On-board 低溫泵浦

可靠性和效能達到世界標準

加速整合並改善系統操作

透過完全整合的控制項和支援週邊設備,提供了卓越的正常運行時間、On-Board 低溫泵浦和一致的效能,從而提高了整體的工具生產力和正常運行時間。

主要特點

 
  • Fast Regen™ 功能,可在再生間隔期間延長低溫泵浦效能
  • 透過將您的低溫泵浦連接網路實現多台泵浦的同時再生,從而加速整套系統的再生
  • 嵌入式微處理器控制可提高效能、執行診斷常式並提供通訊功能
  • 完善的軟體和易於使用的圖形化使用者介面可顯著改善效能和操作

On-Board cryopumps chart