A 6 legfontosabb teljesítménymutató elérése a SubFab-tól a tisztatérig

A vákuumszivattyúk és a kipufogógáz-kezelő rendszerek a félvezetőgyártási folyamat kritikus részei. Az eszköz típusától vagy a folyamatcsomóponttól függetlenül több száz, sőt több ezer vákuumszivattyú és kipufogógáz-kezelő rendszer található a SubFab-ban.

A közelmúltig ezeket szintén nagyrészt figyelmen kívül hagyták a folyamatok és a hozam változékonyságának lehetséges forrásaként. Ugyanakkor, mivel más, nagyobb és közvetlenebb Fab-alapú negatív tényezők kiküszöbölésre vagy ellenőrzésre kerülnek, a „rejtett változók” keresése folyamatban van. A SubFab berendezés szerepel a gyanús listán a teljesítmény növelése és a versenyelőny növelése érdekében.

A félvezetőgyártás már most is nagy mértékben digitalizált és automatizált környezet, ahol az intelligens gyártási eszközök és az Ipar 4,0 alapelvei játszanak szerepet. A gyártási folyamat összetettsége, a mindennapi műveletek dinamikus jellege és a folyamatos fejlődés és fejlesztés szükségessége hangsúlyozza az adatvezérelt megközelítés szükségességét.

A Biztonság, Minőség, Szállítás, Költség, Emberek és Környezet (SQDCPE) a teljesítmény mérésére és nyomon követésére széles körben használt mérőszámok.

A vákuum- és kipufogógáz-kezelő rendszer a félvezető-feldolgozás során használt összes veszélyes anyagot tölcsérbe juttatja, hogy azok ártalmatlaníthatók legyenek. Ezek közül a gázok és melléktermékek közül sok mérgező, gyúlékony, piroforos vagy környezetkárosító, és komoly veszélyt jelentenek a gyár személyzete és a környező közösség egészségére és biztonságára, ha nem kezelik óvatosan. Fontos, hogy felülvizsgáljuk a kulcsfontosságú teljesítménymutatókat (KPI-ket) a biztonság tekintetében, és hogy ezek milyen hatással vannak mind a gyárra, mind az algyárra. A biztonság gyakori mutatói a sérülések miatti időveszteség (kiesett munkanapok aránya vagy LWCR) és a nyilvántartásba vehető biztonsági incidensek teljes száma (összes nyilvántartásba vehető esetek aránya vagy TRCR).

Ahogy az élvonalbeli folyamatokhoz szükséges feldolgozási lépések száma nőtt, úgy a vákuum és a kipufogógáz-kezelés is hatással van a gyártósorra, sőt a szerszámhozamra is. A berendezések kiválasztása és a karbantartási döntések kritikus fontosságúak minden egyes folyamatlépésnél. A reaktív döntések hatékonyságvesztést, a folyamateszközök leállását és kritikus biztonsági kockázatokat okozhatnak. A hozam kismértékű javulása óriási hatással lehet a KPI-kre.

A nem tervezett karbantartások miatt évente több ezer órányi folyamatszerszám-idő veszik el. Ha egy váratlan esemény a SubFab-ban egy szerszám vagy kamra leállását okozza, a pengék elveszhetnek vagy késhetnek a szerszámra való várakozáskor, és ezeknek a pengéknek a ciklusideje megnő.

A pengeköltségre gyakorolt hatás lehet közvetlen vagy közvetett. A közvetett költségek, beleértve a folyamatszerszámok gyártáskiesésének lehetőségi költségét, messze felülmúlják a közvetlen költségeket, különösen akkor, ha a leszerelőszerszám szűk keresztmetszetű szerszám.

Az integrált áramkörök létrehozásához sok emberre van szükség, akik széles körű készségekkel rendelkeznek, és mind elméleti, mind gyakorlati ismeretekkel rendelkeznek.  Ezek a készségek kiterjednek a fizika és a kémia, az anyagtudomány, az elektrotechnika és az elektronika, a gépészet, a vezérlőrendszerek és egyebek területére.

A fenntarthatósági célok eléréséhez számos intézkedésre van szükség - energiahatékonysági programok, stratégiai megújulóenergia-kezdeményezések, az üvegházhatású gázok kibocsátásának csökkentése és az éghajlatváltozás elleni megállapított intézkedések.