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Soluções versáteis para monitoramento de pressão

Nossos medidores de medição de pressão indireta são perfeitos para ambientes de baixa pressão, oferecendo leituras precisas em uma ampla faixa.

Esses medidores se adaptam a diferentes tipos de gás para obter resultados precisos. Para controle avançado, explore nossas variantes digitais, com fácil integração em sistemas digitais.

Projetados para integração perfeita em sistemas de vácuo novos e existentes, esses medidores oferecem uma solução simples para uma ampla gama de aplicações de vácuo.

Descubra o medidor certo para suas necessidades.

Medidores de pressão indireta: ideais para utilização em pressões mais baixas

Medidores de pressão indireta medem propriedades dependentes da pressão, como a condutividade térmica, tornando-os ideais para uso em pressões mais baixas, onde a densidade numérica de partículas é baixa para uma medição direta de pressão precisa.

As medições de pressão com esses medidores dependem do tipo de gás e, portanto, fatores de correção podem ser usados para ler a pressão correta de acordo com as especificações do seu sistema.

Esses medidores oferecem leituras precisas em uma ampla faixa de pressões, adequadas para diversas aplicações industriais, de semicondutores e científicas. Consulte a visão geral para comparar tecnologias e identificar a solução mais adequada para o seu sistema de vácuo.

Para integração e controle aprimorados, oferecemos variantes digitais de alguns dos nossos medidores mais populares, como:

  • nAPG200 — Medidor Pirani
  • nAIM200 — Medidor de Magnetron Invertido 
  • nWRG200 — Medidor de ampla faixa.

Estas versões digitais apresentam interfaces de comunicação RS232 ou RS485, permitindo fácil integração com PCs ou CLPs sem a necessidade de controladores analógicos. Esta opção é especialmente útil para sistemas que exigem entradas digitais diretas e monitoramento preciso.

Medidores Pirani APG

O Medidor Pirani Ativo (APG200) é adequado para todos os mercados de vácuo, desde instrumentos analíticos que podem aproveitar o tamanho reduzido e as saídas flexíveis, até semicondutores para os quais as novas interfaces e os anéis de luz permitem uma melhor manutenção dos sistemas, e pesquisa & desenvolvimento, onde a indicação local de pressão ajuda a monitorar experimentos longe das interfaces principais.

A variante digital do nosso medidor Pirani APG200, conhecido como nAPG200, oferece opções de comunicação digital RS232 ou RS485. Isso permite uma integração perfeita com PCs ou controladores lógicos programáveis (PLCs), tornando-o uma excelente opção para sistemas que exigem entradas digitais diretas.

Quais são as características do APG200?

  • Indicador de pressão do anel de luz LED de 360°
  • Tamanho compacto
  • Filamento longo
  • Filtro integrado (versão sem filtro disponível)
  • Compatível com instalação rápida
  • Ampla gama de energia da fonte de alimentação 15-48 V
  • Digital/Analógico
  • Relé do ponto de ajuste
Medidor Pirani APG200 da Edwards - vista frontal

Medidor Pirani APG200

Medidor pirani ativo APG200 - vista ampliada
Medidor pirani ativo APG200 - miniatura da vista ampliada
Medidor pirani ativo APG200 - vista ampliada
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Medidor pirani ativo APG200 - miniatura da vista rotacional
Medidor pirani ativo APG200 - vista rotacional
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Medidor pirani ativo APG200 - miniatura do anel de luz de LED
Medidor pirani ativo APG200 - anel de luz de LED
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Medidores de Magnetron Invertido AIM

Os Medidores Active Inverted Magnetron (AIM200) fornecem medição precisa na faixa de vácuo de 1 x 10-2 a 1 x 10-9 mbar.

Este medidor é resistente e confiável em uma ampla gama de aplicações, que vão de instrumentos científicos a processos industriais.

O medidor AIM200 é uma cabeça de medidor de magnetron invertido e um controlador de medidor combinados em uma única unidade compacta e possui um campo magnético externo muito baixo, combinado com um mecanismo de impacto aprimorado, o que o torna ideal para uso com instrumentos analíticos sensíveis ou em aplicações em que o medidor precisa ser montado próximo a equipamentos sensíveis.

O nAIM é a versão digital do nosso AIM200, suporta a comunicação RS232 ou RS485, proporcionando o mesmo tamanho e desempenho que a versão analógica, facilitando a aquisição e controle de dados por meio de sistemas digitais.

Quais são as características do AIM200?

  • Indicador de pressão do anel de luz LED de 360°
  • Dimensões reduzidas
  • Percussor estrela multiponto
  • Nenhum controlador externo necessário
  • Drivers disponíveis
  • Compatível com instalação rápida
  • Ampla gama de energia da fonte de alimentação 15-48 V
  • Ímãs novos
  • Relé do ponto de ajuste
  • Variante compatível com abraçadeira tipo C.
Medidor de Magnetron Invertido Ativo (AIM200) da Edwards

Medidor de Magnetron Invertido Ativo (AIM200)

Medidores de combinação de cátodo frio WRG

O medidor de ampla faixa (WRG200) oferece a capacidade de medição de pressão de porta única na faixa de atmosfera até 10-9 mbar, cobrindo não apenas o bombeamento de câmara inicial, como também as pressões do processo como um todo.

O medidor WRG200 é robusto e confiável em uma ampla gama de aplicações que variam de instrumentos científicos a semicondutores e processos industriais, pois utiliza a mais recente tecnologia de filamento Pirani e cátodo frio.

Um medidor multifuncional que oferece a vantagem de alternar automaticamente entre o sensor de vácuo parcial e o sensor de alto vácuo, além de possuir um campo magnético de baixa dispersão para garantir que não haja interferência no ambiente ao redor.

O nWRG é o equivalente digital do WRG200, mantendo o mesmo tamanho e desempenho, ao mesmo tempo em que oferece a flexibilidade da comunicação digital. Isso o torna ideal para aplicações em que são necessárias leituras de pressão digitais precisas e diretas.

Quais são as características do WRG200?

  • Indicador de pressão do anel de luz LED de 360°
  • Dimensões reduzidas
  • Tecnologia de filamento avançada
  • Nenhum controlador externo necessário
  • Drivers disponíveis
  • Compatível com instalação rápida
  • Ampla gama de energia da fonte de alimentação 15-48 V
  • Ímãs novos
  • Relé do ponto de ajuste
  • Variante compatível com abraçadeira tipo C.
Medidor de ampla faixa da Edwards de cátodo frio/pirani (WRG200 e nWRG200)

Medidor de ampla faixa de cátodo frio/pirani (WRG200 e nWRG200)

Magnetron Invertido Ativo (AIM200) e Medidor de Ampla Faixa (WRG200) - Vista Explodida
Medidor de Magnetron Invertido Ativo (AIM200) e Medidor de Ampla Faixa (WRG200) - Miniatura de vista explodida
Magnetron Invertido Ativo (AIM200) e Medidor de Ampla Faixa (WRG200) - Vista Explodida
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Magnetron Invertido Ativo (AIM200) e Medidor de Ampla Faixa (WRG200) - Miniatura de vista rotacional
Medidor de Magnetron Invertido Ativo (AIM200) e Medidor de Ampla Faixa (WRG200) - Vista Rotacional
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Medidor de Magnetron Invertido Ativo (AIM200) e Medidor de Ampla Faixa (WRG200) - Indicador Visual de Pressão com Anel de Luz LED visualização em miniatura
Medidor de Magnetron Invertido Ativo (AIM200) e Medidor de Ampla Faixa (WRG200) - Indicador Visual de Pressão com Anel de Luz LED
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Medidores de vácuo de convecção linear APGX-H

O Vacuômetro de Convecção Linear Ativa (APGX-H) possui uma ampla faixa de medição de 1333 a 3 x 10-4 mbar.

O uso da tecnologia de convecção garante que a precisão e a sensibilidade sejam mantidas até o topo da faixa de pressão em comparação com os medidores Pirani convencionais, que perdem precisão acima de 100 mbar.

O medidor é compacto e pode ser montado em qualquer orientação, simplificando a instalação onde o espaço é limitado.

Vacuômetro de convecção linear ativa (APGX-H)

Vacuômetro de convecção linear ativa (APGX-H)

Medidores iônicos AIGX

O Medidor Iônico ativo (AIGX) é um medidor iônico ativo compacto com filamentos de irídio revestidos com ítria duplos, uma ampla faixa de medição de 6,6 x 10-2 a 6,6 x 10-10 mbar e uma saída linear de 1 Volt/década.

O AIGX incorpora todos os benefícios do conceito de medição ativa padrão da indústria, com eletrônica integrada e tubo substituível. O medidor possui uma instalação de desgaseificação e inclui recursos para proteger e prolongar a vida útil dos filamentos.

O AIGX se beneficia de emissões extremamente baixas de partículas carregadas, o que o torna uma excelente escolha para processos em que o ruído de fundo é indesejável.

Medidor Iônico ativo (AIGX)

Medidor Iônico ativo (AIGX)

Medidor combinado de cátodo quente WRH

O medidor de ampla faixa de cátodo quente ativo (WRH) oferece a capacidade de medir desde a atmosfera até 10-10mbar com um único medidor, com precisão e repetibilidade.

O medidor WRH utiliza 2 métodos de medição (Bayard-Alpert & Pirani) em um único pacote, oferecendo tudo o que você precisa para medir e controlar seu sistema.

Com saída analógica e RS485 disponível através do conector D-SUB, 2 relés integrados e fácil calibração, o controle e o monitoramento são simples.

Utilizando o software incluído, é possível acompanhar e registrar facilmente o desempenho do seu sistema e fazer ajustes no comportamento dos medidores, como definir os pontos de ajuste ou alterar o dimensionamento de saída.

Este medidor é o companheiro perfeito para muitas aplicações, desde institutos de P&D até espectrometria de massa de alta tecnologia e também para a indústria geral.

Medidor de ampla faixa de cátodo quente ativo da Edwards (WRH)

Medidor de ampla faixa de cátodo quente ativo (WRH)

Medidores Passivos

Os medidores passivos Edwards são cabeças de medidores sem componentes eletrônicos integrados: adequados para ambientes com altas quantidades de radiação ou temperaturas ambientes muito altas.

Embora a medição ativa agora domine o mercado, ainda existem nichos de aplicação em que a medição passiva é dominante. Isso inclui qualquer aplicação em que a presença de componentes eletrônicos próximos ao experimento resultaria em falha do dispositivo.

Os componentes eletrônicos de acionamento ainda são necessários para controlar o medidor, mas eles podem ser mantidos remotamente em nosso controlador dedicado que pode ser colocado até 50 m de distância do medidor para fornecer uma leitura “local” e uma saída de pressão para o seu sistema.

A cabeça sensora que é conectada ao sistema possui apenas os itens necessários para a medição física, e todas as outras peças eletrônicas ficam contidas no controlador.

Dessa forma, o controlador e o cabo devem ser específicos para o medidor desejado.

Soluções robustas e precisas para os ambientes mais severos: perfeitas para aplicações de Física de Altas Energias e P&D onde a radiação danificaria a eletrônica de um medidor ativo normal. Esses medidores possuem um histórico longo e comprovado em tais ambientes.

Com estas aplicações frequentemente exigindo pressões de vácuo ultraelevadas, os nossos medidores passivos têm a faixa de medição mais ampla, capazes de obter uma medição até 2 x 10⁻¹² mbar com a nossa linha IG40-EX.

Família de medidores passivos

Família de medidores passivos

Perguntas frequentes sobre medidores de pressão indireta

Os medidores Edwards podem ser integrados em sistemas de vácuo existentes?

Muitos medidores Edwards são projetados para integração direta em sistemas de vácuo novos e existentes e estão disponíveis com opções de comunicação analógica e digital.

Quais são os benefícios dos medidores de pressão indireta Edwards?

  • Integração perfeita com sistemas de vácuo novos e existentes
  • Medidores selecionados são fabricados internamente
  • Especialização confiável em vácuo Edwards e suporte técnico
  • Portfólio completo de medidores de vácuo para diversos requisitos de medição de pressão
  • Redução dos prazos de entrega em medidores selecionados*
  • Disponibilidade confiável de produtos e suporte global

*Os prazos de entrega e a disponibilidade podem variar conforme a região

Quais medidores de vácuo são usados para aplicações em semicondutores?

Equipamentos semicondutores frequentemente exigem medidores capazes de monitorar níveis de vácuo durante o bombeamento, processamento e ventilação. A Edwards oferece várias tecnologias adequadas, incluindo Pirani, magnetron invertido e medidores de ampla faixa, dependendo da faixa de pressão e dos requisitos da aplicação.

Quais medidores de vácuo são instrumentos analíticos adequados?

Instrumentos analíticos frequentemente requerem medição de vácuo estável e precisa com integração compacta. Os medidores APG200 e AIM200 são comumente usados em aplicações analíticas e científicas.

AIGX Active Ion Gauge - Datasheet
3601-0131-01-AIGX-datasheet

PDF

525.6 kB

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WRH Active Hot Cathode Pirani Gauge - Datasheet
3601-0613-01-WRH-Datasheet

PDF

407.2 kB

Passive Gauges and Controllers - Datasheet
3601-0307-01-Passive-Gauges

PDF

1.7 MB

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1.7 MB

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AIM200 Active Inverted Magnetron Gauge - Datasheet
3601-0754-01-AIM200-Datasheet

PDF

768.1 kB

Funcionários da Edwards estão no corredor sorrindo
SOLUÇÕES DE SERVIÇO

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