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UHVシステム

エドワーズでは、Gamma Vacuum製のUHVイオンポンプ、チタンサブリメーションポンプ、非蒸発性ゲッターポンプの各種製品、およびアクセサリも販売しています。

気体溜め込み式真空ポンプの技術で、高真空(HV)および超高真空(UHV)環境を作り出し、携帯用質量分析装置から大型の粒子加速器にいたるまで、幅広い用途に用いられます。低いコストで可能な限り高い真空を作り出すことができます。

HyTan NEG-イオンポンプ

NEGポンプは、H2の高い排気速度を実現し、N2、O2、COなどの化学活性ガスも供給します。また、イオンポンプは希ガスやメタンなどのすべてのガス種を効率的に抽出します。HyTan NEG-イオンポンプは、両方の技術を1つのコンパクトUHVポンプに統合しています。

NEGポンプは、交換可能なモジュールを備えており、100~500 l/sの水素排気速度範囲に加え、イオンポンプモジュール用のノーブルダイオードおよび従来型ダイオードエレメントを備えています。この革新的な技術は、幅広いUHV用途に適しています。

チャンバー内にポンプを組み立てるオプションを備えたHyTan NEG-イオンポンプは、コンパクトなサイズで、スペースが制限されているUHV環境に最適です。 

イオンポンプ

Gamma Vacuumチタンイオンポンプ

チタンイオンポンプ

スパッタイオンポンプイオンゲッターポンプとも呼ばれるポンプです。

陽極/陰極アレイを使用して気体をイオン化して捕捉します。

イオンは反応性陰極をスパッタし、イオン化ガスを固体化合物に変える化学反応を生成します。これらの化合物は、真空システムの圧力に影響を与えなくなり、イオンポンプ内で永続的に回収されます。

イオンポンプは、10-5~10-12 mbarで動作でき、窒素の排気速度は0.2~1,200 l/sです。

チタンサブリメーションポンプ

チタンフィラメントを加熱し、チタン分子を昇華(固体から気体状態への変換)させることで動作します。

昇華したチタン分子は、酸素および窒素のような反応性ガスと化学的に反応し、水素を解離して拡散するために利用されます。

チタンサブリメーションイオンポンプは、10-5~10-12 mbarで動作でき、水素で10,000 l/sを超える排気速度を有しています。

Gamma Vacuumチタンサブリメーションイオンポンプ

チタンサブリメーションイオンポンプ

非蒸発性ゲッター(NEG)ポンプ

プレスされた固体基板または焼結ディスクの反応性金属です。

ジルコニウム、バナジウム、鉄の特定の組み合わせは、高真空および超高真空環境で最適に機能することが確認されています。使用する材料の量でNEGポンプの速度と容量を制御しますが、通常、速度は55~412 l/s、容量は630~3600 Torr l/sです。

NEGが気体で飽和すると、大気にベントさせずに再活性化されます。

DIGITELイオンポンプコントローラ

さまざまなイオンポンプ、NEGポンプ、TSP、およびNEGコントローラが開発されており、真空アプリケーションの制御、電力供給、管理が可能です。

1台のポンプでも、複数のポンプでも、当社のコントローラは、安定した電圧と電流レベルを維持し、さまざまな統合プロトコル、安全機能、使いやすいナビゲーション・インターフェースを備えています。

先進のSPCe、QPC、MPCq、およびTSPコントローラにより、真空システムの最高性能を引き出すことができます。

  • DIGITEL SPCe小型ポンプコントローラで、最大75 l/sのシングルイオンポンプを管理できます
  • DIGITEL QPCクアッドポンプコントローラで、最大100 I/sのイオンポンプを4台まで管理できます
  • DIGITEL MPCqマルチポンプコントローラで、高電流制御により、最大4台の大型イオンポンプを使用できます
  • TSPコントローラで、最大2台のTSPポンプ(= 6つのTSPフィラメント)を管理します

UHV(超高真空)アクセサリ

Gamma Vacuum製品ポートフォリオと完璧に統合できるように設計されています。

これらのアクセサリシリーズが、真空システムの性能、信頼性、効率をさらにサポートします。

  • 高電圧ケーブル – 自社製造の幅広い高電圧ケーブルであるため、さまざまな用途や電力要件に合わせてカスタマイズ可能です
  • TSPケーブル – 当社のチタンサブリメーションポンプ用の耐久性、堅牢性、信頼性に優れたケーブルです
  • スプリッタボックス – 並列稼働のためにイオンポンプまたはNEGポンプへの電力を分割します
  • TSPシュラウド – このシュラウドは、昇華チタンでコーティングされており、大きな活性表面を形成し、優れた水素排気速度を実現します

超高真空ポンプの主な特長

機械的振動なし

気体溜め込み式ポンプには可動部品がありません。可動部品による振動や電気的ノイズがありません

高い放射線耐性

気体溜め込み式ポンプは、108グレイを超える耐放射線材料で作られています。コネクタとケーブルも耐放射線材料で製造されているため、長期間の連続作動に耐えることができます

高い温度耐性

気体溜め込み式ポンプは、特別に配慮することなく、250℃まで加熱できます。さらに、磁石を取り外すことで最大450℃まで加熱できます。長時間の高温加熱は、どの超高真空システムにおいても不可欠です

定期メンテナンスが不要

気体溜め込み式ポンプは、実質的に保守が不要です。また、大気から密閉されているため、費用のかかる真空維持をすることなく、時間、コスト、資源を節約できます

低い初期運用コスト

仕様が類似した他のタイプの真空ポンプより初期費用が低く抑えられます。電力消費量が最小限に抑えられ、低コストの長期運用が可能です

笑顔で廊下に立つEdwardsの従業員
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