Dosažení 6 výkonnostních metrik od podřízené výroby po čistou místnost
Jak vakuové systémy a systémy snižování emisí ovlivňují metriky továrny?
Vakuové pumpy a systémy snižování emisí jsou důležitou součástí procesu výroby polovodičů. Bez ohledu na typ zařízení nebo uzel procesu jsou v podřízené výrobě (tzv. subfab) stovky, dokonce tisíce vývěv a systémů snižování emisí.
Až donedávna byly také převážně ignorovány jako možný zdroj procesního a výnosové variability. Protože se však odstraňují nebo kontrolují další, větší a přímější škodlivé faktory na bázi výroby, hledají se rovněž „skryté proměnné“. Vybavení podřízené výroby je na seznamu podezřelých zařízení, která mohou pomoci k zvýšení výkonnosti a získání konkurenční výhody.
Výroba polovodičů je již vysoce digitalizovaným a automatizovaným prostředím, ve kterém vstupují do hry nástroje chytré výroby a principy průmyslu 4.0. Složitost výrobního procesu, dynamická povaha každodenních operací a neustálá potřeba pokročit kupředu a neustálá potřeba zlepšovat, zdůrazňuje nezbytnost přístupu založeného na datech.
Jaké jsou běžné metriky používané v továrnách na výrobu polovodičů?
Bezpečnost, kvalita, dodání, náklady, lidé a životní prostředí (SQDCPE) jsou metriky, které se široce používají k měření a sledování výkonu.
Bezpečnost
Systém pro vakuum a snižování emisí odvádí všechny nebezpečné látky používané při zpracování polovodičů, aby byly neškodné pro likvidaci. Mnohé z těchto plynů a vedlejších produktů jsou toxické, hořlavé, samovznětlivé nebo poškozující životní prostředí a představují významné ohrožení zdraví a bezpečnosti personálu továrny a okolní komunity, pokud s nimi není zacházeno s velkou opatrností. Je důležité, abyste zkontrolovali klíčové ukazatele výkonnosti (KPI) z hlediska bezpečnosti a toho, jak ovlivňují jak výrobní prostor, tak podřízenou výrobu. Běžnými ukazateli bezpečnosti je ztráta času v důsledku zranění (míra ztráty pracovních dní na pracovišti neboli LWCR) a celkový počet zaznamenatelných incidentů (celková míra zaznamenatelných případů neboli TRCR).
Kvalita
Jelikož se zvýšil počet kroků zpracování vyžadovaných špičkovými procesy, vliv vakua a snižování emisí má významný dopad na výtěžnost linky a dokonce i na vytíženost celé oblasti. Výběr zařízení a rozhodnutí ohledně údržby jsou v každém kroku procesu zásadní. Reaktivní údržba může vést k neefektivitě, prostojům procesních nástrojů a kritickým bezpečnostním rizikům. To, co se může zdát jen drobným zlepšením výnosu, může mít obrovský dopad na ukazatele KPI.
Dodávka
Každý rok se kvůli neplánované údržbě stále ztrácí tisíce hodin práce na procesních přístrojích. Pokud neočekávaná událost v podřízené výrobě způsobí vypnutí přístroje nebo komory, mohou se destičky při čekání na přístroj ztratit nebo zpozdit a doba cyklu těchto destiček se prodlouží.
Náklady
Dopad na náklady na destičky může být přímý nebo nepřímý. Nepřímé náklady, včetně nákladů na možnost ztracené výroby v rámci procesních přístrojů převažují nad přímými náklady, zejména pokud poruchový přístroj způsobí zpomalení výroby ba dokonce zastaví výrobní linku.
Lidé
Vytváření integrovaných obvodů vyžaduje mnoho lidí se širokou škálou dovedností, teoretických znalostí a praktických zkušeností. Tyto dovednosti zahrnují oblasti jako jsou fyzika a chemie, věda o materiálech, elektrotechnika a elektronika, strojírenství, řídicí systémy a dalších obory.
Životní prostředí
K dosažení cílů udržitelnosti je zapotřebí mnoho opatření – programy energetické účinnosti, strategické iniciativy v oblasti obnovitelných zdrojů energie, snižování emisí skleníkových plynů a zavedená opatření proti změnám klimatu.
