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愛德華 On-board 低溫泵浦

On-board 低溫泵浦

可靠度與性能的世界級規格標準

加速整合並改善系統運作

On-Board 低溫泵浦的完全控制整合和支援周邊裝置,提供出色的運作時間和穩定效能,增加整體工具的生產力及運轉時間。

 

關鍵特性

  • Fast Regen™ 功能提升了低溫泵浦兩次再生間表現 。
  • 經由網路連線方式實現了低溫泵浦同時再生能力,並且加速整體系統再生。
  • 嵌入式微製程控制器有助於增強性能、執行診斷例行工作,並提供相關訊號能力。
  • 精密軟體和易於使用的圖形化介面可大幅提升操作效能愛德華 CTI-Cryogenics 系列的其他低溫泵浦

On-Board 低溫泵浦機型 4F 8. 8F 10. 10F 250F 400 500
抽氣速度 - 升/秒
水氣 1,100 4,000 4,000 9,000 9,500 6,500 17,500 30,000
空氣 370 1,500 1,500 3,000 3,600 2,200 6,000 10,000
氫氣 370 2,500 2,200 5,000 6,000 3,200 12,000 12,000
310 1,200 1,200 2,500 3,000 1,800 5,000 8,400
容量 - 標準公升
210 1,000 1,000 2,000 2,000 1,000 2,500 6,000
氫 (5x10-6 Torr) 3 17 12 24 24 16 42 45
標稱再生時間 (冷對冷)
第一與第二段 75 分鐘 2.5 小時 2.5 小時 2.5 小時 2.5 小時 <3.3 小時 3 小時 <3.8 小時
第二段 <1 小時 <1 小時 <1 小時 <1 小時 <1 小時 <1.5 小時 <1.5 小時 -

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