Rendimiento de vacío y eficiencia energética inigualables
Los sistemas de bombas criogénicas CTI-Cryogenics IS de Edwards hacen uso de una tecnología innovadora de alta eficiencia para proporcionar un rendimiento de vacío y una eficiencia energética inigualables.
Un sistema de control distribuido patentado monitorea y ajusta constantemente los elementos individuales del sistema de bomba criogénica para mantener un óptimo rendimiento de vacío en todo el sistema, con el fin de lograr una consistencia excepcional en el proceso. Las bombas criogénicas On-Board IS brindan el mayor tiempo de actividad, la mejor productividad y el menor costo total de propiedad de cualquier sistema de bombas criogénicas disponibles en la actualidad, respaldado por la red global de servicio y soporte de Edwards con una alta capacidad de respuesta.
Características clave
- El sistema de control distribuido patentado monitorea y ajusta constantemente los elementos individuales del sistema de la bomba criogénica
- Mantiene un óptimo rendimiento de vacío en todo el sistema con el fin de lograr una consistencia excepcional en el proceso
- Las regeneraciones más rápidas en configuraciones de una o varias bombas
- Bajo consumo de energía y agua de refrigeración, sin riesgos en el rendimiento del vacío
- Fácil integración del sistema
- Instalación de producción rápida
- Monitoreo remoto mejorado tanto para mantenimientos preventivos como predictivos
- Bombas criogénicas IS 320FX
- IS XP
Bombas criogénicas IS 320FX
La bomba criogénica On-Board® IS 320FX, desarrollada específicamente para responder a los desafíos actuales en los procesos de implantación de iones, proporciona una velocidad y una capacidad de bombeo de hidrógeno mejoradas, a la vez que mantiene la calidad, el rendimiento y la confiabilidad que usted desea obtener.
- Diseñada específicamente para aplicaciones de implantación de iones
- Optimizada para el rendimiento de la herramienta
- Tecnología inteligente de “autoajuste”
- Menor coste de propiedad
- Mayor tiempo productivo
IS XP
La bomba criogénica On-Board® IS XP ofrece una mayor capacidad para aplicaciones de PVD con el fin de lograr una máxima productividad, a la vez que se mantiene la transparencia del proceso. Al mismo tiempo, aprovecha la eficiencia energética comprobada, el rendimiento constante y el bajo costo de propiedad que usted desesa obtener de la tecnología On-Board® IS.
- Proporciona una capacidad general para futuras mejoras en el proceso
- Menor coste de propiedad
- Más tiempo de funcionamiento
- Tecnología inteligente de “autoajuste” para un rendimiento de vacío consistente
La bomba criogénica On-Board® IS 320FX, desarrollada específicamente para responder a los desafíos actuales en los procesos de implantación de iones, proporciona una velocidad y una capacidad de bombeo de hidrógeno mejoradas, a la vez que mantiene la calidad, el rendimiento y la confiabilidad que usted desea obtener.
- Diseñada específicamente para aplicaciones de implantación de iones
- Optimizada para el rendimiento de la herramienta
- Tecnología inteligente de “autoajuste”
- Menor coste de propiedad
- Mayor tiempo productivo
La bomba criogénica On-Board® IS XP ofrece una mayor capacidad para aplicaciones de PVD con el fin de lograr una máxima productividad, a la vez que se mantiene la transparencia del proceso. Al mismo tiempo, aprovecha la eficiencia energética comprobada, el rendimiento constante y el bajo costo de propiedad que usted desesa obtener de la tecnología On-Board® IS.
- Proporciona una capacidad general para futuras mejoras en el proceso
- Menor coste de propiedad
- Más tiempo de funcionamiento
- Tecnología inteligente de “autoajuste” para un rendimiento de vacío consistente
