Ultramagas vákuumszivattyúk
Ionszivattyúk, NEG-Ion kombinált szivattyúk, titán szublimációs szivattyúk, nem párolgatható getter szivattyúk és tartozékok széles választékát kínáljuk a Gamma Vacuum-on keresztül.
A Capture szivattyúzási technológiák nagyvákuumú (HV) és ultramagas vákuumú (UHV) környezetet hoznak létre számos alkalmazáshoz, a hordozható tömegspektrométerektől a nagy méretű részecskegyorsítókig. Gazdaságos áron képesek a lehető legalacsonyabb vákuumot létrehozni.
HyTan NEG-Ion szivattyúk
A NEG szivattyúk nagy szivattyúzási sebességet biztosítanak H2 -hoz, de kémiailag aktív gázokhoz is, például N2, O2 és CO -hoz, míg az ionszivattyúk hatékonyan szállítanak minden gázfajtát, beleértve a nemesgázokat és a metánt is. A HyTan NEG-Ion szivattyúk mindkét technológiát egyetlen kompakt UHV szivattyúban egyesítik.
A cserélhető moduloknak köszönhetően a NEG szivattyúk 100-500 l/s közötti hidrogénszivattyúzási sebességet kínálnak, az ionszivattyú modul nemes és hagyományos diódaelemeivel pedig ez az innovatív technológia az UHV-alkalmazások széles köréhez alkalmas.
Kompakt méretének és a szivattyú kamrába történő összeszerelésének lehetőségének köszönhetően a HyTan NEG-Ion szivattyú tökéletesen illik az UHV-környezetekhez, ahol a hely korlátozott.
HyTan NEG-Ion szivattyúk
HyTan NEG-Ion szivattyú
HyTan NEG-Ion szivattyú
Ionszivattyúk
Titánion-szivattyú
Sputter-ionszivattyúknak vagy ion-getter-szivattyúknakis nevezik.
Ezek olyan felfogó szivattyúk, amelyek anód/katód tömb segítségével ionizálják a gázokat.
Az ionok reaktív katód anyagokat szórnak, ami olyan kémiai reakciót eredményez, amely az ionizált gázokat szilárd vegyületekké alakítja. Ezek a vegyületek már nem járulnak hozzá a vákuumrendszer nyomásához, és folyamatosan összegyűlnek az ionszivattyúban.
Az ionszivattyúk 10 -5 és 10 -12 mbar közötti nyomáson működnek, a nitrogén mennyisége pedig 0,2 és 1200 l/s között van.
Titán szublimációs szivattyúk
Működtetése titánszál melegítésével és a titánmolekulák felületre történő szublimálásával (szilárdról gázfázisra történő átalakításával).
Ezután szublimált titánmolekulák állnak rendelkezésre, amelyek kémiailag reagálnak a reaktív gázokkal, például az oxigénnel és a nitrogénnel, és szétválasztják és diffúzálják a hidrogént.
A TSP-k 10 -5 és 10 -12 mbar közötti nyomáson működnek, és 10 000 l/s feletti hidrogén-szivattyúzási sebességgel rendelkeznek.
Titán szublimációs ionszivattyú
Nem párolgatható getter (NEG) szivattyúk
NEG patron N200
NEG patron N200
NEG patron N200
Ezek olyan reaktív fémek, amelyeket szilárd hordozóanyagokra préseltek vagy tárcsákká szintereztek.
A cirkónium, vanádium és vas specifikus kombinációja a legjobban működik a nagyfeszültségű és ultranagyfeszültségű környezetekben. A felhasznált anyag mennyisége szabályozza a NEG szivattyú sebességét és kapacitását, de jellemzően 55 és 412 l/s között, a kapacitás pedig 630 és 3600 Torr l/s között van.
Mivel a NEG-k gázokkal telítődnek, újraaktiválhatók anélkül, hogy a légkörbe kellene engedni őket.
DIGITEL ionszivattyú-vezérlők
Ionszivattyúk, NEG szivattyúk, TSP és NEG vezérlők széles választékát fejlesztettük ki a vákuumos alkalmazás szabályozására, táplálására és kezelésére.
Akár egy, akár több szivattyút üzemeltet, vezérlőink választékát úgy terveztük meg, hogy biztosítsa az állandó feszültség- és áramszint fenntartását, számos integrációs protokollal, biztonsági funkcióval és egyszerűen használható navigációs felülettel.
A fejlett SPCe, QPC, MPCq és TSP vezérlők segítenek kiaknázni vákuumrendszere csúcsteljesítményét.
- DIGITEL SPCe kisméretű szivattyúvezérlő egy ionos szivattyúk kezeléséhez 75 l/s-ig
- DIGITEL QPC négy szivattyús vezérlő legfeljebb 4 ionszivattyú kezeléséhez, akár 100 I/s-ig
- DIGITEL MPCq többszivattyús vezérlő, nagy áramerősségű vezérlés akár 4 nagy ionszivattyúhoz
- A TSP vezérlő legfeljebb 2 TSP szivattyút kezel (= 6 TSP fűtőszál)
DIGITEL SPCe kis szivattyúvezérlő
DIGITEL QPC négy szivattyús vezérlő
DIGITEL MPCq többszivattyús vezérlő
UHV (ultramagas vákuum) tartozékok
TSP kábelek
Osztóművek
Nagyfeszültségű vezetékek
TPS burkolat
Tökéletesen illeszkedik a Gamma Vacuum termékportfóliójához.
A tartozékok széles választéka tovább támogatja a vákuumrendszer teljesítményét, megbízhatóságát és hatékonyságát.
- Nagyfeszültségű kábelek - házon belül gyártott nagyfeszültségű kábeleink választékát az alkalmazások és az energiaigények széles körének megfelelően alakítottuk ki.
- TSP kábelek - Hosszú élettartamú, robusztus és megbízható kábel titán szublimációs szivattyúinkhoz.
- Osztószekrény - Az ion- vagy NEG-szivattyúk tápellátásának felosztása párhuzamos működéshez.
- TSP burkolat -A burkolat szublimált titán bevonattal van ellátva, ami nagy aktív felületet eredményez, kiváló hidrogénszivattyúzási sebességet biztosítva.
Az ultramagas vákuumszivattyú legfontosabb jellemzői
A mechanikai rezgés kiküszöbölése
A gyűjtőszivattyúknak nincsenek mozgó alkatrészei. Kiküszöböli a mozgó alkatrészekből származó rezgéseket és az elektromos zajt
Magas sugártolerancia
A vízgyűjtő szivattyúk 108 szürke fok feletti sugárzásállóságú anyagokból készülnek. A csatlakozók és kábelek sugárzással szemben ellenálló anyagokból készülnek, így éveken át folyamatosan használhatók
Jól tűri a magas hőmérsékletet
Különleges megfontolások nélkül a felfogó szivattyúk 250 °C-ig süthetők. A mágnesek eltávolítása lehetővé teszi a melegebb sütést akár 450 °C-ig. A hosszú meleg sütés kritikus fontosságú minden UHV rendszer esetében
Nincs szükség rendszeres karbantartásra
A felfogó szivattyúk gyakorlatilag nem igényelnek karbantartást, és elkerülhetők a költséges vákuumesemények, mivel légmentesen zártak, így időt, pénzt és erőforrásokat takarítanak meg
Alacsony üzemeltetési költségek
A kezdeti költségek általában alacsonyabbak, mint más típusú vákuumszivattyúk hasonló specifikációi. Minimális vagy semmilyen energiát használnak az alacsony költségű üzemeltetés évei alatt
