-
...
- Polovodiče
- Produkty pro polovodičový průmysl
Produkty pro polovodičový průmysl
Co je nového
Suchý vakuový čerpadlo Ganymede pro náročné použití v polovodičových aplikacích
Suché vakuové čerpadla Nextgen pro náročné polovodičové procesy, snižující celkové náklady na vlastnictví, zlepšující provozuschopnost a podporující cíle udržitelnosti výrobních závodů.
EUV Vizeon
Integrovaný systém EUV litografie pro sub-fab kombinující vakuum, manipulaci s vodíkem a jeho zpětné získávání za účelem zlepšení efektivity, provozuschopnosti a nákladů.