On-Board® IS-Kryopumpen Edwards

Unvergleichliche Vakuumleistung und Energieeffizienz

Die Kryopumpensysteme Edwards CTI-Cryogenics IS bedienen sich innovativer, hocheffizienter Technologien, um unvergleichliche Vakuumleistung und Energieeffizienz zu erreichen.

Ein patentiertes verteiltes Steuersystem überwacht und stellt einzelne Elemente des Kryopumpensystems ständig nach, um optimale systemweite Vakuumleistung für eine außergewöhnliche Prozesskonsistenz zu gewährleisten. On-board IS-Kryopumpen bieten höchste Verfügbarkeit, beste Produktivität und die niedrigsten Gesamtbetriebskosten aller heute verfügbaren Kryopumpensysteme. Außerdem verfügen sie über ein schnell reagierendes globales Service- und Supportnetzwerk von Edwards.

Hauptmerkmale

Das patentierte verteile Steuersystem überwacht und stellt einzelne Elemente des Kryopumpensystems ständig nach
Hält optimale systemweite Vakuumleistung aufrecht, sorgt für außergewöhnliche Prozesskonsistenz
Schnellste Regenerationsraten in Einzel- und Mehrpumpenkonfigurationen
Geringer Energie- und Kühlwasserverbrauch ohne Kompromisse bei der Vakuumleistung
Einfache Systemintegration
Schnelle Installation in der Produktion
Verbesserte Fernüberwachung für vorbeugende und vorausschauende Wartung

Kryopumpe IS 320FX
IS XP

Kryopumpe IS 320FX

Die Kryopumpe On-Board® IS 320FX wurde speziell für die Herausforderungen der heutigen Ionen-Implantationsprozesse entwickelt. Sie bietet eine verbesserte Geschwindigkeit und Kapazität beim Pumpen von Wasserstoff und liefert dabei die Qualität, Leistung und Zuverlässigkeit, die Sie erwarten.

Speziell für Ionen-Implantationsanwendungen entwickelt
Optimiert für den Tool-Durchsatz
Intelligente „selbstanpassende“ Technologie
Niedrige Gesamtbetriebskosten
Höhere Betriebszeit

IS XP

Die Kryopumpe On-Board® IS XP-bietet eine höhere Kapazität für PVD-Anwendungen, um maximale Produktivität bei gleichzeitiger Beibehaltung der Prozesstransparenz zu erreichen. Gleichzeitig bietet sie die bewährte Energieeffizienz, konsistente Leistung und niedrigen Betriebskosten, die Sie von der On-Board® IS erwarten.