無與倫比的真空效能和能源效率
愛德華 CTI-Cryogenics IS 低溫泵浦系統善用創新的高效率技術，提供無與倫比的真空效能和能源效率。
獲得專利的分散式控制系統可監控並不斷調整低溫泵浦系統的各個元件，以保持最佳的全系統真空效能，進而實現出色的製程穩定性。藉由愛德華反應快速的全球服務和支援網路，On-Board IS 低溫泵浦可為現今任一可用的低溫泵浦系統實現最高運轉時間、最佳生產力以及最低的總持有成本。
關鍵特性
- 獲得專利的分散式控制系統可監控並不斷調整低溫泵浦系統的各個元件
- 保持最佳的全系統真空效能，進而實現出色的製程穩定性
- 以單泵和多泵配置實現最快速的再生速度
- 低能耗與低冷卻水消耗量，同時不會影響真空效能
- 輕鬆進行系統整合
- 生產安裝快速
- 適用於預防性與預測性維護的增強式遠端監控
- IS 320FX 低溫泵浦
- IS XP
IS 320FX 低溫泵浦
On-Board® IS 320FX 低溫泵浦專為處理現今的離子佈植製程挑戰所開發，提供增強的氫抽吸速度和容量，同時保持您預期的品質、效能及可靠性。
- 專為離子佈植應用所設計
- 專為工具吞吐量最佳化所設計
- 智慧型「自行調整」技術
- 低廉的持有成本
- 增加運轉時間
IS XP
On-Board® IS XP 低溫泵浦為 PVD 應用提供更大的容量，以達到最大生產力，同時保持製程透明性。不僅如此，本產品更具備您預期 On-Board® IS 會提供的特性：經實證的能源效率、穩定效能以及低廉的持有成本。
- 為未來的製程改良提供容量餘裕
- 低廉的持有成本
- 增加運轉時間
- 確保穩定真空效能的智慧型「自行調整」技術
On-Board® IS 320FX 低溫泵浦專為處理現今的離子佈植製程挑戰所開發，提供增強的氫抽吸速度和容量，同時保持您預期的品質、效能及可靠性。
- 專為離子佈植應用所設計
- 專為工具吞吐量最佳化所設計
- 智慧型「自行調整」技術
- 低廉的持有成本
- 增加運轉時間
On-Board® IS XP 低溫泵浦為 PVD 應用提供更大的容量，以達到最大生產力，同時保持製程透明性。不僅如此，本產品更具備您預期 On-Board® IS 會提供的特性：經實證的能源效率、穩定效能以及低廉的持有成本。
- 為未來的製程改良提供容量餘裕
- 低廉的持有成本
- 增加運轉時間
- 確保穩定真空效能的智慧型「自行調整」技術
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