Kompressorenprogramm CTI-Cryogenics von Edwards
Edwards CTI-Cryogenics bietet eine Auswahl an Kompressoren, die für eine optimale Leistung mit On-board Kryopumpen, Cryo-Torr-Kryopumpen und/oder On-board Wasserpumpen ausgelegt sind.
Ein integrierter Kryopumpen-Frequenzwandler sorgt für maximale Kryopumpenleistung bei 50- und 60-Hz-Anwendungen für alle Edwards-Vakuumpumpen.
Kompressor 8200
- Dieser Kompressor wurde für optimale Leistung im Zusammenspiel mit On-board Kryopumpen, On-board Wasserpumpen und Cryo-Torr-Kryopumpen entwickelt und unterstützt alle Pumpen bis zu einer Größe von acht Zoll. Da bei der Entwicklung des 8200 auf Flexibilität größtes Augenmerk gelegt wurde, können Sie den Kompressor an dem Ort platzieren, der für Ihren Systembetrieb am besten geeignet ist.
- Edwards CTI-Cryogenics 8200 Compressor Data sheet 335.1 kB, PDF
Kompressor 9600
- Dieser Kompressor wurde speziell für eine lange Nutzungsdauer, hohe Zuverlässigkeit und einfache Bedienung entwickelt. Er bietet hervorragende Leistung im Zusammenspiel mit allen Cryo-Torr-Kryopumpen, On-board Kryopumpen, On-board Wasserpumpen und On-board TurboPlus-Vakuumpumpen. Der 9600 unterstützt sowohl Einzel- als auch Verbundkonfigurationen von Pumpen und ist mit CTI-Cryogenics-Pumpensystemen weltweit kompatibel.
- Edwards CTI-Cryogenics 9600 Compressor Data sheet 645.2 kB, PDF
Kompressor 9700A
- Mit seinem verbesserten Heliumdurchsatz ist der Kompressor der Reihe 9700A ideal für den Betrieb mehrerer Kryopumpen geeignet. In vielen Anwendungen mit mehreren Kryopumpen und Wasserpumpen ermöglicht ein Kompressor 9700A eine Systemarchitektur mit nur einem Kompressor. Der Kompressor 9700A, der eine Reduzierung des Stromverbrauchs, eine bessere Wasserverteilung und eine kleinere Stellfläche ermöglicht, wenn man ihn mit Mehrkompressorsystemen vergleicht, ist mit Cryo-Torr- und On-board Kryopumpen kompatibel.
- Edwards CTI-Cryogenics 9700a Compressor Data sheet 408.5 kB, PDF
IS-Kompressoren
- Kompressor IS-1000 – Intelligente, hocheffiziente Kompressortechnologie für On-board IS-Kryopumpen. Der Kompressor IS-1000 versorgt bis zu sechs On-Board IS-8F Kryopumpen auf derselben Stellfläche wie ein 9600 Kompressor.
Kompressor IS-2000V – Das Gerät mit dem geringsten Stromverbrauch in allen Betriebsphasen durch das Zusammenspiel von höherem Druck, Rotationstechnologie und anpassbarem Heliumdurchsatz. Entspricht den SEMI S-23-Vorgaben. Der IS-2000V ersetzt zwei integrierte IS-1000-Kompressoren. Dieser leistungsstarke Heliumkompressor wurde zur Unterstützung von On-board IS-Kryopumpenanwendungen entwickelt. Ein integrierter Kryopumpen-Frequenzwandler sorgt für maximale Kryopumpenleistung bei 50- und 60-Hz-Anwendungen.
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