Perkakasan dan Aksesori untuk Sistem Vakum

Kritikal kepada prestasi

Kualiti yang anda harapkan daripada Edwards

Apabila anda membeli komponen pam vakum dari Edwards, anda boleh mengharapkan kualiti dan perkhidmatan yang hanya dapat diberikan oleh pembekal antarabangsa terkemuka. 

Kami memahami bahawa flens dan sambungan adalah kritikal untuk prestasi sistem vakum anda, dan hanya membekalkan produk berkualiti tinggi yang memenuhi spesifikasi tertinggi.

Mengapa memilih komponen vakum dan sambungan flange dari Edwards

Kemudahan bekalan: pembekal sumber tunggal, mampu menyediakan penyelesaian sistem lengkap sama ada dalam talian atau melalui pusat bekalan tempatan.
Kualiti tinggi dan kebolehpercayaan: kawalan bahan yang tepat memastikan prestasi vakum yang boleh dipercayai pada aplikasi yang sensitif atau menuntut.
Pilihan komprehensif: rangkaian lengkap untuk semua saiz flang biasa dalam aluminium dan keluli tahan karat.

Komponen dan sambungan vakum dengan ringkas

Pemasangan flang NW (ISO-KF)

Fitting NW, yang juga dikenali sebagai ISO-KF, adalah piawaian industri untuk banyak aplikasi dalam julat vakum rendah hingga tinggi. Ia adalah ideal untuk mencapai prestasi yang boleh dipercayai dan kos efektif sehingga 10^-7mbar merentasi pelbagai aplikasi dari ringan hingga tugas berat. Kaedah pengikat yang mudah bermakna sistem boleh dipasang dengan mudah, dan penyegelan vakum yang kedap bocor dapat dicapai dengan cepat.

Dihasilkan mengikut piawaian ISO 2861 dan DIN 28403
Diameter nominal 10 hingga 50 mm
Gunakan dengan sama ada seal elastomer atau aluminium yang dibentuk.
Pemilihan jenis pengapit bergantung kepada aplikasi, akses, kemudahan, dan kos.
Untuk digunakan dalam aplikasi vakum tinggi: tekanan >10^-8 mbar

Pemasangan flang ISO

Fitting ISO memberikan ketahanan kakisan yang tinggi dalam pemprosesan semikonduktor dan kebolehulangan yang cemerlang merentasi pelbagai aplikasi vakum rendah hingga tinggi. Flange disambungkan menggunakan sama ada pengapit kuku atau bolt dengan cincin pusat fluroelastomer atau nitril dan O-ring.

Dihasilkan mengikut piawaian ISO 1609 dan DIN 28404
Diameter nominal 40-630 mm
Flange ISO-F mempunyai corak lubang tetap.
Flange ISO-K biasanya disambungkan dengan cakar dan boleh ditukar/sambung kepada ISO-F menggunakan kerah yang boleh diputar atau separuh cakar.
Untuk digunakan dalam aplikasi vakum tinggi: tekanan >10^-8 mbar

Klem cakar berganda memasuki alur bulat di sekitar flens dan dikunci untuk memberikan sambungan flens yang sederhana tetapi selamat. Kaedah yang lebih konvensional adalah menggunakan pelbagai lubang bolt dan nat/baut dengan flang kerah yang boleh diputar atau tetap.

Pemasangan flang UHV ConFlat®

Fitting CF mempunyai sistem penutupan yang unik untuk mencapai sambungan yang kedap bocor. Sebuah meterai tembaga ditekan secara aksial dan radial antara dua flens CF, di mana tepi pisau memaksa tembaga untuk mengalir sejuk. Aliran ini sangat terhad oleh dinding flange menegak yang menghasilkan tekanan tinggi dan mengisi ketidaksempurnaan permukaan untuk membuktikan penyegelan logam ke logam yang sangat ketat.

Dihasilkan mengikut piawaian ISO 3669
Diameter nominal 16-350 mm
Digunakan hampir secara eksklusif dengan meterai logam cincin tembaga.
Boleh dibakar hingga 450 ºC
Biasanya digunakan dalam sistem UHV: tekanan <10^-8 mbar

Flange metrik, yang biasa digunakan di Eropah dan Asia, menggunakan lubang terpasang metrik dan lubang yang dibor dalam flange yang sesuai untuk tiub metrik. Flange yang ditentukan dalam inci, lebih umum digunakan di AS, menggunakan benang flange UNF dan lubang yang dibor serasi dengan tiub saiz inci. Kami menawarkan kedua-dua pilihan.

Adalah penting untuk membuat pemilihan bahan yang tepat bergantung kepada aplikasi anda serta keperluan pengeluaran gas, suhu operasi dan kebocoran.

Cekak bersama menjaga pembawa daripada vakum dan dengan itu mempunyai manfaat tambahan untuk menghapuskan celah dan volume terperangkap yang boleh menyebabkan ketidakstabilan dan letupan gas.

Cincin pusat hanya direka untuk aplikasi vakum. Di mana tekanan positif mungkin dapat dilihat (seperti saluran ekzos), co-seal dan O-ring terperangkap harus digunakan. Mereka mempunyai pembawa yang menyokong O-ring di kedua-dua belah, menjadikannya ideal untuk penggunaan vakum dan tekanan positif.

Klem dan cincin klem

Cincin pengapit keluli tahan karat
Klem polimer
Klem aluminium
Klem dinding
klem "C"
Klem kuku dan bolt

Anjing Laut

Co-seal - aluminium
Co-seal - Polimer berteknologi tinggi
Cincin pusat dengan O-ring - aluminium
Cincin pusat dengan O-ring - polimer teknologi tinggi
O-ring terperangkap
Meterai logam

Komponen paip

Komponen aluminium
Komponen keluli tahan karat

Belos dan paip fleksibel

Belos
Paip fleksibel dan paip fleksibel berpintal

Komponen dan sambungan flang kami direka untuk kedap bocor dalam pelbagai aplikasi vakum, dan tidak bertujuan untuk memberikan sokongan struktur sepenuhnya.

Apabila merancang sebarang sistem vakum, adalah penting untuk memberi perhatian kepada beban statik dan dinamik yang dikenakan pada setiap sambungan. Jika perlu, sokongan mekanikal tambahan harus disediakan dan dibina ke dalam reka bentuk.

Pemeriksaan berkala termasuk pemeriksaan kebocoran dan, jika perlu, penggantian komponen secara berkala harus dipertimbangkan untuk memastikan kecekapan sistem dan keselamatan dipelihara.

Untuk maklumat lanjut mengenai pemasangan selamat pam vakum dan peralatan anda, hubungi kami.