Your browser is not supported

Már nem támogatjuk az Az Ön által használt böngészőt. Kérjük, használja az alábbi támogatott böngészők egyikét oldalunk meglátogatásához

Search Edwards Vacuum
Ez a weboldal mesterséges intelligenciával lett lefordítva.

Ionszivattyúk, NEG-Ion kombinált szivattyúk, titán szublimációs szivattyúk, nem párolgatható getter szivattyúk és tartozékok széles választékát kínáljuk a Gamma Vacuum-on keresztül.

A Capture szivattyúzási technológiák nagyvákuumú (HV) és ultramagas vákuumú (UHV) környezetet hoznak létre számos alkalmazáshoz, a hordozható tömegspektrométerektől a nagy méretű részecskegyorsítókig. Gazdaságos áron képesek a lehető legalacsonyabb vákuumot létrehozni.

HyTan NEG-Ion szivattyúk

A NEG szivattyúk nagy szivattyúzási sebességet biztosítanak H2 -hoz, de kémiailag aktív gázokhoz is, például N2, O2 és CO -hoz, míg az ionszivattyúk hatékonyan szállítanak minden gázfajtát, beleértve a nemesgázokat és a metánt is. A HyTan NEG-Ion szivattyúk mindkét technológiát egyetlen kompakt UHV szivattyúban egyesítik.

A cserélhető moduloknak köszönhetően a NEG szivattyúk 100-500 l/s közötti hidrogénszivattyúzási sebességet kínálnak, az ionszivattyú modul nemes és hagyományos diódaelemeivel pedig ez az innovatív technológia az UHV-alkalmazások széles köréhez alkalmas.

Kompakt méretének és a szivattyú kamrába történő összeszerelésének lehetőségének köszönhetően a HyTan NEG-Ion szivattyú tökéletesen illik az UHV-környezetekhez, ahol a hely korlátozott. 

Ionszivattyúk

Gamma vákuum titánion-szivattyú

Titánion-szivattyú

Sputter-ionszivattyúknak vagy ion-getter-szivattyúknakis nevezik.

Ezek olyan felfogó szivattyúk, amelyek anód/katód tömb segítségével ionizálják a gázokat.

Az ionok reaktív katód anyagokat szórnak, ami olyan kémiai reakciót eredményez, amely az ionizált gázokat szilárd vegyületekké alakítja. Ezek a vegyületek már nem járulnak hozzá a vákuumrendszer nyomásához, és folyamatosan összegyűlnek az ionszivattyúban.

Az ionszivattyúk 10 -5 és 10 -12 mbar közötti nyomáson működnek, a nitrogén mennyisége pedig 0,2 és 1200 l/s között van.

Titán szublimációs szivattyúk

Működtetése titánszál melegítésével és a titánmolekulák felületre történő szublimálásával (szilárdról gázfázisra történő átalakításával).

Ezután szublimált titánmolekulák állnak rendelkezésre, amelyek kémiailag reagálnak a reaktív gázokkal, például az oxigénnel és a nitrogénnel, és szétválasztják és diffúzálják a hidrogént.

A TSP-k 10 -5 és 10 -12 mbar közötti nyomáson működnek, és 10 000 l/s feletti hidrogén-szivattyúzási sebességgel rendelkeznek.

Gamma Vacuum titánium szublimációs ionszivattyú

Titán szublimációs ionszivattyú

Nem párolgatható getter (NEG) szivattyúk

Ezek olyan reaktív fémek, amelyeket szilárd hordozóanyagokra préseltek vagy tárcsákká szintereztek.

A cirkónium, vanádium és vas specifikus kombinációja a legjobban működik a nagyfeszültségű és ultranagyfeszültségű környezetekben. A felhasznált anyag mennyisége szabályozza a NEG szivattyú sebességét és kapacitását, de jellemzően 55 és 412 l/s között, a kapacitás pedig 630 és 3600 Torr l/s között van.

Mivel a NEG-k gázokkal telítődnek, újraaktiválhatók anélkül, hogy a légkörbe kellene engedni őket.

DIGITEL ionszivattyú-vezérlők

Ionszivattyúk, NEG szivattyúk, TSP és NEG vezérlők széles választékát fejlesztettük ki a vákuumos alkalmazás szabályozására, táplálására és kezelésére.

Akár egy, akár több szivattyút üzemeltet, vezérlőink választékát úgy terveztük meg, hogy biztosítsa az állandó feszültség- és áramszint fenntartását, számos integrációs protokollal, biztonsági funkcióval és egyszerűen használható navigációs felülettel.

A fejlett SPCe, QPC, MPCq és TSP vezérlők segítenek kiaknázni vákuumrendszere csúcsteljesítményét.

  • DIGITEL SPCe kisméretű szivattyúvezérlő egy ionos szivattyúk kezeléséhez 75 l/s-ig
  • DIGITEL QPC négy szivattyús vezérlő legfeljebb 4 ionszivattyú kezeléséhez, akár 100 I/s-ig
  • DIGITEL MPCq többszivattyús vezérlő, nagy áramerősségű vezérlés akár 4 nagy ionszivattyúhoz
  • A TSP vezérlő legfeljebb 2 TSP szivattyút kezel (= 6 TSP fűtőszál)

UHV (ultramagas vákuum) tartozékok

Tökéletesen illeszkedik a Gamma Vacuum termékportfóliójához.

A tartozékok széles választéka tovább támogatja a vákuumrendszer teljesítményét, megbízhatóságát és hatékonyságát.

  • Nagyfeszültségű kábelek - házon belül gyártott nagyfeszültségű kábeleink választékát az alkalmazások és az energiaigények széles körének megfelelően alakítottuk ki.
  • TSP kábelek - Hosszú élettartamú, robusztus és megbízható kábel titán szublimációs szivattyúinkhoz.
  • Osztószekrény - Az ion- vagy NEG-szivattyúk tápellátásának felosztása párhuzamos működéshez.
  • TSP burkolat -A burkolat szublimált titán bevonattal van ellátva, ami nagy aktív felületet eredményez, kiváló hidrogénszivattyúzási sebességet biztosítva.

Az ultramagas vákuumszivattyú legfontosabb jellemzői

A mechanikai rezgés kiküszöbölése

A gyűjtőszivattyúknak nincsenek mozgó alkatrészei. Kiküszöböli a mozgó alkatrészekből származó rezgéseket és az elektromos zajt

Magas sugártolerancia

A vízgyűjtő szivattyúk 108 szürke fok feletti sugárzásállóságú anyagokból készülnek. A csatlakozók és kábelek sugárzással szemben ellenálló anyagokból készülnek, így éveken át folyamatosan használhatók

Jól tűri a magas hőmérsékletet

Különleges megfontolások nélkül a felfogó szivattyúk 250 °C-ig süthetők. A mágnesek eltávolítása lehetővé teszi a melegebb sütést akár 450 °C-ig. A hosszú meleg sütés kritikus fontosságú minden UHV rendszer esetében

Nincs szükség rendszeres karbantartásra

A felfogó szivattyúk gyakorlatilag nem igényelnek karbantartást, és elkerülhetők a költséges vákuumesemények, mivel légmentesen zártak, így időt, pénzt és erőforrásokat takarítanak meg

Alacsony üzemeltetési költségek

A kezdeti költségek általában alacsonyabbak, mint más típusú vákuumszivattyúk hasonló specifikációi. Minimális vagy semmilyen energiát használnak az alacsony költségű üzemeltetés évei alatt

Az Edwards alkalmazottai mosolyogva állnak a folyosón
SZERVIZSZOLGÁLTATÁSOK

Tudjon meg többet szervizmegoldásainkról