Grønnere og mere pålidelig med lavere ejeromkostninger
Vores innovative sortiment af tørpumper giver dig avanceret teknologi, der er designet til at forbedre dit halvleder- og elektronikproduktionsmiljø.
Hver serie er specielt designet til at give fordele inden for miljømæssig ydeevne, pålidelighed under barske forhold og smidighed i lette anvendelser.
- iXM-serien – lavt energiforbrug, høj ydeevne
- iXH-serien til barske miljøer
- iXL-serien til lette applikationer
Tørpumper i Edwards iXM lavenergiserie kan give reelle procesforbedringer med øget oppetid, reduceret miljøpåvirkning og omkostningsfordele til dine mest kritiske applikationer.
- Energieffektiv rodmekanisme kan reducere indgangseffekten med op til 60 %, hvilket reducerer miljøpåvirkningen og sænker ejeromkostningerne
- Gasbarriereteknologi og termiske designforbedringer muliggør 4 gange større korrosionsbestandighed end vores tidligere serie
- Avancerede pulverhåndteringsfunktioner giver maksimal pålidelighed og forlænget pumpelevetid til ætsningsprocesser med flere lag
- Reduceret strømforbrug til CVD-processer
- Kompakt og let design kombineret med usædvanligt lav støj og vibration giver dig større alsidighed
- iXM-serien fås med XCEDE-teknologi for forbedret korrosionsbestandighed.
iXH-tørpumpeserien sætter nye standarder for barske processer, pålidelighed og lavere ejeromkostninger.
- Bredt temperaturområde giver dig mulighed for at optimere pumpen for minimal ophobning af biprodukter fra kondensering og belægning
- iXH Mk2-tørpumper giver endnu længere levetid i de barskeste processer og kan give betydelige forbedringer i energieffektiviteten
- Innovativ pumpetætningsteknologi kan forlænge proceslevetiden og reducere risikoen for lækager
- Fås med XCEDE-teknologi for forbedret korrosionsbestandighed.
iXL-serien er en serie af kompakte tørpumper med lavt energiforbrug til lette applikationer som f.eks. waferhåndtering, PVD og metrologi.
- Hurtig nedpumpning af kammeret og ekstremt lavt strømforbrug
- iXL600(N)- og iXL1000(N)-tørpumper er blandt de mindste og mest støjsvage pumper, der fås til lette applikationer
- iXL600M- og iXL1000M-varianterne er proceshærdede og specielt designet til dielektrisk (oxid) ætsning og andre lignende applikationer
- iXL600(N)- og iXL1000(N)-tørpumper har høj pumpehastighed og lavt energiforbrug
- iXL900R er den hurtigste slusestyringspumpe, der i øjeblikket er tilgængelig i sin klasse til FPD-slusestyringsapplikationer. Kunderne kan reducere deres driftsomkostninger og installationstider betydeligt med denne nye pumpe, som er særligt velegnet til de største loadlock-kamre, der anvendes til plasmadampaflejringsapplikationer (PVD). Derudover har kunderne brug for færre pumper pr. slusehus, hvilket reducerer installationstiden, systemiseringsomkostningerne, vedligeholdelsen og forbruget af forsyningsledninger.
- En Green Mode giver mulighed for reduceret brug af forsyningsledninger i perioder med inaktivitet, hvilket sænker omkostningerne og hjælper med at forbedre din miljømæssige ydeevne