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UHV-system

Wir bieten diverse Ionenpumpen, NEG-Ionen-Kombinationspumpen, Titanium-Sublimationspumpen, NEG-Pumpen und Zubehör über Gamma Vacuum an.

Sorptionspumpen erzeugen Hoch- (HV) und Ultrahoch-Vakuumumgebungen (UHV) für diverse Anwendungen, von tragbaren Massenspektrometern bis zu großen Partikelbeschleunigungsanlagen. So lässt sich kostengünstig ein möglichst niedriges Vakuum erzielen.

NEG-Ionenpumpen HyTan

NEG-Pumpen bieten hohe Pumpgeschwindigkeiten für H2, aber auch für chemisch aktive Gase wie N2, O2 und CO, während Ionenpumpen effizient alle Gasarten einschließlich Edelgasen und Methan extrahieren. HyTan-NEG-Ionenpumpen kombinieren beide Technologien in einer kompakten UHV-Pumpe.

Durch austauschbare Module bieten die NEG-Pumpen Pumpgeschwindigkeiten für Wasserstoff von 100 bis 500 l/s. Mit Edelgas- und herkömmlichen Diodenelementen für das Ionenpumpenmodul ist diese innovative Technologie für eine Vielzahl von UHV-Anwendungen geeignet.

Aufgrund ihrer kompakten Größe und der Möglichkeit, die Pumpe in einer Kammer zusammenzusetzen, ist die HyTan-NEG-Ionenpumpe perfekt für UHV-Umgebungen geeignet, in denen der Platz begrenzt ist. 

Ionenpumpen

Gamma Vacuum Titanium-Sublimations-Pumpen

Titanium-Sublimationspumpen

Auch bekannt als Sputter-Ionen-Pumpen oder Ionen-Getter-Pumpen.

Dabei handelt es sich um Sorptionspumpen, die Gase mit einem Anoden/Kathoden-Array ionisieren.

Durch das Sputtern reaktiver Kathodenmaterialien wird eine chemische Reaktion ausgelöst, die ionisierte Gase in feste Verbindungen umwandelt. Diese Verbindungen tragen nicht mehr zum Druck des Vakuumsystems bei und werden dauerhaft in der Ionenpumpe gehalten.

Ionenpumpen können in einem Bereich zwischen 10-5 und 10-12 mbar betrieben werden und werden in Größen zwischen 0,2 und 1.200 l/s (Stickstoff) angeboten.

Titanium-Sublimations-Pumpen

Durch Erhitzen eines Titanium-Heizfadens sublimieren Titaniummoleküle an einer Fläche, d. h. sie werden vom festen in den gasförmigen Zustand überführt.

Die sublimierten Titaniummoleküle können dann mit Gasen wie Sauer- und Stickstoff chemisch reagieren und Wasserstoff abspalten und diffundieren.

Titanium-Sublimationspumpen können bei einem Druck zwischen 10-5 und 10-12 mbar betrieben werden und weisen Saugvermögen von mehr als 10.000 l/s (Wasserstoff) auf.

Gamma Vacuum-Titanium-Sublimationspumpe

Titanium-Sublimations-Pumpen

Non-Evaporable Getterpumpen (NEG)

Dies sind reaktive Metalle, die auf Festkörpersubstrate gepresst oder in Scheiben gesintert werden.

Eine spezifische Kombination aus Zirconium, Vanadium und Eisen funktioniert am besten für HV- und UHV-Umgebungen. Die Menge des verwendeten Materials bestimmt das Saugvermögen und die Kapazität der NEG-Pumpe, die normalerweise zwischen 55 und 412 l/s Saugvermögen und 630 bis 3.600 Torr l/s Kapazität liegen.

Mit Gas gesättigte NEGs können ohne Entlüftung in die Atmosphäre erneut aktiviert werden.

DIGITEL-Ionenpumpen-Steuerungen

Verschiedene Ionenpumpen, NEG-Pumpen, TSP und NEG-Steuerungen wurden entwickelt, um Ihre Vakuumanwendung zu regeln, zu betreiben und zu verwalten.

Egal, ob Sie eine einzelne oder mehrere Pumpen betreiben: Unsere Steuerungen wurden entwickelt, um eine konstante Spannung und eine konstante Stromstärke zu gewährleisten, und verfügen über einer Reihe von Integrationsprotokollen, Sicherheitsfunktionen und eine benutzerfreundliche Navigationsschnittstelle.

Die fortschrittlichen Steuerungen SPCe, QPC, MPCq und TSP unterstützen Sie dabei, die maximale Leistung Ihres Vakuumsystems zu nutzen.

  • Steuerung für kleine Pumpen DIGITEL SPCe für die Verwaltung von einzelnen Ionenpumpen mit bis zu 75 l/s
  • Quad Pumpen-Steuerung DIGITEL QPC für die Verwaltung von bis zu vier Ionenpumpen mit bis zu 100 l/s
  • Mehrpumpen-Steuerung DIGITEL MPCq – Hochstromsteuerung für bis zu vier große Ionenpumpen
  • Steuerung TSP für die Verwaltung von bis zu zwei Titanium-Sublimationspumpen (= sechs TSP-Filamente)

UHV-Zubehör (Ultrahochvakuum)

Ausgelegt für eine optimale Kompatibilität mit dem Gamma Vacuum-Produktportfolio.

Diese Zubehörserie verbessert die Leistung, Zuverlässigkeit und Effizienz Ihres Vakuumsystems noch weiter.

  • Hochspannungskabel: Unser Sortiment an Hochspannungskabeln wurde unternehmensintern entwickelt und ist speziell für eine Vielzahl von Anwendungen und Leistungsanforderungen ausgelegt.
  • TSP-Kabel: langlebiges, robustes und zuverlässiges Kabel für unsere Titanium-Sublimationspumpen.
  • Verteilerbox: Teilen Sie die Stromversorgung zu Ionen- oder NEG-Pumpen für den Parallelbetrieb auf.
  • TSP-Schutzhaube: Die Schutzhaube ist mit sublimiertem Titan beschichtet, wodurch eine große aktive Oberfläche entsteht, die für eine hervorragende Wasserstoffpumpgeschwindigkeit sorgt.

Ultrahoch-Vakuumpumpen – Hauptmerkmale

Keine mechanischen Schwingungen

Sorptionspumpen besitzen keine beweglichen Teile, daher treten keine Schwingungen und kein elektrisches Rauschen auf.

Hohe Strahlungsresistenz

Sorptionspumpen bestehen aus strahlungstoleranten Materialien über 108 Gray. Auch die Steckverbinder und Kabel sind durch strahlungstolerante Materialien auf einen jahrelangen Dauerbetrieb ausgelegt.

Hohe Temperaturresistenz

Die Sorptionspumpen können ohne Probleme bei Temperaturen bis 250 °C eingesetzt werden. Ohne die Magnete ist dies sogar bis 450 °C möglich. Lange Heißläufe sind für jedes UHV-System von entscheidender Bedeutung.

Keine regelmäßige Wartung

Sorptionspumpen erfordern praktisch keine Wartung und verursachen keine kostspieligen Vakuumverluste, da sie vom Atmosphärendruck isoliert sind. Das spart Zeit, Geld und Ressourcen.

Geringe Anschaffungskosten

Die Anschaffungskosten sind in der Regel geringer als bei vergleichbaren anderen Vakuumpumpentypen. Die Pumpen verbrauchen über Jahre hinweg nur wenig oder keine Energie und sind daher kostengünstig.

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