スペクトラ排ガス処理装置は、最新世代のフラットパネルディスプレイ (FPD) および太陽電池製造プロセス向けの、コスト効率に優れ、信頼性が高く、高性能な除害ソリューションである。
除害装置
• 固有な4段階燃焼技術
• 効率的なSiH4除害
• 高H2流量除害能力
• NF3 / F2の高流量の優れた管理
• 高NH3除害能力
• 除害および微粒子管理のモジュール設計
• 80%粉除去効率
酸性ガス除去
• 統合湿式スクラバ
• 水消費量を最適化するための水再循環ユニット
粉末捕捉
Spectra ZW2 – 微粒子除去機能付き水冷却除害
• モジュール湿式静電集塵機 (WESP)
• 99%の微粒子を除去
• 高い粉体負荷処理能力
• 代替ソリューションに比べて所有コストが低い ここで更新
