을 선도하는 기술의 이점을 제공하도록 설계되었습니다. EXS는 성능 향상, 간단한 제어 철학 및 낮은 유지보수 비용으로 수년 동안 안정적인 성능을 제공할 것입니다. EXS 시리즈 건식 스크류 진공 펌프는 EXS160~750과 부스터 조합에서 사용할 수 있습니다.

견고한 설계 특징

세련된 판금 보호 케이스와 수동 가스 밸러스트 제어 기능이 있는 신뢰성 있는 새로운 가스 시스템.

간단한 전기 전략

내장형, 기성품 인버터로 연결 및 통신이 간편. 보호 센서가 장착되고, 안정성 및 안전을 위한 전기 설계.

낮은 전력 및 유틸리티 소비

EXS는 낮은 전력 및 유틸리티 사용으로 탄소 배출량이 적습니다. 오염되거나 더러워진 폐기 석유가 배출되지 않아 환경 친화적입니다.

황삭 속도와 최저 성능의 향상

보다 빠른 처리 및 펌프 다운 시간으로 생산성 향상. 건식 스크류 진공 펌프의 경우 최대 1 x 10^-2 미만 및 펌프와 부스터 조합의 경우 1 x 10^-3 미만의 낮은 최종 압력.

긴 수명의 비접촉식 씰

긴 수명의 비접촉식 씰과 일체형 오일 차단 래버린스 씰은 매우 효과적인 밀봉을 제공합니다.

고급 핵심 기술

작업의 호환성을 위해 증기압이 낮은 고급 베어링 및 특수 용도 오일을 사용합니다.

상세한 데이터 인사이트 및 손쉬운 제어

I/O, 필드버스 통신, IoT를 포함한 다양한 연결 솔루션을 통해 펌프에 대한 실시간 상세 인사이트와 액세스를 얻을 수 있습니다.

응용 분야
기술 사양
다운로드

EXS 펌프는 다음과 같은 다양한 산업의 응용 분야에 적합합니다.

리튬 이온 배터리

전해질 건조
전해질 충전
형성

금속공학

진공 경납땜
E-빔 용접
연질화
저압 질화
저압 탄소 처리
탄소 증기 주입
소결
금속 사출 성형
정밀 인베스트먼트 주조
진공 아크 정제
강철 탈기

플라즈마 처리

플라즈마 용접
플라즈마 질화

진공 챔버 배출

공간 시뮬레이션 챔버
가스 회수/순환
잠금 챔버 로딩

태양광

실리콘 크리스탈 풀링
PV 접합

코팅

롤 웹 코팅
하드 코팅(CVD/DLC)
표면 활성화
플라즈마 스프레이
유리 코팅

사양		단위	EXS160	EXS160/1750	EXS250	EXS250/2600
일반	최종 진공	mbar(Torr)	1x10^-2(8x10^-3)	<1x10^-3(<8x10^-4)	1x10^-2(8x10^-3)	<1x10^-3(<8x10^-4)
	최고 펌핑 속도	m³/hr(cfm)	160(94)	1200(706)	250(147)	1900(1118)
	최대 로터 속도	회전/분	6600	DP: 6600 MB: 6120	6600	DP: 6600 MB: 6120
	흡입구/배출구		ISO63/NW40	ISO100/NW40	ISO63/NW40	ISO160/NW40
전기식	전기 공급	V	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz
	최대 전력	kW(hp)	3.8(5.1)	5.1(6.8)	4.0(5.4)	5.3(7.1)
	최대 출력	kW(hp)	5.0(6.7)	7.4(9.9)	9.0(12.1)	9.7(13.0)
냉각	연결	인치	⅜" BSP 수
	냉각 흐름(항상 켜짐)	L/min (gal/min)	4.0(1.1)	7.0(1.9)	4.0(1.1)	7.0(1.9)
	최소 차압	bar	1
	최대 공급 압력	barg(psig)	6.9(100)
	온도	°C(°F)	5-40(41-104)
퍼징	연결	인치	½" BSP 수
	압력	barg(psig)	2.5-6.9(36-100)
	샤프트 씰 흐름(항상 켜짐)	L/min (gal/min)	12(3.17)
	가스 밸러스트 흐름(수동 조정)	L/min (gal/min)	0-50(0-13.2)
운전	주변 온도 범위	°C(°F)	5-40(41-104)
	소음 레벨(소음기 포함)	dB(A)	<64
	최대 배출 배압	bara(psig)	1.2(17.4)
윤활	오일		PFPE Drynert 25/6
	오일량	L(gal)	0.7(0.2)	1.4(0.4)	0.7(0.2)	1.4(0.4)

사양		단위	EXS450	EXS450/2600	EXS450/4200	EXS750	EXS750/2600	EXS750/4200
일반	최종 진공	mbar(Torr)	1x10^-2(8x10^-3)	<1x10^-3(<8x10^-4)	<1x10^-3(<8x10^-4)	1x10^-2(8x10^-3)	<1x10^-3(<8x10^-4)	<1x10^-3(<8x10^-4)
	최고 펌핑 속도	m³/hr(cfm)	450(265)	2200(1295)	3026(1781)	740(435)	2300(1354)	3450(2032)
	최대 로터 속도	회전/분	6600	DP: 6600 MB: 6120	DP: 6600 MB: 6120	6600	DP: 6600 MB: 6120	DP: 6600 MB: 6120
	흡입구/배출구		ISO100/NW50	ISO160/ISO63	ISO160/ISO63	ISO100/NW50	ISO160/ISO63	ISO160/ISO63
전기식	전기 공급	V	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380-460V 3Ph 50/60Hz 200-230V 3Ph 50/60Hz	380-460 3Ph 50/60Hz	380-460 3Ph 50/60Hz	380-460 3Ph 50/60Hz
	최대 전력	kW(hp)	7.2(9.6)	8.8(11.8)	9.4(12.6)	10.5(14)	11.1(14.9)	12(16)
	최대 출력	kW(hp)	17.3(23.2)	16(21.5)	18.5(24.8)	22(30)	24(32.2)	24(32.2)
냉각	연결	인치	⅜" BSP 수
	냉각 흐름(항상 켜짐)	L/min (gal/min)	10(2.6)	12(3.2)	12(3.2)	12(3.2)	15(4)	15(4)
	최소 차압	bar	1
	최대 공급 압력	barg(psig)	6.9(100)
	온도	°C(°F)	5-40(41-104)
퍼징	연결	인치	½" BSP 수
	압력	barg(psig)	2.5-6.9(36-100)
	샤프트 씰 흐름(항상 켜짐)	L/min (gal/min)	12(3.17)
	가스 밸러스트 흐름(수동 조정)	L/min (gal/min)	0-130(0-34.3)
운전	주변 온도 범위	°C(°F)	5-40(41-104)
	소음 레벨(소음기 포함)	dB(A)	<64			<70
	최대 배출 배압	bara(psig)	1.2(17.4)
윤활	오일		PFPE Drynert 25/6
윤활	오일량	L(gal)	1.8(0.5)	2.5(0.7)	3.6(1.0)	2.4(0.6)	3.1(0.8)	4.2(1.1)