Your browser is not supported

Používáte prohlížeč, který již není podporován. Chcete-li nadále navštěvovat naše webové stránky, vyberte si jeden z následujících podporovaných prohlížečů.

Systém UHV

Nabízíme řadu iontových vývěv, kombinovaných NEG-iontových vývěv, titanových sublimačních vývěv, neodpařovaných getrových vývěv a příslušenství prostřednictvím společnosti Gamma Vacuum.

Technologie zachycování vytvářejí prostředí s vysokým vakuem (HV) a velmi vysokým vakuem (UHV) pro různé aplikace, od přenosných hmotnostních spektrometrů až po urychlovače částic velkého rozsahu. Mohou vytvořit nejnižší možný podtlak při ekonomických nákladech.

NEG-iontové vývěvy HyTan

Vývěvy NEG poskytují vysoké rychlosti čerpání pro H2, ale také chemicky aktivní plyny, jako je N2, O2 a CO, zatímco iontové vývěvy účinně zachytávají všechny druhy plynů včetně vzácných plynů a metanu. NEG-iontové vývěvy HyTan kombinují obě technologie v jedné kompaktní UHV vývěvě.

Vývěvy NEG s výměnnými moduly nabízejí rychlost čerpání vodíku v rozsahu 100–500 l /s a s diodovými prvky pro čerpání vzácných plynů nebo konvenčními v případě modulu iontové vývěvy je tato inovativní technologie vhodná pro širokou škálu UHV aplikací.

Díky své kompaktní velikosti a možnosti sestavení vývěvy uvnitř komory jsou NEG-iontové vývěvy HyTan ideální pro prostředí UHV, kde je omezený prostor. 

Iontové vývěvy

Titanová iontová vývěva Gamma Vacuum

Titanová iontová vývěva

Jsou známé také jako rozprašovací iontové vývěvy nebo iontové getrové vývěvy.

Jsou to zachytávací vývěvy, které ionizují plyny pomocí anodového/katodového pole.

Ionty rozprašují reaktivní katodové materiály a vytvářejí chemickou reakci, která mění ionizované plyny na pevné sloučeniny. Tyto sloučeniny již nepřispívají k tlaku ve vakuovém systému a jsou trvale zachyceny v iontové vývěvě.

Iontové vývěvy fungují při tlaku 10-5 až 10-12 mbar a v rozsahu objemu od 0,2 do 1 200 l/s dusíku.

Titanové sublimační vývěvy

Funguje na principu zahřátí titanového žhavicího vlákna a sublimace (přechodu z pevné fáze do plynné) molekul titanu na povrch.

Sublimované molekuly titanu potom mohou chemicky reagovat s reaktivními plyny, jako je kyslík nebo dusík, a odloučit a rozptýlit vodík.

Vývěvy TSP fungují při tlaku 10-5 až 10-12 mbar a rychlost čerpání přesahuje 10000 l/s vodíku.

Titanová sublimační vývěva Gamma Vacuum

Titanová sublimační iontová vývěva

Neodpařitelné getrové vývěvy (NEG)

NEG jsou reaktivní kovy, které byly stlačeny do pevných substrátů nebo spečeny do disků.

Bylo zjištěno, že specifická kombinace zirkonu, vanadu a železa funguje nejlépe pro prostředí s vysokým vakuem a velmi vysokým vakuem. Množství použitého materiálu řídí rychlost a kapacitu vývěvy NEG, obvykle se však tato hodnota pohybuje v rozsahu od 55 do 412 l/s a objem od 630 do 3600 torr l/s.

Když jsou NEG nasyceny plyny, lze je znovu aktivovat bez nutnosti zavzdušnění komory.

Řídicí jednotky DIGITEL pro iontové vývěvy

Řada iontových vývěv, vývěvy NEG, řídicí jednotky TSP a NEG byly vyvinuty pro regulaci, napájení a ovládání vaší vakuové aplikace.

Ať už provozujete jednu nebo více vývěv, naše řada řídicích jednotek je navržena tak, aby zajišťovala stabilní úrovně napětí a proudu, s řadou integračních protokolů, bezpečnostních funkcí a intuitivním uživatelským rozhraním.

Pokročilé řídicí jednotky SPCe, QPC, MPCq a TSP vám pomohou dosáhnout špičkového výkonu vakuového systému.

  • Řídicí jednotka pro malé vývěvy DIGITEL SPCe pro řízení jednotlivých iontových vývěv do 75 l /s.
  • Řídicí jednotka vývěv DIGITEL QPC Quad pro řízení až 4 iontových vývěv až do 100 l/s.
  • Řídicí jednotka pro více vývěv DIGITEL MPCq řízení vysokého proudu až pro 4 velké iontové vývěvy
  • Řídicí jednotka TSP řídí až 2 vývěvy TSP (= 6 vláken TSP)

Příslušenství pro UHV (ultravysoké vakuum)

Navrženo pro dokonalou souhru s portfoliem produktů Gamma Vacuum.

Tato řada příslušenství bude dále podporovat výkon, spolehlivost a účinnost vašeho vakuového systému.

  • Vysokonapěťové kabely – interně vyvinutý sortiment vysokonapěťových kabelů je přizpůsoben různým aplikacím a požadavkům na napájení
  • Kabely TSP – odolný, robustní a spolehlivý kabel pro naše titanové sublimační vývěvy
  • Dělič – pro rozdělení napájení do iontových vývěv a vývěv NEG pro paralelní provoz
  • Stínění TSP – stínění je potaženo sublimovaným titanem, což vytváří velký aktivní povrch poskytující vynikající rychlost čerpání vodíku.

Hlavní vlastnosti vývěvy pro ultravysoké vakuum

Eliminování mechanických vibrací

Zachytávací vývěvy nemají žádné pohyblivé části. Vibrace pohybujících se částí a elektrický hluk jsou tedy eliminovány.

Vysoká tolerance vůči radiaci

Zachytávací vývěvy jsou vyrobeny z materiálů odolných vůči záření přesahujících 108 Gy. Konektory a kabely jsou také vyrobeny z materiálů odolných vůči záření pro dlouhá léta nepřetržitého provozu.

Vysoká teplotní tolerance

Bez dodatečných úprav lze zachytávací vývěvy vystavit teplotě do 250 °C. Vyjmutí magnetů pak umožňuje vypékání až do teploty 450 °C. Dlouhé vypékání je důležité pro každý systém s ultra vysokým vakuem.

Eliminování pravidelné údržby

Zachytávací vývěvy prakticky nevyžadují údržbu a náročné vakuové akce, jsou utěsněné od okolního prostředí, čímž se šetří čas, peníze i prostředky.

Nízké počáteční provozní náklady

Počáteční náklady jsou obvykle nižší než u jiných typů vývěv se srovnatelnou specifikací. Minimální nebo žádná spotřeba energie zaručuje dlouhodobý provoz s nízkými náklady na energii.

Zaměstnanec společnosti Edwards stojí na chodbě a usmívá se
SERVISNÍ ŘEŠENÍ

Přečtěte si více o našich nabídkách v části Servisní řešení