Desempenho de vácuo inigualável e eficiência no consumo de energia
Os sistemas de bomba criogênica IS da Edwards CTI-Cryogenics utilizam tecnologia inovadora e de alta eficiência para fornecer desempenho de vácuo e eficiência energética incomparáveis.
Um sistema de controle distribuído patenteado monitora e ajusta constantemente os elementos individuais do sistema de bomba criogênica para manter o desempenho de vácuo ideal em todo o sistema para uma consistência de processo excepcional. As bombas criogênicas IS integradas oferecem o maior tempo de atividade, a melhor produtividade e o menor custo total de propriedade de qualquer sistema de bomba criogênica disponível atualmente, com o apoio da rede de suporte e serviço global altamente responsiva da Edwards.
Principais características
- O sistema de controle distribuído patenteado monitora e ajusta constantemente os elementos individuais do sistema da bomba criogênica
- Mantém o desempenho ideal do vácuo em todo o sistema, proporcionando uma consistência de processo excepcional
- Regenerações mais rápidas em configurações de uma e de várias bombas
- Baixo consumo de energia e água de resfriamento sem comprometer o desempenho do vácuo
- Fácil integração do sistema
- Instalação de produção rápida
- Monitoramento remoto aprimorado para manutenção preventiva e preditiva
- Bomba criogênica IS 320FX
- IS XP
Bomba criogênica IS 320FX
A bomba criogênica On-Board® IS 320FX, desenvolvida especificamente para lidar com os desafios dos atuais processos de implante de íons, oferece maior velocidade e capacidade de bombeamento de hidrogênio, mantendo a qualidade, o desempenho e a confiabilidade que você espera.
- Projetado especificamente para aplicações de implante de íons
- Otimizado para a produtividade da ferramenta
- Tecnologia inteligente de "autoajuste"
- Custo menor de propriedade
- Aumento do tempo de atividade
IS XP
A bomba criogênica On-Board® IS XP oferece maior capacidade para aplicações de PVD para alcançar a máxima produtividade, mantendo a transparência do processo. Ao mesmo tempo, aproveita a eficiência comprovada no consumo de energia, o desempenho consistente e o baixo custo de propriedade que você espera da On-Board® IS.
- Fornece maior capacidade para futuras melhorias de processo
- Custo menor de propriedade
- Maior tempo de atividade
- Tecnologia inteligente de "autoajuste" para um desempenho de vácuo consistente
A bomba criogênica On-Board® IS 320FX, desenvolvida especificamente para lidar com os desafios dos atuais processos de implante de íons, oferece maior velocidade e capacidade de bombeamento de hidrogênio, mantendo a qualidade, o desempenho e a confiabilidade que você espera.
- Projetado especificamente para aplicações de implante de íons
- Otimizado para a produtividade da ferramenta
- Tecnologia inteligente de "autoajuste"
- Custo menor de propriedade
- Aumento do tempo de atividade
A bomba criogênica On-Board® IS XP oferece maior capacidade para aplicações de PVD para alcançar a máxima produtividade, mantendo a transparência do processo. Ao mesmo tempo, aproveita a eficiência comprovada no consumo de energia, o desempenho consistente e o baixo custo de propriedade que você espera da On-Board® IS.
- Fornece maior capacidade para futuras melhorias de processo
- Custo menor de propriedade
- Maior tempo de atividade
- Tecnologia inteligente de "autoajuste" para um desempenho de vácuo consistente
