Opnå hurtigt lavere vakuumniveauer
Edwards Polycold® MaxCool-kryokølere er kryogeniske kølesystemer med lukket kredsløb, der effektivt opfanger vanddamp, som udgør 65 % til 95 % af restgassen i højvakuumsystemer.
Disse kryokølere kan bruges til at opfange vanddamp og andre kondenserbare stoffer ved at fryse dem på en kold overflade som f.eks. en kryospiral eller chevron-baffel. MaxCool-kryokølere bruges også til at køle og opvarme genstande som f.eks. elektrostatiske spændepatroner, der anvendes til halvleder-wafer-forarbejdning. De forskellige modeller i vores sortiment leverer 2.000, 2.500 eller 4.000 watt køling.
Vanddamppumper
Vanddamp er typisk den mest reaktive kontaminant i højvakuumsystemer. Med vores MaxCool Cryochillere kan du forvente en stigning i produktgennemløbet i dit eksisterende system på 20 % til 100 % og forbedre aflejringskvaliteten.
MaxCool-fordelen
- Højvakuum nedpumpningstid reduceret med op til 75 %
- Øget produktgennemløb på 20 % til 100 %
- Lavere vanddamppartialtryk under forarbejdning for højere filmkvalitet, bedre vedhæftning og mere reproducerbar aflejring
- Hurtigt investeringsafkast ved at eliminere de tilbagevendende omkostninger til flydende nitrogen
- Minimer ejerskabsomkostningerne med strømstyring
- Høj køle- og varmekapacitet til en lang række processer
Når de tilføjes til dit vakuumsystem, kan MaxCool Cryochillere reducere nedpumpningstider dramatisk og øge produktgennemløbet. MaxCool pumper vanddamp inden for minutter fra start og kan afrime på mindre end fire minutter, hvilket giver ægte hurtig cykluskapacitet.
Ved hjælp af patenterede Polycold®-kølemiddelblandinger arbejder vores MaxCool-kryokølere efter Meissner-fældeprincippet. Vanddamp opfanges ved kondensering på en kryogent afkølet overflade, der kaldes en Meissner-spole. Meissner-spolen (kryospolen) er monteret direkte i vakuumkammeret, så ledningsevnen ikke begrænses af porte, manifolder, ventiler og bafler. Cryocoilen er nem at installere og kan tilpasses, så den passer til ethvert system. Det kræver ikke en højvakuumventil.
MaxCool-kryokølere er den mest omkostningseffektive opgradering, du kan tilføje til ethvert diffusionspumpet, turbopumpet eller helium-kryopumpet system.
MaxCool Cryochillere overholder kravene i EU’s forordning om kølemidler til anlæg (EF 1005/2009), Montreal-protokollen og den amerikanske EPA SNAP.
Fordele
- Mulighed for strømstyring for at minimere ejeromkostningerne
- Temperaturkontrol
- Patenteret grøn kølemiddelfyldning er globalt kompatibel, ikke-giftig og ikke-brændbar
- Baseret på Polycold®s gennemprøvede, innovative og pålidelige blandingsgaskøling
- Overholder EU PED og MD
- TUV Rheinland er opført i henhold til NRTL/CANADA-sikkerhedsstandarder
- ISO 9001:2008-certificeret producent
- Specifikationer for MaxCool-modeller
- Downloads
|
MaxCool 1500 |
MaxCool 2200 |
MaxCool 2500L |
MaxCool 4000H |
Maksimal kølekapacitet |
1.500 W |
2.200 W |
2.500 W |
4.000 W |
Temperatur ved maksimal kølekapacitet |
-118 °C |
-105 °C |
-120 °C |
-98 °C |
Laveste temperatur |
-141 °C |
-149 °C |
-145 °C |
-133 °C |
Maksimalt driftstryk (25 % af maks. pumpehastighed) |
1E-9 tør |
8E-10 tør |
7E-10 tør |
5E-8 tør |
Typisk koldfældeområde |
0,5 m2 |
1,1 m2 |
1,4 m2 |
2,2 m2 |
Maksimal pumpehastighed for vanddamp fra et typisk koldfældeområde |
74.500 l/s |
163.900 l/s |
208.600 l/s |
327.800 l/s |
Konservativt maksimalt kuldefældeareal* |
1,5 m2 |
1,5 m2 |
2,0 m2 |
2,8 m2 |
Strømforbrug (standbytilstand) |
4,5 kW |
4,5 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Strømforbrug (typisk effekt, køletilstand, lav belastning) |
5,0 kW |
5,0 kW |
8,0 kW |
8,0 kW |
Strømforbrug (køletilstand, maks. belastning) |
7,8 kW |
8,6 kW |
11 kW |
14,0 kW |
Kølevandsflow ved 13 °C |
6,8 l/min |
6,8 l/min |
15,1 l/min |
15,1 l/min |
Kølevandsflow ved 18 °C |
9,1 l/min |
9,1 l/min | 18,2 l/min |
18,2 l/min |
Kølevandsflow ved 24 °C |
13,6 l/min |
13,6 l/min |
27,3 l/min |
27,3 l/min |
Kølevandsflow ved 29 °C |
27,6 l/min |
27,6 l/min |
54,1 l/min |
54,1 l/min |
Overholder europæisk PED |
Ja |
Ja |
Ja |
Ja |
Ikke-giftige kølemidler |
Ja |
Ja |
Ja |
Ja |
Ikke-brændbare kølemidler |
Ja |
Ja |
Ja |
Ja |
