真空系統的硬體與配件
對性能至關重要
您期望的愛德華品質
當您從愛德華購買真空泵浦時，您就能享有業界領先國際供應商的品質和服務。
我們了解法蘭和配件對真空系統的性能至關重要，並且僅提供符合最高規格的高品質產品。
為何要選擇愛德華的真空元件與法蘭配件
- 供應便利：單一來源供應商，能夠在線上或透過本地供應中心提供完整的系統解決方案。
- 高品質與可靠性：精確的材料控制可確保在敏感或嚴苛應用中具有可靠的真空效能。
- 綜合選擇：所有常見尺寸鋁和不鏽鋼法蘭的完整系列。
真空元件與配件一覽表
NW 法蘭 (ISO-KF) 組件
NW 配件 (也稱為 ISO-KF) 是適用於低真空至高真空範圍內許多應用的業界標準。無論是輕型或嚴苛工作，它們都適合在各種應用中達到可靠且具成本效益的性能，最低可達 10-7 mbar。一種簡單的緊固方法意味著可以輕鬆組裝系統，並迅速實現防漏真空密封。
- 製造符合 ISO 2861 與 DIN 28403 標準
- 額定直徑 10 至 50 公釐
- 與彈性體或成型鋁製密封件搭配使用
- 依據應用、可及性、便利性與成本選擇夾鉗類型
- 應用於高真空應用：壓力 >10-8 mbar
ISO 法蘭組件
ISO 配件提供半導體處理中高抗腐蝕力，並在低至高真空應用範圍內提供絕佳的可重複性。法蘭是使用附有氟橡膠或丁腈中心環與 O 形環的爪夾或螺栓來連接。
- 製造符合 ISO 1609 與 DIN 28404 標準
- 額定直徑 40-630 公釐
- ISO-F 法蘭具有固定孔模式
- ISO-K 法蘭通常與爪聯結，使用可旋轉軸環或半爪來轉換/連接至 ISO-F
- 應用於高真空應用：壓力 >10-8 mbar
雙爪夾槽沿著法蘭形成圓形溝槽，並固定以提供簡單卻安全的法蘭連接。較為傳統的方法是使用一系列的螺栓孔和具備可旋轉或固定軸環法蘭的螺帽/螺栓。
UHV ConFlat® 法蘭組件
CF 配件具有獨特的密封系統，可實現密封接頭。銅密封件在兩個 CF 法蘭之間軸向和徑向擠壓，其中刀口迫使銅冷流。這種流動嚴重受到垂直法蘭壁的限制，垂直法蘭壁產生高壓並填充表面瑕疵，以證明金屬與金屬密封極為緊密。
- 製造符合 ISO 3669 標準
- 額定直徑 16-350 公釐
- 幾乎專門與銅環金屬密封搭配使用
- 可耐高溫烘烤達 450°C
- 通常用於 UHV 系統：壓力 <10-8 mbar
公制法蘭在歐洲和亞洲很常見，在適合公制管材的法蘭中使用公制螺紋孔和鑽孔。法蘭以英吋為單位，在美國較為常用，使用 UNF 法蘭螺紋，以及與英吋大小管材相容的鑽孔。我們兩種選項皆有提供。
務必根據您的應用、排氣、操作溫度和密封性的要求來選擇正確的材料。
共同密封使載體脫離真空，因此具有消除可能導致不穩定及氣爆的裂縫和捕集量的額外好處。
中心環僅針對真空應用而設計。在可能出現正壓 (例如排氣管線) 的地方，應使用共同密封和捕集的 O 形環。它們具有支撐兩側 O 形環的托架，因此非常適合用於真空與正壓。
夾鉗和夾環
不鏽鋼夾環
聚合物夾鉗
鋁製夾鉗
卡鉗
「C」型夾鉗
爪夾與螺栓
密封
共同密封 - 鋁
共同密封 - 高科技聚合物
附帶 O 形環的中心環 - 鋁
附帶 O 形環的中心環 - 高科技聚合物
捕集的 O 形環
金屬密封
管線元件
鋁製元件
不鏽鋼元件
波紋管和彈性管線
波紋管
彈性管線和編織彈性管線
我們的元件和法蘭配件經過設計，可在各種真空應用中達到密封效果，而不是為了提供完整的結構支撐。
設計任何真空系統時，必須考量到每個連接上施加的靜態與動態負載。如有必要，應提供額外的機械支撐，並內建於設計中。
應考量定期檢查，包括洩漏檢查，並適時定期更換元件，以確實維持系統效率和安全性。
如需更多有關真空泵浦與設備的安全安裝資訊，請聯絡我們。
