ฮาร์ดแวร์และอุปกรณ์ติดตั้งสําหรับระบบสุญญากาศ
สําคัญต่อประสิทธิภาพการทํางาน
คุณภาพที่คุณคาดหวังจาก Edwards
เมื่อคุณซื้อส่วนประกอบปั๊มสุญญากาศจาก Edwards คุณสามารถคาดหวังคุณภาพและการบริการที่เฉพาะซัพพลายเออร์ระดับนานาชาติชั้นนําเท่านั้นที่สามารถให้ได้
เราเข้าใจว่าหน้าแปลนและข้อต่อมีความสําคัญต่อประสิทธิภาพของระบบสุญญากาศของคุณ และจัดหาเฉพาะผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงที่ตรงตามข้อกําหนดเฉพาะสูงสุดเท่านั้น
เหตุใดจึงควรเลือกส่วนประกอบสุญญากาศและข้อต่อหน้าแปลนจาก Edwards
- ความสะดวกในการจัดหา: ซัพพลายเออร์รายเดียวที่สามารถจัดหาโซลูชันระบบครบวงจรได้ทั้งทางออนไลน์หรือผ่านศูนย์จัดหาในท้องถิ่น
- คุณภาพและความน่าเชื่อถือสูง: การควบคุมวัสดุที่แม่นยําช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพสุญญากาศที่เชื่อถือได้ในการใช้งานที่ละเอียดอ่อนหรือมีความต้องการสูง
- ตัวเลือกที่ครอบคลุม: กลุ่มผลิตภัณฑ์ที่ครบถ้วนสําหรับขนาดหน้าแปลนทั่วไปทั้งหมดในอะลูมิเนียมและสเตนเลสสตีล
สรุปข้อมูลส่วนประกอบและอุปกรณ์สุญญากาศ
ชุดหน้าแปลน NW (ISO-KF)
ข้อต่อ NW หรือที่เรียกว่า ISO-KF เป็นมาตรฐานอุตสาหกรรมสําหรับการใช้งานมากมายในช่วงสุญญากาศต่ําถึงสูง เหมาะอย่างยิ่งสําหรับการบรรลุประสิทธิภาพที่คุ้มค่าและเชื่อถือได้ที่ระดับต่ําถึง 10 -7 mbar ในการใช้งานที่หลากหลายตั้งแต่การใช้งานเบาไปจนถึงการใช้งานหนัก วิธีการยึดที่เรียบง่ายหมายความว่าสามารถประกอบระบบได้อย่างง่ายดาย และสามารถปิดผนึกสุญญากาศได้อย่างรวดเร็ว
- ผลิตตามมาตรฐาน ISO 2861 และ DIN 28403
- เส้นผ่านศูนย์กลางปกติ 10 ถึง 50 มม.
- ใช้กับซีลอะลูมิเนียมขึ้นรูปหรือซีลอีลาสโตเมอร์
- การเลือกประเภทแคลมป์ขึ้นอยู่กับการใช้งาน การเข้าถึง ความสะดวกสบาย และต้นทุน
- สําหรับการใช้งานในสุญญากาศสูง: แรงดัน >10 -8 mbar
ชุดหน้าแปลน ISO
ข้อต่อ ISO ให้ความต้านทานการกัดกร่อนสูงในการแปรรูปเซมิคอนดักเตอร์และความสามารถในการทําซ้ําที่ยอดเยี่ยมในช่วงการใช้งานสุญญากาศระดับต่ําถึงสูง หน้าแปลนเชื่อมต่อกันโดยใช้แคลมป์กรงเล็บหรือสลักที่มีฟลูออโรอีลาสโตเมอร์หรือไนไตรล์แหวนกึ่งกลางและโอริง
- ผลิตตามมาตรฐาน ISO 1609 และ DIN 28404
- เส้นผ่านศูนย์กลางปกติ 40-630 มม.
- หน้าแปลน ISO-F มีรูปแบบรูคงที่
- หน้าแปลน ISO-K มักจะเชื่อมต่อด้วยกรงเล็บ และสามารถแปลง/เชื่อมต่อกับ ISO-F ได้โดยใช้ปลอกหมุนได้หรือกรงเล็บครึ่งตัว
- สําหรับการใช้งานในสุญญากาศสูง: แรงดัน >10 -8 mbar
แคลมป์กรงเล็บคู่จะสลักเข้าไปในร่องวงกลมรอบหน้าแปลนและยึดให้แน่นเพื่อการเชื่อมต่อหน้าแปลนที่เรียบง่ายแต่ปลอดภัย วิธีการทั่วไปมากกว่าคือการใช้หลุมสลักเกลียวและน็อต/สลักเกลียวที่มีหน้าแปลนแบบหมุนได้หรือแบบคงที่
ชุดหน้าแปลน UHV ConFlat®
ข้อต่อ CF มีระบบปิดผนึกที่เป็นเอกลักษณ์เพื่อให้ได้ข้อต่อที่แน่นหนา ซีลทองแดงถูกบีบตามแนวแกนและตามแนวรัศมีระหว่างหน้าแปลน CF สองตัว ซึ่งขอบมีดจะบังคับให้ทองแดงไหลเย็น การไหลนี้ถูกจํากัดอย่างรุนแรงโดยผนังหน้าแปลนแนวตั้งซึ่งสร้างแรงดันสูงและเติมเต็มข้อบกพร่องของพื้นผิวเพื่อพิสูจน์ว่าซีลโลหะกับโลหะแน่นหนามาก
- ผลิตตามมาตรฐาน ISO 3669
- เส้นผ่านศูนย์กลางที่กําหนด 16-350 มม.
- ใช้เกือบทั้งหมดกับซีลโลหะแบบวงแหวนทองแดง
- อบได้ถึง 450 °C
- โดยทั่วไปจะใช้ในระบบ UHV: ความดัน <10 -8 mbar
หน้าแปลนแบบเมตริก ซึ่งใช้กันทั่วไปในยุโรปและเอเชีย จะใช้รูเกลียวแบบเมตริกและรูเจาะในหน้าแปลนที่เหมาะสําหรับท่อแบบเมตริก หน้าแปลนที่ระบุเป็นนิ้ว ซึ่งใช้กันทั่วไปในสหรัฐอเมริกา ใช้เกลียวหน้าแปลน UNF และรูเจาะที่เข้ากันได้กับท่อขนาดนิ้ว เรามีทั้งสองตัวเลือก
สิ่งสําคัญคือการเลือกวัสดุที่ถูกต้องโดยขึ้นอยู่กับการใช้งานและการระบายก๊าซ อุณหภูมิในการทํางาน และข้อกําหนดในการป้องกันการรั่วซึมของคุณ
ซีลร่วมจะช่วยป้องกันตัวนําออกจากสุญญากาศ ดังนั้นจึงมีประโยชน์เพิ่มเติมในการขจัดรอยแยกและปริมาตรที่ตกค้างซึ่งอาจนําไปสู่ความไม่เสถียรและการระเบิดของก๊าซ
แหวนปรับศูนย์ได้รับการออกแบบมาสําหรับการใช้งานสุญญากาศเท่านั้น เมื่ออาจเห็นแรงดันบวกบางอย่าง (เช่น ท่อไอเสีย) ควรใช้ซีลร่วมและโอริงตัวดัก โดยมีส่วนรองรับที่รองรับโอริงทั้งสองด้าน ทําให้เหมาะสําหรับการใช้งานทั้งในสุญญากาศและแรงดันบวก
แคลมป์และแหวนแคลมป์
แหวนหนีบสเตนเลสสตีล
แคลมป์พอลิเมอร์
แคลมป์อะลูมิเนียม
แคลมป์ยึดผนัง
แคลมป์ C
แคลมป์หนีบและสลักเกลียว
ซีล
ซีลร่วม - อะลูมิเนียม
ซีลร่วม - พอลิเมอร์ไฮเทค
แหวนปรับศูนย์พร้อมโอริง - อะลูมิเนียม
แหวนกึ่งกลางพร้อมโอริง - พอลิเมอร์ไฮเทค
โอริงตัวดัก
ซีลโลหะ
ส่วนประกอบ
ส่วนประกอบอะลูมิเนียม
ส่วนประกอบสเตนเลสสตีล
ท่อพับยืดหยุ่นและท่ออ่อน
พับยืด
ท่อที่ยืดหยุ่นและท่อที่ยืดหยุ่นแบบถัก
ส่วนประกอบและข้อต่อหน้าแปลนของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อป้องกันการรั่วซึมในการใช้งานสุญญากาศทุกประเภท และไม่ได้มีจุดประสงค์เพื่อรองรับโครงสร้างอย่างเต็มที่
เมื่อออกแบบระบบสุญญากาศใดๆ สิ่งสําคัญคือต้องพิจารณาโหลดแบบสแตติกและแบบไดนามิกที่เกิดขึ้นกับจุดเชื่อมต่อแต่ละจุด หากจําเป็น ควรมีการรองรับเชิงกลเพิ่มเติมและรวมไว้ในการออกแบบ
ควรพิจารณาการตรวจสอบอย่างสม่ําเสมอ รวมถึงการตรวจสอบการรั่วไหล และหากเหมาะสม ควรเปลี่ยนส่วนประกอบเป็นระยะๆ เพื่อให้แน่ใจว่าระบบยังคงมีประสิทธิภาพและปลอดภัย
สําหรับข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับการติดตั้งปั๊มสุญญากาศและอุปกรณ์ของคุณอย่างปลอดภัย โปรดติดต่อเรา
