Edwards CTI-Cryogenics 8200 Compressor Data sheet
Edwards CTI-Cryogenics sortiment af kompressorer
Edwards CTI-Cryogenics tilbyder et udvalg af kompressorer, der er designet til at give optimal ydeevne med indbyggede kryopumper, Cryo-Torr-kryopumper og/eller indbyggede vandpumper.
En integreret frekvensomformer til kryopumpen sikrer maksimal kryopumpeydelse i både 50 og 60 Hz applikationer for alle Edwards vakuumpumper.
8200 Kompressor
Denne kompressor er designet til at give optimal ydeevne med indbyggede kryopumper, indbyggede vandpumper og Cryo-Torr kryopumper og understøtter alle pumper op til otte tommer i størrelse. Da 8200 er designet til fleksibilitet, kan du placere kompressoren, hvor det er mest praktisk for din systemdrift.
9600 Kompressor
Denne kompressor er designet specifikt til lang levetid, høj pålidelighed og brugervenlighed og leverer enestående ydeevne med alle Cryo-Torr-kryopumper, indbyggede kryopumper, indbyggede vandpumper og indbyggede TurboPlus-vakuumpumper. 9600 understøtter både enkelt- og gruppepumpekonfigurationer og er kompatibel med CTI-Cryogenics pumpeinstallationer verden over.
9700A Kompressor
Med øget heliumudgang er 9700A-kompressoren ideel til drift af flere kryopumper. I mange applikationer med flere kryopumper og vandpumper leverer en 9700A-kompressor en enkelt kompressorløsning. 9700A-kompressoren, der reducerer strømforbrug, vandfordeling og fodaftryk sammenlignet med flere kompressorapplikationer, er kompatibel med Cryo-Torr og indbyggede kryopumper.
IS-kompressorer
IS-1000-kompressor – intelligent, højeffektiv kompressorteknologi til indbyggede IS-kryopumper. IS-1000-kompressoren understøtter op til seks indbyggede IS-8F-kryopumper i samme størrelse som en 9600-kompressor.
IS-2000V-kompressor – leverer det laveste strømforbrug i alle driftsfaser via kombinationen af højere tryk, roterende teknologi og justerbar heliumlevering, der er i overensstemmelse med SEMI S-23-målsætningerne. IS-2000V erstatter to indbyggede IS-1000-kompressorer. Denne heliumkompressor med høj kapacitet er designet til at understøtte applikationer med indbygget IS-kryopumpe. En integreret frekvensomformer til kryopumpen sikrer maksimal kryopumpeydelse i både 50 og 60 Hz applikationer.
