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主動式真空計與控制器

主動式倒置磁控管真空計

愛德華經實證的技術:根據您的應用需求選出正確的真空計。

愛德華坐落於英國的生產設施,數十年來持續製造與設計真空測量產品。我們憑藉豐富的經驗,開發出一系列新型儀錶,封裝尺寸減少 25%,效能卻分毫未減

具備各式升級與功能強化,包括清楚可見的 LED 環型壓力指示燈與設定點繼電器,讓您觸發各種不同的連鎖動作。

進階真空計:

 

 

主動式 Pirani 真空計

主動式 Pirani 真空計 (APG200) 適合所有真空市場,包括有利於搭配分析儀器使用的較小尺寸和靈活輸出、全新介面和環型燈更適合用於半導體系統維護,而局部壓力指標有助於研發人員在離開主要工作介面的狀況下監控實驗。 

  • 360° LED 環型壓力指示燈
  • 體積輕巧
  • 長燈絲
  • 整合式過濾器 *
  • 隨插即用的相容性
  • 提供 15-48V 的廣域電源
  • 數位/類比
  • 設定點繼電器

* 有提供無過濾器的版本

愛德華 APG200 真空計

主動式 Pirani 真空計 (APG)

APG200 主動式 Pirani 真空計 - 分解視圖
APG200 active pirani gauge - exploding view thumbnail
APG200 主動式 Pirani 真空計 - 分解視圖
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APG200 active pirani gauge - LED light ring thumbnail
APG200 主動式 Pirani 真空計 - LED 環型燈
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APG200 active pirani gauge - rotational view thumbnail
APG200 主動式 Pirani 真空計 - 旋轉視圖
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主動式倒置磁控管真空計

愛德華主動式倒置磁控管 (AIM) 真空計

主動式倒置磁控管真空計 (AIM)

主動式倒置磁控管 (AIM200) 真空計可在 1 x 10-2 至 1 x 10-9 mbar 的真空範圍內提供準確的測量結果。這款真空計在從科學儀器到工業製程等各種不同應用均堅固可靠。

AIM200 真空計是一款結合了倒置磁控管真空計量規頭與量規控制器的精巧裝置,具有非常低的外部磁場,並搭配改良式衝擊機制,非常適合與靈敏的分析儀器搭配使用,或是應用在需要將真空計安裝在敏感設備附近的情況。

  • 360° LED 環型壓力指示燈
  • 佔地面積更小
  • 多點星型撞針
  • 不需外部控制器
  • 可提供驅動器
  • 隨插即用的相容性
  • 提供 15-48V 的廣域電源
  • 新型磁鐵
  • 設定點繼電器
  • 與「C」型夾鉗相容的機款
主動式倒置磁控管 AIM200 - 分解視圖
Active Inverted Magnetron AIM200  - Exploding view thumbnail
主動式倒置磁控管 AIM200 - 分解視圖
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Active Inverted Magnetron AIM200  - Rotational view thumbnail
主動式倒置磁控管 AIM200 - 旋轉視圖
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Active Inverted Magnetron AIM200  - LED Light Ring Visual Pressure Indicator view thumbnail
主動式倒置磁控管 AIM200 - 可見的 LED 環型壓力指示燈視圖
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寬量程真空計冷陰極/Pirani

寬量程真空計 (WRG200) 能夠在常壓至 10-9 mbar 範圍內進行單埠壓力測量,不僅涵蓋初始製程室抽氣,還能一次處理所有製程壓力。

WRG200 真空計採用最新 Pirani 燈絲與冷陰極技術,在從科學儀器、半導體到工業製程等各種不同應用均堅固可靠。WRG 是一款多功能真空計,可讓您善用從粗真空感測器自動切換到高真空感測器的優點,更具有低雜散磁場,確保周圍環境不受干擾。

  • 360° LED 環型壓力指示燈
  • 佔地面積更小
  • 燈絲技術
  • 不需外部控制器
  • 可提供驅動器
  • 隨插即用的相容性
  • 提供 15-48V 的廣域電源
  • 新型磁鐵
  • 設定點繼電器
  • 與「C」型夾鉗相容的機款
愛德華寬量程真空計冷陰極/Pirani (WRG)

寬量程真空計冷陰極/Pirani (WRG)

初代真空計:

主動式線性對流真空計 (APGX-H)

主動式線性對流真空計 (APGX-H)

主動式線性對流真空計

主動式線性對流真空計 (APGX-H) 具有從 1333 至 3 x 10-4 mbar 的寬廣測量範圍。相較於傳統 Pirani 真空計,採用對流技術可確保直到壓力範圍頂段都能維持精確度和靈敏度,而傳統真空計在高於 100 mbar 時便會損失精確度。這款真空計體積輕巧,並能以任何方向安裝,從而在空間有限之處簡化了安裝。

主動式離子真空計

主動式離子真空計 (AIGX) 是一款輕巧的主動式離子真空計,具備雙氧化釔塗佈銥燈絲、從 6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar 的寬廣測量範圍,以及 1 伏特/十進制線性輸出。AIGX 結合業界標準主動式真空計測量概念的所有優點,採用整合式電子裝置和可更換管件。這款真空計具備除氣設施,並且包含可保護並延長燈絲壽命的功能。AIGX 受益於極低的帶電粒子排放量,使其成為想要避免背景雜訊之製程的絕佳選擇。

愛德華寬量程真空計 (WRG)

主動式離子真空計 (AIGX)

愛德華主動式熱陰極寬量程真空計 (WRH)

主動式熱陰極寬量程真空計 (WRH)

主動式熱陰極寬量程真空計

主動式熱陰極寬量程真空計 (WRH) 讓您僅使用一款真空計,便可測量常壓至 10-10 mbar 的範圍,兼具準確性和可重複性。WRH 真空計運用 2 種測量方法 (Bayard Alpert & Pirani),一次給您測量與控制系統所需的一切。利用 D-SUB 接頭提供類比與 RS485 輸出,2 個內建繼電器有助於輕鬆校準,控制與監控再簡單不過。

您可以利用隨附軟體輕鬆追蹤和記錄系統效能,也可以調整真空計運作,例如指定設定點或變更輸出比例。這款真空計是許多應用的完美良伴,適合研發機構、高階質譜儀到一般工業用途。

具備靈活性,可為您的系統量身打造:

由於每個製程都有特定需求,您可以看到我們提供多種真空計類型,確保您擁有符合需求的正確真空計。 

我們提供堅固耐用的 APG200 Pirani 真空計,有標準型及抗腐蝕機型可供選擇,測量範圍可從常壓到 1 x 10­4 mbar;我們還提供 WRG 冷陰極/Pirani 結合式真空計,測量範圍可從常壓到 1 x 10-9 mbar。

控制器 - 為您的系統提供現場顯示和控制

  • 對於想要現成解決方案的使用者,我們透過 ADC 產品系列提供基本的單/雙頭儀表顯示器。 
  • 針對想要更多連線和控制功能的使用者,我們提供 TIC 產品系列。它可讓您控制最多 6 個儀錶頭,並透過 RS232 介面/設定點輸出,觸發系統中的其他動作。 
  • 另有多種可控制小型乾式泵浦系列與 nEXT 渦輪分子泵浦系列的機型,讓您得以打造微型系統。

主動式真空計系列

主要功能概述

  • 通用控制器:每個控制器都能控制各種類型的主動式真空計
  • 校準:購買所有真空計時皆可選配額外校準憑證 
  • 維修:每個真空計的維修程序都相當簡單,大部分的程序不需要工具

查看產品的實際應用!

愛德華客戶見證

AIM200 Active Inverted Magnetron Gauge - Datasheet

PDF

952.7 kB

WRG200 Active Wide Range Gauge - Datasheet

PDF

2.5 MB

WRH Active Hot Cathode Pirani Gauge - Datasheet

PDF

407.2 kB

TIC Turbo and Instrument controller - Datasheet

PDF

610.5 kB

TEST - AIM200 Active Inverted Magnetron Gauge - Datasheet

PDF

952.8 kB

愛德華員工站在走廊上微笑
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