Spectra(スペクトラ)

スペクトラ - 環境に対する責任を満たすこと

除害装置

• 固有な4段階燃焼技術

• 効率的なSiH4除害

• 高H2流量除害能力

• NF3 / F2の高流量の優れた管理

• 高NH3除害能力

• 除害および微粒子管理のモジュール設計

• 80%粉除去効率

酸性ガス除去

• 統合湿式スクラバ

• 水消費量を最適化するための水再循環ユニット

粉末捕捉

Spectra ZW2 – 微粒子除去機能付き水冷却除害

• モジュール湿式静電集塵機 (WESP)

• 99%の微粒子を除去

• 高い粉体負荷処理能力

• 代替ソリューションに比べて所有コストが低い ここで更新