Hazne Çözümleri
Düşük titreşim ve sıfır bakım
Sıfır bakım gerektiren tutarlı, güvenilir performansa ihtiyacınız varsa STP Maglev Turbomoleküler Pompa serimiz standartları belirler. Rotor tamamen manyetik rulmanlarla süspansiyonludur; yüksek çalışma süresi, hidrokarbonsuz pompalama, minimum bakım ve düşük titreşim gerektiren uygulamalar için mükemmeldir.
Gelişmiş Yüksek Verimli Serisi
Advanced serisi, yarı iletken dağlama ve CVD prosesleriniz için mükemmel olan yüksek verim seviyeleri sunar:
- Kompakt boyutlar
- 300 l/sn'den 4.500 l/sn'ye kadar üretim hızları
- 6 slm'ye kadar verim ve artırılmış H2, N2 ve Ar performansı
- Tam Entegre Kontrol Ünitesi ve Güç Kaynağı
- Ultra Yüksek Vakum
- Ultra Yüksek Vakum Düşük Titreşim Serisi
Bu hepsi bir arada turbo pompa çözümü, geleneksel olarak gerekli olan bağlantı kablosunu ve rafı ortadan kaldırır:
- Azaltılmış ayak izi, değerli fabrika mülkiyetinden, kurulum süresinden ve maliyetten tasarruf sağlar
- Yerleşik güç kaynağı, yüksek gaz akışlarında enerji tüketimini %32'ye kadar azaltır
- 300 l/sn ila 4.500 l/sn arasında geçiş hızlarıyla çalışır
Ultra Yüksek Vakum serisi rakipsiz güvenilirlik, performans, temizlik ve sınıfında lider düşük titreşim seviyeleri sunar:
- DC gücü pil ihtiyacını ortadan kaldırır
- Yarım raf denetleyicisi, otomatik ayarlama ve gelişmiş tanılama özelliklerine sahiptir
- 300 l/sn ila 1000 l/sn hızlar ve <10-10 mbar en yüksek basınç CF flanşı
- Zorlu prosesler için "C" modeli de mevcuttur
Ultra Yüksek Vakum Düşük Titreşim versiyonu, Ultra Yüksek Vakum serisinin tüm özelliklerinin yanı sıra size ultra düşük titreşim performansı sunan dahili bir titreşim izolatörü içerir.