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UHV-system

エドワーズでは、Gamma Vacuumのさまざまなイオン ポンプ、NEG-イオン コンビネーション ポンプ、チタン昇華ポンプ、非蒸発性ゲッター ポンプおよびアクセサリを提供しています。

捕捉排気技術は、ポータブル質量分析計から大規模粒子加速器に至るまで、さまざまな用途向けに高真空 (HV) および超高真空 (UHV) 環境を作り出します。経済的なコストで可能な限り最も低い真空を作り出すことができます。

HyTan NEG-イオンポンプ

NEG ポンプは、H2 だけでなく、N2、O2、CO などの化学的に活性なガスに対しても高い排気速度を実現します。一方、イオン ポンプは、希ガスやメタンを含むすべてのガス種を効率的に抽出します。 HyTan NEG-イオン ポンプは、両方のテクノロジーを 1 つのコンパクトな UHV ポンプに組み合わせています。

交換可能なモジュールを使用することで、NEG ポンプは 100 ~ 500 l/s の水素ポンピング速度範囲を提供し、イオン ポンプ モジュール用の高貴な従来のダイオード素子を使用するこの革新的な技術は、幅広い UHV アプリケーションに適しています

HyTan NEG-イオン ポンプは、コンパクトなサイズとチャンバー内にポンプを組み立てるオプションがあるため、スペースが限られている UHV 環境に最適です。

イオンポンプ

Gamma Vacuum Titan Ion Pump

チタンイオンポンプ

スパッタ イオン ポンプまたはイオン ゲッター ポンプとも呼ばれます。

これらは、アノード/カソード アレイを使用してガスをイオン化する捕捉ポンプです。

イオンは反応性カソード材料をスパッタリングし、イオン化したガスを固体化合物に変える化学反応を引き起こします。これらの化合物は真空システムの圧力に寄与しなくなり、イオン ポンプ内に永久に捕捉されます。

イオン ポンプは 10-5 ~ 10-12 mbar で動作でき、窒素量の範囲は 0.2 ~ 1,200 l/s です。

チタンサブリメーションポンプ

チタンフィラメントを加熱し、チタン分子を表面上で昇華(固体から気相に変換)することによって動作します。

昇華したチタン分子は、酸素や窒素などの反応性ガスと化学反応し、水素を解離して拡散させることができます。

TSP は 10-5 ~ 10-12 mbar で動作でき、水素の排気速度は 10,000 l/s を超えます。

Gamma Vacuum Titanium sublimation ion pump

チタン昇華型イオンポンプ

非蒸発型ゲッター (NEG) ポンプ

反応性金属を固体基板に押し付けたり、焼結してディスクにしたものです。

ジルコニウム、バナジウム、鉄の特定の組み合わせが、HV および UHV 環境に最適であることがわかっています。使用される材料の量によって NEG ポンプの速度と容量が制御されますが、通常は 55 ~ 412 l/s、容量は 630 ~ 3600 Torr l/s の範囲になります。

NEG はガスで飽和すると、大気中に排出することなく再活性化できます。

DIGITEL イオンポンプコントローラー

真空アプリケーションを調整、電力供給、管理するために、さまざまなイオン ポンプ、NEG ポンプ、TSP、および NEG コントローラが開発されています。

単一のポンプを実行している場合でも、複数のポンプを実行している場合でも、当社の一連のコントローラは、さまざまな統合プロトコル、安全機能、使いやすいナビゲーション インターフェイスを備え、安定した電圧と電流レベルを確実に維持できるように設計されています。

高度な SPCe、QPC、MPCq、および TSP コントローラーは、真空システムの最高のパフォーマンスを解放するのに役立ちます。

  • DIGITEL SPCe 小型ポンプコントローラ  最大 75 l/s のシングル イオン ポンプの管理用
  • DIGITEL QPC クアッドポンプ コントローラー 最大 4 台のイオンポンプ (最大 100 I/s) を管理
  • DIGITEL MPCq マルチポンプ コントローラ 最大 4 つの大型イオンポンプの大電流制御
  • TSPコントローラー最大 2 つの TSP ポンプ (= 6 TSP フィラメント) を管理

UHV(超高真空)アクセサリ

Gamma Vacuum 製品ポートフォリオと完全に連携して動作するように設計されています。

この一連のアクセサリは、真空システムの性能、信頼性、効率をさらにサポートします。

  • 高電圧ケーブル – 当社の高電圧ケーブルは社内で製造されており、さまざまな用途や電力要件に合わせてカスタマイズされています。 TSP ケーブル – 当社のチタンサブリミネーションポンプ用の耐久性があり、堅牢で信頼性の高いケーブルです。
  • スプリッターボックス - 並列運転のためにイオンまたは NEG ポンプに送られる電力を分割します。
  • TSPシュラウド – シュラウドは昇華したチタンでコーティングされており、大きな活性表面を形成し、優れた水素ポンピング速度を提供します

超高真空ポンプの主な特長

機械振動の除去

捕捉ポンプには可動部品がありません。可動部からの振動や電気ノイズを除去します。

高い放射線耐性

捕捉ポンプは、108 グレイを超える放射線耐性のある材料で作られています。コネクタとケーブルも耐放射線性素材で作られており、長年の連続使用に耐えます。

高温耐性

特別な考慮をしなくても、捕捉ポンプは 250 °C までベーキングできます。磁石を取り外すと、最大 450 °C までの高温ベークが可能になります。長時間のホット ベイクはすべての UHV システムにとって重要です

定期メンテナンスが不要

捕捉ポンプは実質的にメンテナンスを必要とせず、大気から密閉されているため、コストのかかる真空イベントを回避し、時間、お金、リソースを節約します。

初期運用コストが低い

初期コストは通常​​、他のタイプの真空ポンプの同等の仕様よりも低くなります。最小限の電力を使用するか、電力をまったく使用せず、長年にわたって低コストで運用できます

笑顔で廊下に立つEdwardsの従業員
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