독보적인 진공 성능 및 에너지 효율성
Edwards CTI-Cryogenics IS 크라이오 펌프 시스템은 혁신적인 고효율 기술을 이용하여 타의 추종을 불허하는 진공 성능과 에너지 효율성을 제공합니다.
특허 받은 분산 제어 시스템은 크라이오 펌프 시스템의 개별 요소를 모니터링하고 지속적으로 조정하여 시스템 전체의 진공 성능을 최적으로 유지하여 공정의 일관성을 보장합니다. On-Board IS 크라이오 펌프는 최상의 가동 시간, 최고의 생산성 및 현존하는 크라이오 펌프 시스템 중 가장 낮은 총 소유 비용을 자랑하며, Edwards의 뛰어난 글로벌 서비스 및 네트워크 지원이 보장됩니다.
주요 기능
- 특허받은 분산 제어 시스템은 극저온 펌프 시스템의 개별 요소 모니터링 및 지속적인 조정
- 전체 시스템의 진공 성능을 최적으로 유지하여 탁월한 공정 일관성 전달
- 단일 및 다수의 펌프 구성에서 가장 빠른 재생
- 진공 성능에 영향을 미치지 않는 소량의 에너지 및 냉각수 소비
- 쉬운 시스템 통합
- 빠른 생산 설치
- 예방 및 예상 유지보수 모두에 강화된 원격 모니터링
- IS 320FX 크라이오 펌프
- IS XP
IS 320FX 크라이오 펌프
오늘날의 이온 주입 공정의 문제를 해결하기 위해 특별히 개발된 On-Board® IS 320FX 크라이오 펌프는 향상된 수소 펌핑 속도와 용량을 제공하는 동시에 고객이 기대하는 품질, 성능 및 신뢰성을 유지합니다.
- 이온 주입 어플리케이션을 위해 특별히 설계됨
- 공구 처리량에 최적화
- 똑똑한 "자가 조정" 기술
- 낮은 소유 비용
- 가동 시간 증가
IS XP
On-Board® IS XP 크라이오 펌프는 PVD 응용 분야의 용량을 늘려 공정 투명도를 유지하면서 생산성을 극대화합니다. 이와 동시에 On-Board® IS에서 기대하는 검증된 에너지 효율성, 일관된 성능 및 낮은 소유 비용을 활용합니다.
- 향후 공정 개선을 위한 용량 오버헤드 제공
- 낮은 소유 비용
- 길어진 가동 시간
- 일관성 있는 진공 성능을 위한 똑똑한 "자가 조정" 기술
오늘날의 이온 주입 공정의 문제를 해결하기 위해 특별히 개발된 On-Board® IS 320FX 크라이오 펌프는 향상된 수소 펌핑 속도와 용량을 제공하는 동시에 고객이 기대하는 품질, 성능 및 신뢰성을 유지합니다.
- 이온 주입 어플리케이션을 위해 특별히 설계됨
- 공구 처리량에 최적화
- 똑똑한 "자가 조정" 기술
- 낮은 소유 비용
- 가동 시간 증가
On-Board® IS XP 크라이오 펌프는 PVD 응용 분야의 용량을 늘려 공정 투명도를 유지하면서 생산성을 극대화합니다. 이와 동시에 On-Board® IS에서 기대하는 검증된 에너지 효율성, 일관된 성능 및 낮은 소유 비용을 활용합니다.
- 향후 공정 개선을 위한 용량 오버헤드 제공
- 낮은 소유 비용
- 길어진 가동 시간
- 일관성 있는 진공 성능을 위한 똑똑한 "자가 조정" 기술
